一种光罩校准方法及装置与流程

1.本技术涉及半导体光刻曝光技术领域，尤其涉及一种光罩校准方法及装置。


背景技术：

2.曝光机为了控制透镜发热(control lens heating)带来的产品(inline)影响，会引入透镜发热前反馈(lens heating feed forward，lhff)的概念，lhff结果会受到光罩穿透率(transmission)的影响。曝光机厂商担心光罩厂商提供的光罩穿透率不精确，引入自动标线图像穿透率测量(automated reticle image transmission measurement，aritm)技术。
3.aritm是inline量测光罩穿透率的技术，并应用到lhff中，这样做会使得lhff更加的精确，但是每块光罩需要花费约160s的时间建立光罩穿透率的数据库(database)，并且照明条件改变均需要重新做aritm来校准(calibration)。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供了一种光罩校准方法及装置，用以通过预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库，减少不必要的光罩校准时间，从而提高工作效率，增加产能。
5.本技术实施例提供的一种光罩校准方法，包括：
6.提供光罩和曝光设备；
7.将所述光罩载入所述曝光设备；
8.在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件；其中，所述共享数据库，是预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库；
9.若存在，则调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件；
10.若不存在，则对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库；
11.根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
12.通过该方法，将光罩载入曝光设备后，在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件；若存在，则调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件；若不存在，则对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库；然后，根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准，从而实现了通过预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库，实现了穿透率量测数据文件的共享，不必每次都对光罩进行穿透率量测，若共享数据库中存在穿透率量测数据文件，则可以实现数据共享，减少不必要的光罩校准时间，从而提高了工作效率，增加了产能。
13.在一些实施方式中，当所述光罩载入所述曝光设备时，所述曝光设备被配置为第一照明条件；
14.所述穿透率量测数据文件包括：与所述第一照明条件对应的第一穿透率量测数据文件。
15.在一些实施方式中，所述在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件包括：
16.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件。
17.在一些实施方式中，所述共享数据库中的文件的标识中包括照明条件信息；
18.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件，包括：
19.利用所述第一照明条件、所述光罩的标识和图像标识，一次性判断所述共享数据库中是否存在文件标识中包含所述第一照明条件、所述光罩的标识和图像标识的第一穿透率量测数据文件，其中，所述图像标识，是指光线分别经过第一投影透镜、所述光罩、第二投影透镜，在晶圆上照射形成的图像的标识。
20.在一些实施方式中，所述共享数据库中的文件的标识中仅包含光罩的标识和图像标识，其中，所述图像标识，是指光线分别经过第一投影透镜、所述光罩、第二投影透镜，在晶圆上照射形成的图像的标识；
21.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件，包括：
22.先利用所述光罩的标识和图像标识，在所述共享数据库中识别出文件标识中包含所述光罩的标识和所述图像标识的穿透率量测数据文件；
23.在识别出的所述文件标识中包含所述光罩的标识和所述图像标识的穿透率量测数据文件中，进一步识别出与所述第一照明条件对应的第一穿透率量测数据文件。
24.在一些实施方式中，所述调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件包括：
25.调用所述共享数据库中的所述第一穿透率量测数据文件。
26.在一些实施方式中，所述对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库包括：
27.对所述光罩进行在所述第一照明条件下的穿透率量测，得到所述第一穿透率量测数据文件，并将所述第一穿透率量测数据文件存入所述共享数据库。
28.在一些实施方式中，所述根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准包括：
29.根据所述第一穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
30.在一些实施方式中，所述将所述光罩载入所述曝光设备包括：将所述光罩载入所述机台群组中的任意一台所述曝光机。
31.本技术另一实施例提供了一种光罩校准装置，其包括存储器和处理器，其中，所述存储器用于存储程序指令，所述处理器用于调用所述存储器中存储的程序指令，按照获得的程序执行：
32.控制将所述光罩载入所述曝光设备；
33.在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件；其中，所述共享数据库，是预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库；
