一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种恒温供液装置，尤其涉及一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置。


背景技术：

2.单片湿法刻蚀机是一种半导体生产过程中所使用的刻蚀设备，硅片放入到刻蚀腔内旋转，然后利用刻蚀的药液对硅片的上表面喷淋从而完成刻蚀，而供液装置则是将药液提供给刻蚀腔中喷淋的一套装置，由于刻蚀的要求，对药液的温度要求比较高，需要实现动态恒温，而目前的供液装置虽然也能实现恒温供液，但是由于刻蚀的过程是间歇性的，因此，储液槽内的液体温度虽然能够达到刻蚀要求，但是由于刻蚀的间隙过程中，供液管道内的温度会有一定的下降，这样一旦等待时间较长时，供液管道喷淋的药液温度就无法满足要求。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，该恒温供液装置不但能够实现恒温供液，而且能够避免在刻蚀等待过程中管道内的药液温度低于要求温度，解决了以往刻蚀的间隙过程中，供液管道内的温度会有所下降的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，包括储液槽，储液槽上设置有循环出口、循环入口和减压循环入口，循环出口和循环入口之间连接有带循环泵的循环管道，储液槽内安装有温度传感器和对储液槽内药液进行加热的加热装置，储液槽上设置有出液口，出液口与带出液泵的出液管道一端连通，出液管道的另一端分别与供液管道和减压循环管道相连通，供液管道的另一端与单片湿法刻蚀机的刻蚀腔内的喷淋头连通，减压循环管道的另一端与储液槽上的减压循环入口连通，供液管道和减压循环管道上分别设置有第一控制阀和第二控制阀。
5.作为一种优选的方案，供液管道上设置有三通控制阀，三通控制阀的两个接口连接在供液管道上，另一个接口连接有辅助循环管道，该辅助循环管道与储液槽连通。
6.作为一种优选的方案，出液管道上设置有过滤器。
7.作为一种优选的方案，循环入口上设置有伸入到药液中的槽内管段，该槽内管段的端部设置有出液搅拌头。
8.作为一种优选的方案，供液管道上位于喷淋头的上游设置有压力表，储液槽上设置有液位传感器。
9.作为一种优选的方案，第一控制阀和第二控制阀均为气动控制阀，第一控制阀和第二控制阀的控制气路上分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀。
10.作为一种优选的方案，刻蚀腔的底部和储液槽之间设置有回流管道。
11.采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于该恒温供液装置，包括储液槽，储液槽上设置有循环出口、循环入口和减压循环入口，循环出口和循环入口之间连接有
带循环泵的循环管道，储液槽内安装有温度传感器和对储液槽内药液进行加热的加热装置，储液槽上设置有出液口，出液口与带出液泵的出液管道一端连通，出液管道的另一端分别与供液管道和减压循环管道相连通，供液管道的另一端与单片湿法刻蚀机的刻蚀腔内的喷淋头连通，减压循环管道的另一端与储液槽上的减压循环入口连通，供液管道和减压循环管道上分别设置有第一控制阀和第二控制阀，因此，该恒温供液装置利用循环管道上的循环泵进行药液循环，使储液槽内的药液混合更均匀，而同时，利用供液管道可以在工作时给喷淋头供液，而当喷淋头关闭时，此时，第一控制阀关闭，第二控制阀打开，此时，药液就会通过减压循环管道和减压循环入口循环进入到储液槽中，这样出液泵就无需频繁启停，同时，管道内的药液也会循环，避免管道内的药液温度降低而影响刻蚀工艺。
12.又由于供液管道上设置有三通控制阀，三通控制阀的两个接口连接在供液管道上，另一个接口连接有辅助循环管道，该辅助循环管道与储液槽连通，而当刻蚀机停机时间较长后再启动时，由于辅助循环管道的作用，药液可以通过第一控制阀而经过供液管道后回流到储液槽中，这样就能进一步避免第一控制阀和喷淋头之间的管道的药液温度过低，从而无需试片刻蚀，可以直接进行刻蚀工艺，效率更高。
