半导体及平板显示设备用闸阀的制作方法

1.本发明涉及一种半导体及平板显示设备用闸阀，更具体地，涉及一种由于具有在阀壳内具备气缸的结构，因此，可以减小整体尺寸，并且，减小构建设备所需的空间和费用，而且，可以通过空气流利用叶片模块打开及关闭闸板，从而，可以可靠地保持真空状态的半导体及平板显示设备用闸阀。


背景技术：

2.常用的联机半导体和平板显示设备是例如装载锁定室、多个处理室、缓冲室和卸载锁定室相互联机连接以在晶圆等的基板上执行多个工艺的设备。
3.在这些腔室中，例如，处理室是用于在保持高真空状态的同时，对基板执行诸如薄膜沉积、蚀刻等工艺的空间，缓冲室是连接处理室和其他工艺室的空间，这也必须保持真空状态。
4.因此，在每个腔室之间安装闸阀，使得每个腔室保持真空的同时，在输送基板时也保持真空。
5.然而，在现有半导体和平板显示设备的闸阀，由于具有在大气区域使用气缸部分的结构，因此，在气缸杆上包覆波纹管来形成真空状态或者构建其他的供气管路，但是，保持真空状态是有限制的。
6.此外，由于具有气缸部分安装在闸阀的下部的结构，因此，设备整体变大，存在设备构建需要大量空间的限制。
7.于是，需要开发一种可以保持真空状态，而且，减小装置的尺寸的新结构的闸阀。
8.作为相关的现有技术，有韩国专利公开第10-2013-0013748号(发明名称：半导体生产设备的闸阀)等。