34.若存在，则调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件；
35.若不存在，则对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所
述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库；
36.根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
37.此外，根据实施例，例如提供了一种用于计算机的计算机程序产品，其包括软件代码部分，当所述产品在计算机上运行时，这些软件代码部分用于执行上述所定义的方法的步骤。该计算机程序产品可以包括在其上存储有软件代码部分的计算机可读介质。此外，该计算机程序产品可以通过上传过程、下载过程和推送过程中的至少一个经由网络直接加载到计算机的内部存储器中和/或发送。
38.本技术另一实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于使所述计算机执行上述任一种方法。
附图说明
39.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
40.图1为本技术实施例提供的一种光罩校准方法的流程示意图；
41.图2为本技术实施例提供的通过投影透镜和光罩在晶圆上形成图案的示意图；
42.图3为本技术实施例提供的一种光罩校准装置的结构示意图；
43.图4为本技术实施例提供的一种光罩校准装置的结构示意图。
具体实施方式
44.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
45.本技术实施例提供了一种光罩校准方法及装置，用以通过预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库，减少不必要的光罩校准时间，从而提高工作效率，增加产能。
46.其中，方法和装置是基于同一申请构思的，由于方法和装置解决问题的原理相似，因此装置和方法的实施可以相互参见，重复之处不再赘述。
47.本技术实施例的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
48.以下示例和实施例将只被理解为是说明性的示例。虽然本说明书可能在若干处提及“一”、“一个”或“一些”示例或实施例，但这并非意味着每个这种提及都与相同的示例或
实施例有关，也并非意味着该特征仅适用于单个示例或实施例。不同实施例的单个特征也可以被组合以提供其他实施例。此外，如“包括”和“包含”的术语应被理解为并不将所描述的实施例限制为仅由已提及的那些特征组成；这种示例和实施例还可以包含并未具体提及的特征、结构、单元、模块等。
49.下面结合说明书附图对本技术各个实施例进行详细描述。需要说明的是，本技术实施例的展示顺序仅代表实施例的先后顺序，并不代表实施例所提供的技术方案的优劣。
50.参见图1，本技术实施例提供的一种光罩校准方法，包括：
51.s101、提供光罩和曝光设备；
52.s102、将所述光罩载入所述曝光设备；
53.s103、在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件；
54.其中，所述共享数据库，是预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库；在其中一个实施例中，相同类型的多台曝光机指由同一厂商提供的相同型号或相同型号系列或共用相同操作系统的多台曝光机。
55.例如，当需要确定当前光罩的穿透率时，查询预先设置的机台群组共享的用于存储光罩穿透率的数据库，例如可以通过文件名搜寻光罩标识reticle id、图案标识image id、判断照明条件的标识等；其中，所述数据库中包括至少一个机台对应的自动标线图像穿透率测量aritm数据库；
56.其中，例如：当新增机台、和/或所述当前光罩为新光罩、和/或所述当前光罩的照明条件发生变化时，需要确定所述当前光罩的穿透率。
57.s104、若存在，则调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件；
58.s105、若不存在，则对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库；
59.s106、根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
60.在一些实施例中，所述机台群组中，多个机台对应的aritm数据库为同一aritm数据库。
61.可见，本技术实施例提供了一种aritm数据库共享方法，减少新机台、新光罩进行重复aritm测量并做校准的时间；以及，还可以减少一块光罩不同照明条件转换导致的进行重复aritm测量并做校准的时间。也就是说，本技术实施例实现了通过预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库，进而实现了穿透率量测数据文件的共享，不必每次都对光罩进行穿透率量测，若共享数据库中存在穿透率量测数据文件，则可以实现数据共享，减少了不必要的光罩校准时间，从而提高了工作效率，增加了产能。
62.在一些实施方式中，当所述光罩载入所述曝光设备时，所述曝光设备被配置为第一照明条件；
63.所述穿透率量测数据文件包括：与所述第一照明条件对应的第一穿透率量测数据文件。
64.需要说明的是，本技术实施例中，如果将照明条件信息直接放在文件标识里，可以一次性将光罩id、图像id和照明条件全部判断完成，即一次性识别出条件匹配的穿透率量测数据文件；或者，本技术实施例中也可以分为两步判断，例如先判断光罩id和图像id，再判断照明条件，即先识别出光罩id和图像id匹配的文件，在此基础上进一步识别出照明条
件匹配的穿透率量测数据文件。也就是说：
65.在一些实施方式中，所述共享数据库中的文件的标识中包括照明条件信息；
66.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件，包括：