13.又由于出液管道上设置有过滤器，该过滤器可以有效的过滤储液槽内的固体，避免喷淋头的堵塞，也保证了刻蚀工艺的稳定性。
14.又由于循环入口上设置有伸入到药液中的槽内管段，该槽内管段的端部设置有出液搅拌头，该出液搅拌头能够增加搅拌力，提高搅拌效果。
15.又由于刻蚀腔的底部和储液槽之间设置有回流管道，该回流管道可以方便收集刻蚀腔内的药液，然后回流到储液槽中再次利用。
附图说明
16.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
17.图1是本实用新型实施例的结构示意图；
18.附图中：1.储液槽；2.循环管道；3.温度传感器；4.加热装置；5.出液管；6.供液管道；7.减压循环管道；8.刻蚀腔；9.喷淋头；10.第一控制阀；11.第二控制阀；12.辅助循环管道；13.过滤器；14.出液搅拌头；15.液位传感器；16.第一电磁阀；17.第二电磁阀；18.回流管道；19.循环泵；20.出液泵。
具体实施方式
19.下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。
20.如图1所示，一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，包括储液槽1，储液槽1上设置有循环出口、循环入口和减压循环入口，循环出口和循环入口之间连接有带循环泵19的循环管道2，储液槽1内安装有温度传感器3和对储液槽1内药液进行加热的加热装置4，储液槽1上设置有出液口，出液口与带出液泵20的出液管5道一端连通，出液管5道的另一端分别与供液管道6和减压循环管道7相连通，供液管道6的另一端与单片湿法刻蚀机的刻蚀腔8内的喷淋头9连通，减压循环管道7的另一端与储液槽1上的减压循环入口连通，供液管道6和减压循环管道7上分别设置有第一控制阀10和第二控制阀11。
21.本实施例中，供液管道6上设置有三通控制阀，三通控制阀的两个接口连接在供液
管道6上，另一个接口连接有辅助循环管道12，该辅助循环管道12与储液槽1连通，出液管5道上设置有过滤器13，循环入口上设置有伸入到药液中的槽内管段，该槽内管段的端部设置有出液搅拌头14，供液管道6上位于喷淋头9的上游设置有压力表，储液槽1上设置有液位传感器15，刻蚀腔8的底部和储液槽1之间设置有回流管道18。
22.本实施例中，第一控制阀10和第二控制阀11均为气动控制阀，第一控制阀10和第二控制阀11的控制气路上分别设置有第一电磁阀16和第二电磁阀17。
23.使用时，该恒温供液装置利用循环管道2上的循环泵19进行药液循环，使储液槽1内的药液混合更均匀，保持温度恒定，当喷淋头9工作时，第一控制阀10打开，第二控制阀11关闭，通过供液管道6给喷淋头9供液，喷淋后刻蚀腔8内的液体通过回流管道18流回到储液槽1内，实现重复利用，当喷淋头9关闭时，第一控制阀10关闭，第二控制阀11打开，此时，药液就会通过减压循环管道7和减压循环入口循环进入到储液槽1中，该种设计一方面出液泵20就无需频繁启停，另一方面，管道内的药液也会一直循环，保持管道内的药液温度。刻蚀机停机时间较长后再启动时，药液通过出液管5道、第一控制阀10、供液管道6、辅助循环管道12后回流到储液槽1中，这样就可以进一步避免第一控制阀10和喷淋头9之间的管道的药液温度过低，从而可以直接进行刻蚀工艺。
24.工作过程中，温度传感器3时刻监控储液槽1内的温度变化，当温度降低时，可以通过加热装置4及时对储液槽1内的药液进行加热处理。
25.以上实施例仅是对本实用新型的优选实施方式的描述，不作为对本实用新型范围的限定，在不脱离本实用新型设计精神的基础上，对本实用新型技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。