技术实现要素：

9.本发明的实施例，提供一种半导体及平板显示设备用闸阀，其由于具有在阀壳内具备气缸的结构，因此，可以减小整体尺寸，并且，减小构建设备所需的空间和费用，而且，可以通过空气流利用叶片模块打开及关闭闸板，因此，可以可靠地保持真空状态。
10.本发明所要解决的问题不限于上述问题，本领域的普通技术人员通过以下说明将清楚地理解未提及的其他问题。
11.根据本发明的实施例的半导体及平板显示设备用闸阀，所述闸阀设置于半导体与平板显示设备的腔室之间，其中，可以包括：阀壳，具备向两方向打开的闸板；气缸部，安装在所述阀壳中；以及叶片模块，通过所述气缸部在所述阀壳内上升及下降，并与通过所述气缸部提供的空气流连动打开及关闭所述向两方向打开的闸板。
12.根据本发明的实施例的所述气缸部，包括：第一气缸，设置在所述阀壳中的一侧；以及第二气缸，设置在所述阀壳中所述第一气缸的相反侧，在所述第一气缸和所述第二气缸可升降地结合所述叶片模块的两端部。
13.根据本发明的实施例的所述第一气缸和所述第二气缸，分别包括：引导构件，设置在所述阀壳内，形成高度方向的移动引导件；以及升降构件，可升降地安装于所述引导构件，在所述引导构件和所述升降构件具备用于对所述叶片模块供应空气或排放空气的空气管路。
14.根据本发明的实施例的所述叶片模块，可以包括：升降主体，由所述气缸部进行上升及下降；以及闸板开闭部，根据所述升降主体中空气的供应或排放，向所述闸板方向移动来关闭或打开所述闸板。
15.根据本发明的实施例的所述闸板开闭部，包括：线性移动构件，安装成可在所述升降主体内向所述闸板方向线性移动；第一闸门，安装成在所述升降主体外侧与位于两侧的2个所述闸板中的一个相面对，连接于所述线性移动构件，并与所述线性移动构件一起移动以打开及关闭所述闸板中的一个闸板；以及第二闸门，以与所述第一闸门相反地设置在所述升降主体的外侧壁，并与所述第一闸门连动以打开及关闭所述闸板中的另一个闸板，所述第一闸门和所述第二闸门的动作可以与来自所述气缸部的空气流连动而进行。
16.根据本发明的实施例的所述空气管路，可以包括：上行管路，从所述引导构件向上形成，用于供应空气；下行管路，从所述引导构件向下形成，用于排放空气；推送管路，用于将空气从所述升降构件供应至所述叶片模块中；以及牵引管路，用于将空气从所述叶片模块排出至所述升降构件。
17.而且，根据本发明的实施例的所述空气管路还可以包括排气管路，用于防止在空气流在所述推送管路和所述牵引管路时产生压差。
18.根据本发明的实施例的通过从所述上行管路供应空气，并从所述下行管路排放空气，从而，所述叶片模块与所述升降构件一起上升，并且，通过所述推送管路向所述叶片模块供应空气，并通过所述牵引管路从所述叶片模块向所述升降构件排放空气时，所述第一闸门和所述第二闸门可以通过空气流阻挡所述闸板。
19.根据本发明的实施例的通过所述牵引管路向所述叶片模块供应空气，并通过所述推送管路从所述叶片模块向所述升降构件排放空气，从而，可以打开所述第一闸门和第二闸门，另外，通过从所述下行管路供应空气，并从所述上行管路排放空气，从而，所述叶片模块可以与所述升降构件一起下降。
20.根据本发明的实施例的在向所述闸板的所述第一闸门和所述第二闸门的面可以具备密封构件用以与形成有所述闸板的所述阀壳的面紧密接触。
21.发明效果
22.根据本发明的实施例，由于具有在阀壳内具备气缸的结构，因此，可以减小整体尺寸，并且，减小构建设备所需的空间和费用，而且，可以通过空气流利用叶片模块打开及关闭闸板，因此，可以可靠地保持真空状态。
附图说明
23.图1是示出根据本发明的一实施例的安装有半导体及平板显示设备用闸阀的半导体及平板显示设备的结构的图。
24.图2是用于说明图1所示的半导体及平板显示设备用闸阀的动作的立体图。
25.图3是图2所示的闸阀的分解立体图。
26.图4是利用图3所示的闸阀的部分图说明根据空气流的闸阀的动作的图。
27.图5是用于说明图3所示的气缸部和叶片模块的动作的图。
28.图中：
29.1：半导体及平板显示设备，10、20、30、40：腔室，100：半导体及平板显示设备用闸阀，110：阀壳，113：底盖，115：顶盖，120：气缸部，130：第一气缸，131：引导构件，135：升降构件，140：第二气缸，150：叶片模块，151：升降主体，152：线性移动构件，153：连接杆，155：第一闸门，157：第二闸门，158：密封构件，161：空气管路的上行管路，162：下行管路，163：推送管路，164：牵引管路，165：排气管路
具体实施方式
30.本发明的优点及/或特征，以及实现它们的方法，将通过参考下面结合附图详细描述的实施例变得显而易见。然而，本发明不限于以下公开的实施例，而可以体现为各种不同的形式，只是，这些实施例用来使本发明的公开更加完整，并对本领域的普通技术人员提供本发明的完整的范围，本发明仅由权利要求范围而定义。在整个说明书中，对相同的构成要素标注相同的符号。
31.下面，将参考附图详细说明本发明的实施例。
32.图1是示出根据本发明的一实施例的安装有半导体及平板显示设备用闸阀的半导体及平板显示设备的结构的图，图2是用于说明图1所示的半导体及平板显示设备用闸阀的动作的立体图，图3是图2所示的闸阀的分解立体图，图4是利用图3所示的闸阀的部分图说明根据空气流的闸阀的动作的图，图5是用于说明图3所示的气缸部和叶片模块的动作的图。
33.首先，参考图1，根据本发明的一实施例的半导体和平板显示设备1是对基板执行诸如沉积、蚀刻等工艺的联机设备，例如，可以包括装载锁定室10、多个处理室20、缓冲室30及卸载锁定室40，并且，在每个腔室10、20、30、40之间可以具备闸阀100。
34.如图2至图4所示，根据本发明的一实施例的半导体和平板显示设备用闸阀100，可以包括：阀壳110，具备向两方向开放的闸板111；气缸部120，支撑在阀壳110内的两侧；以及叶片模块150，通过气缸部120在阀壳110内上升及下降，与通过气缸部120提供的空气的流动连动打开及关闭向两方向开放的闸板111。