67.利用所述第一照明条件、所述光罩的标识和图像标识，一次性判断所述共享数据库中是否存在文件标识中包含所述第一照明条件、所述光罩的标识和图像标识的第一穿透率量测数据文件，其中，所述图像标识，是指光线分别经过第一投影透镜、所述光罩、第二投影透镜，在晶圆上照射形成的图像的标识。
68.或者，在一些实施方式中，所述共享数据库中的文件的标识中仅包含光罩的标识和图像标识，其中，所述图像标识，是指光线分别经过第一投影透镜、所述光罩、第二投影透镜，在晶圆上照射形成的图像的标识；
69.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件，包括：
70.先利用所述光罩的标识和图像标识，在所述共享数据库中识别出文件标识中包含所述光罩的标识和所述图像标识的穿透率量测数据文件；
71.在识别出的所述文件标识中包含所述光罩的标识和所述图像标识的穿透率量测数据文件中，进一步识别出与所述第一照明条件对应的第一穿透率量测数据文件。
72.在一些实施方式中，所述在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件包括：
73.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件。
74.在一些实施方式中，所述调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件包括：
75.调用所述共享数据库中的所述第一穿透率量测数据文件。
76.在一些实施方式中，所述对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库包括：
77.对所述光罩进行在所述第一照明条件下的穿透率量测，得到所述第一穿透率量测数据文件，并将所述第一穿透率量测数据文件存入所述共享数据库。
78.在一些实施方式中，所述根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准包括：
79.根据所述第一穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
80.在一些实施方式中，所述将所述光罩载入所述曝光设备包括：将所述光罩载入所述机台群组中的任意一台所述曝光机。
81.可见，本技术实施例通过优化aritm触发(trigger)逻辑以及database,减少因为照明条件的转换导致的aritm；
82.本技术实施例通过优化新机台、新光罩database创建(create)方式，减少光罩在做aritm测量以及校准时间。
83.其中，参见图2，在设定的照明条件下，分别通过第一投影透镜、光罩、第二投影透镜，在晶圆上形成图案(或称图像(image))。其中，所述晶圆位于晶圆平台上。第一投影透镜和第二投影透镜可以是同类型的投影透镜，也可以是不同类型的投影透镜。
84.下面通过实际应用，介绍aritm优化后对产能(throughput，thp)的提升。
85.实施例一：
86.目前全球晶圆厂(fab)的新机台aritm数据库都是需要新建的，对每个需要使用的光罩进行aritm测试并将测试文件存入数据库，但是实际光罩的transmission是固定不变的，也就是说只需要一个机台做好aritm测试，再通过系统自动比对机台群组中机台之间共享的数据库，这样就可以使得机台群组中所有机台共用一套aritm数据库，避免每一个新机台释放(release)需要再做一次aritm，大大的提升产能。
87.实施例二：
88.实施例一中机台共享存在一些不足，例如当照明条件(illumination)信息发生变化，会重做aritm测试，生成新的aritm量测数据文件存入aritm数据库，同时覆盖数据库中旧的文件，因为aritm数据库中存储的aritm量测数据文件的文件名包括光罩标识(reticle id)和图案标识(image id),如此，因为机台间照明条件的差异会导致aritm量测数据文件多次覆盖，影响产能，因此本实施例中可以通过优化aritm量测数据文件的文件名，例如增加照明条件信息到aritm量测数据文件的文件名中，从而可以避免aritm量测数据文件被覆盖。在另一个实施例中，可以通过在aritm量测数据文件的文件属性中增加照明条件的区别标识的标签，以避免其他照明条件的aritm量测数据文件覆盖。
89.实施例三：
90.综合实施例一和实施例二，建立的所述共享数据库中的aritm量测数据文件包括照明条件标识：
91.产品a的层layer 1-1和层layer 1-2各有一块光罩，但是实际产品会用到两个照明条件(illumination),每次照明条件的转换都会导致aritm重新执行一次(160s)，仅仅两道层(layer)就会有80每天晶圆产量(wafers per day，wpd)的丢失(loss)，实际供研发(research&development，rd)使用的机台不仅仅只有两道layer会有照明条件的转换，通过实施例一中的aritm共享数据库，减少额外的量测，这部分的产能损失就可以弥补回来，大大提升机台产能。其中，所述供研发使用的机台会比供量产使用的机台更频繁的转换以及会有更多的照明条件，但一般供量产使用的机台照明条件配置比较稳定。
92.下面介绍一下本技术实施例提供的设备或装置，其中与上述方法中所述的相同或相应的技术特征的解释或举例说明，后续不再赘述。
93.参见图3，本技术实施例提供了一种光罩校准装置，包括：
94.存储器620，用于存储控制程序；
95.处理器600，用于读取存储器620中的程序，执行下列过程：
96.控制将所述光罩载入所述曝光设备；
97.在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件；其中，所述共享数据库，是预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库；
98.若存在，则调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件；
99.若不存在，则对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库；
100.根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
101.在一些实施方式中，共享数据库存储在云端的服务器中，处理器600在执行从共享数据库中查询或调用所述光罩的穿透率量测数据文件时从云端的服务器中将共享数据库的备份下载到存储器620。而当处理器600需要将经过穿透率量测得到的所述穿透率量测数
据文件存入所述共享数据库时，会先存到存储器620中共享数据库的备份，然后将共享数据库的备份同步到云端的服务器中。
102.在一些实施方式中，当所述光罩载入所述曝光设备时，所述曝光设备被配置为第一照明条件；
103.所述穿透率量测数据文件包括：与所述第一照明条件对应的第一穿透率量测数据文件。
104.在一些实施方式中，所述在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件包括：
105.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件。
106.在一些实施方式中，所述共享数据库中的文件的标识中包括照明条件信息；
107.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件，包括：
108.利用所述第一照明条件、所述光罩的标识和图像标识，一次性判断所述共享数据库中是否存在文件标识中包含所述第一照明条件、所述光罩的标识和图像标识的第一穿透率量测数据文件，其中，所述图像标识，是指光线分别经过第一投影透镜、所述光罩、第二投影透镜，在晶圆上照射形成的图像的标识。
109.在一些实施方式中，所述共享数据库中的文件的标识中仅包含光罩的标识和图像标识，其中，所述图像标识，是指光线分别经过第一投影透镜、所述光罩、第二投影透镜，在晶圆上照射形成的图像的标识；
110.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件，包括：
111.先利用所述光罩的标识和图像标识，在所述共享数据库中识别出文件标识中包含所述光罩的标识和所述图像标识的穿透率量测数据文件；
112.在识别出的所述文件标识中包含所述光罩的标识和所述图像标识的穿透率量测数据文件中，进一步识别出与所述第一照明条件对应的第一穿透率量测数据文件。
113.在一些实施方式中，所述调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件包括：
114.调用所述共享数据库中的所述第一穿透率量测数据文件。
115.在一些实施方式中，所述对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库包括：
116.对所述光罩进行在所述第一照明条件下的穿透率量测，得到所述第一穿透率量测数据文件，并将所述第一穿透率量测数据文件存入所述共享数据库。
117.在一些实施方式中，所述根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准包括：
118.根据所述第一穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
119.在一些实施方式中，所述控制将所述光罩载入所述曝光设备包括：控制将所述光罩载入所述机台群组中的任意一台所述曝光机。
120.在一些实施例中，本技术实施例提供的光罩校准装置还包括收发机610，用于在处理器600的控制下接收和发送数据。
121.其中，在图3中，总线架构可以包括任意数量的互联的总线和桥，具体由处理器600代表的一个或多个处理器和存储器620代表的存储器的各种电路链接在一起。总线架构还
可以将诸如外围设备、稳压器和功率管理电路等之类的各种其他电路链接在一起，这些都是本领域所公知的，因此，本文不再对其进行进一步描述。总线接口提供接口。收发机610可以是多个元件，即包括发送机和接收机，提供用于在传输介质上与各种其他装置通信的单元。
122.在一些实施例中，还包括用户接口630，用户接口630可以是能够外接内接需要设备的接口，连接的设备包括但不限于小键盘、显示器、扬声器、麦克风、操纵杆等。
123.处理器600负责管理总线架构和通常的处理，存储器620可以存储处理器600在执行操作时所使用的数据。
124.在一些实施例中，处理器600可以是cpu(中央处埋器)、asic(application specific integrated circuit，专用集成电路)、fpga(field－programmable gate array，现场可编程门阵列)或cpld(complex programmable logic device，复杂可编程逻辑器件)。
125.参见图4，本技术实施例提供的另一种光罩校准装置，包括：
126.第一单元401，用于控制将光罩载入曝光设备；
127.第二单元402，用于在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件；其中，所述共享数据库，是预先为由相同类型的多台曝光机组成的机台群组建立的共享数据库；
128.若存在，则调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件；
129.若不存在，则对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库；
130.第三单元403，用于根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
131.在一些实施方式中，当所述光罩载入所述曝光设备时，所述曝光设备被配置为第一照明条件；
132.所述穿透率量测数据文件包括：与所述第一照明条件对应的第一穿透率量测数据文件。
133.在一些实施方式中，所述在预设的共享数据库中查询是否存在所述光罩的穿透率量测数据文件包括：
134.在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件。
135.在一些实施方式中，所述共享数据库中的文件的标识中包括照明条件信息；
136.第二单元402在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件，包括：
137.利用所述第一照明条件、所述光罩的标识和图像标识，一次性判断所述共享数据库中是否存在文件标识中包含所述第一照明条件、所述光罩的标识和图像标识的第一穿透率量测数据文件，其中，所述图像标识，是指光线分别经过第一投影透镜、所述光罩、第二投影透镜，在晶圆上照射形成的图像的标识。