35.通过这种结构，与以往相比可以大大减小闸阀100的尺寸，因此，可以减小装置构建所需的空间及费用。此外，通过气缸部120的结构，不仅可以保持真空，而且，通过管结构受到负载，而不会施加到气缸部的杆上，从而，可以提高操作的可靠性。
36.对各个结构进行说明，如图2及图3所示，本实施例的阀壳110形成基本外观，例如，通过向配置于两侧的腔室方向形成闸板111，从而，可以通过闸板111传送基板。
37.所述阀壳110具有上下方开放的结构，在下端部可以结合底盖113，在上端部可以结合顶盖115。由此，可以实现整体上呈长方体形状的阀壳110。
38.在所述底盖113可以具备凹槽114，在所述凹槽结合气缸部120后述的引导构件131的下端部。如此，通过具有上下开放的结构，可以容易制造闸阀100。
39.另外，如图3所示，本实施例的气缸部120可以包括设置在阀壳110内两侧的第一气缸130和第二气缸140。换言之，当所述第一气缸130设置在所述阀壳110的左侧时，与其相对
称地在阀壳110内右侧设置第二气缸140，并通过在第一气缸和第二气缸之间结合叶片模块150，从而，可以使叶片模块150与第一气缸130和第二气缸140一起上下移动，来打开及关闭闸板111。
40.由于第一气缸体130和第二气缸体140具有相同的结构，因此，以第一气缸130为例说明其结构，如图2至图4所示，本实施例的第一气缸130，可以包括：引导构件131，设置在阀壳110内，形成高度方向的移动引导件；升降构件135，可升降地安装在引导构件131上，并结合叶片模块150的一侧部。
41.参考图3，本实施例的引导构件131形成为整体上具有长度方向的圆棒形，下端部可以结合于底盖113，上端部可以结合于顶盖115。
42.所述升降构件135结合于引导构件131，升降构件135具有圆筒结构，在其中形成空气管路(参考图4)以用作向叶片模块150供应空气或从叶片模块150排放空气，从而，可以使叶片模块150的打开及关闭与空气流相连动。
43.即，在升降构件135对于引导构件131进行动作时，通过空气管路形成空气流，并且，该空气流使叶片模块150运行，使得叶片模块150打开及关闭闸板111。
44.本实施例的叶片模块150，如图3至图5所示，可以包括：升降主体151，通过气缸部120进行上升及下降；以及闸板开闭部，在升降主体151内通过供气或排气向闸板111方向移动以关闭或打开闸板111。
45.首先，升降主体151，整体上形成为可在阀壳110的内侧进行升降的尺寸，整体上呈朝两侧具有长度的中空的长方体形状。所述升降主体151结合于在所述气缸部130、140设置的升降构件135，升降构件135和升降主体151可以具有可通过后述的空气管路形成空气流的结构。
46.所述升降主体151中，在两个方向上，即在朝向形成在两侧的闸板111的方向上，可线性移动地安装第一闸门155和第二闸门157。由此，第一闸门155可以开闭两侧闸板111中的一个闸板111a，第二闸门157可以开闭另一个闸板111b。
47.参考图5，在闸板开闭部的升降主体151中，向两侧的闸板111方向设置可线性移动的线性移动构件152，在线性移动构件152通过连接杆153连接第一闸门155。因此，如图5(b)所示，当线性移动构件152向左侧移动时，与其连接的第一闸门155也可以向左侧移动以关闭闸板111a。
48.另外，第二闸门157与第一闸门155相反地安装在升降主体151的外壁上，第二闸门157可以与第一闸门155连动开闭另一个闸板111b。
49.换言之，如图5(c)所示，在通过第一闸门155阻挡闸板111a之后，升降主体151通过空气流向右侧移动，此时，安装在升降主体151的第二闸门157向另一闸板111b方向线性移动，从而，如图5(d)所示，可以阻挡闸板111b。
50.参考图5，在朝向闸板111的第一闸门155和第二闸门157的面可以具备密封构件158用以与形成有闸板111的阀壳110的内侧面紧密接触，由此，可以可靠地保持闸阀100的真空状态。
51.如上所述，通过叶片模块150的闸板开闭部从形成在气缸部120的空气管路供应空气或排放空气，从而叶片模块150可以对闸板111执行开闭动作。
52.本实施例的空气管路，如图4所示，可以包括：上行管路161，从气缸的引导构件131
向上形成，用于供应空气；下行管路162，从引导构件131向下形成，用于排放空气；推送管路163，用于将空气从升降构件135供应至叶片模块150的升降主体151中；牵引管路164，用于将空气从升降主体151排放至升降构件135；以及排气管路165，在推送管路163和牵引管路164流空气时，防止产生压差。
53.进一步详细说明的话，通过从上行管路161供应空气并从下行管路162排放空气，从而，叶片模块150可与升降构件135一起相对于引导构件131上升。另外，空气通过推送管路163供应到升降主体151内，并通过牵引管路164从叶片模块150向升降构件135排放空气时，第一闸门155及第二闸门157通过空气流阻挡各自的闸板111，成为如图1的下图。
54.相反地，空气通过牵引管路164供应到叶片模块150中，并且，通过推送管路163从叶片模块150向升降构件135排放空气，从而，第一闸门155及第二闸门157从各自的闸板111离开而开放闸板111。此时，通过从下行管路162供应空气并从上行管路161排放空气，从而，叶片模块150与升降构件135一起下降，成为如图2的上图。
55.如上所述，根据本发明的实施例，由于具有气缸部120设置在阀壳110中的结构，因此，可以减小整体尺寸，减少设备构建所需的空间和费用，并且，可以通过空气流利用叶片模块150打开及关闭闸板111，从而，可以可靠性地保持真空状态。
56.尽管到目前为止说明了根据本发明的具体实施例，但是在不脱离本发明的范围的情况下可以进行各种修改。因此，本发明的范围不应限于所说明的实施例，而应由权利要求书以及与权利要求书等同物来定义。
57.如上所述，尽管参考有限的实施例和附图说明了本发明，但是，本发明不限于上述实施例，本发明所属领域的普通技术人员可由上述的记载进行各种修改及变形。因此，本发明的精神应仅通过权利要求书来理解，其所有均等或等价变形都将落入本发明精神的范围内。