138.在一些实施方式中，所述共享数据库中的文件的标识中仅包含光罩的标识和图像标识，其中，所述图像标识，是指光线分别经过第一投影透镜、所述光罩、第二投影透镜，在晶圆上照射形成的图像的标识；
139.第二单元402在所述共享数据库中查询是否存在所述第一穿透率量测数据文件，
包括：
140.先利用所述光罩的标识和图像标识，在所述共享数据库中识别出文件标识中包含所述光罩的标识和所述图像标识的穿透率量测数据文件；
141.在识别出的所述文件标识中包含所述光罩的标识和所述图像标识的穿透率量测数据文件中，进一步识别出与所述第一照明条件对应的第一穿透率量测数据文件。
142.在一些实施方式中，所述调用所述共享数据库中的所述穿透率量测数据文件包括：
143.调用所述共享数据库中的所述第一穿透率量测数据文件。
144.在一些实施方式中，所述对所述光罩进行穿透率量测，得到所述穿透率量测数据文件，并将所述穿透率量测数据文件存入所述共享数据库包括：
145.对所述光罩进行在所述第一照明条件下的穿透率量测，得到所述第一穿透率量测数据文件，并将所述第一穿透率量测数据文件存入所述共享数据库。
146.在一些实施方式中，所述根据所述穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准包括：
147.根据所述第一穿透率量测数据文件对所述光罩进行校准。
148.在一些实施方式中，所述控制将所述光罩载入所述曝光设备包括：控制将所述光罩载入所述机台群组中的任意一台所述曝光机。
149.需要说明的是，本技术实施例中对单元的划分是示意性的，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式。另外，在本技术各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。
150.所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本技术的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)或处理器(processor)执行本技术各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：u盘、移动硬盘、只读存储器(read-only memory，rom)、随机存取存储器(random access memory，ram)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
151.本技术实施例提供了一种计算设备，该计算设备具体可以为桌面计算机、便携式计算机、智能手机、平板电脑、个人数字助理(personal digital assistant，pda)等。该计算设备可以包括中央处理器(center processing unit，cpu)、存储器、输入/输出设备等，输入设备可以包括键盘、鼠标、触摸屏等，输出设备可以包括显示设备，如液晶显示器(liquid crystal display，lcd)、阴极射线管(cathode ray tube，crt)等。
152.存储器可以包括只读存储器(rom)和随机存取存储器(ram)，并向处理器提供存储器中存储的程序指令和数据。在本技术实施例中，存储器可以用于存储本技术实施例提供的任一所述方法的程序。
153.处理器通过调用存储器存储的程序指令，处理器用于按照获得的程序指令执行本
申请实施例提供的任一所述方法。
154.本技术实施例还提供了一种计算机程序产品或计算机程序，该计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，该计算机指令存储在计算机可读存储介质中。计算机设备的处理器从计算机可读存储介质读取该计算机指令，处理器执行该计算机指令，使得该计算机设备执行上述实施例中的任一所述方法。所述程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以是——但不限于——电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、可擦式可编程只读存储器(eprom或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(cd-rom)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。
155.本技术实施例提供了一种计算机可读存储介质，用于储存为上述本技术实施例提供的装置所用的计算机程序指令，其包含用于执行上述本技术实施例提供的任一方法的程序。所述计算机可读存储介质，可以是非暂时性计算机可读介质。
156.所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或数据存储设备，包括但不限于磁性存储器(例如软盘、硬盘、磁带、磁光盘(mo)等)、光学存储器(例如cd、dvd、bd、hvd等)、以及半导体存储器(例如rom、eprom、eeprom、非易失性存储器(nand flash)、固态硬盘(ssd))等。
157.应当理解：
158.通信网络中的实体经由其往来传送流量的接入技术可以是任何合适的当前或未来技术，诸如可以使用wlan(无线本地接入网络)、wimax(微波接入全球互操作性)、lte、lte-a、5g、蓝牙、红外等；另外，实施例还可以应用有线技术，例如，基于ip的接入技术，如有线网络或固定线路。
159.适合于被实现为软件代码或其一部分并使用处理器或处理功能运行的实施例是独立于软件代码的，并且可以使用任何已知或未来开发的编程语言来规定，诸如高级编程语言，诸如objective-c、c、c 、c#、java、python、javascript、其他脚本语言等，或低级编程语言，诸如机器语言或汇编程序。
160.实施例的实现是独立于硬件的，并且可以使用任何已知或未来开发的硬件技术或其任何混合来实现，诸如微处理器或cpu(中央处理单元)、mos(金属氧化物半导体)、cmos(互补mos)、bimos(双极mos)、bicmos(双极cmos)、ecl(发射极耦合逻辑)和/或ttl(晶体管-晶体管逻辑)。
161.实施例可以被实现为单独的设备、装置、单元、部件或功能，或者以分布式方式实现，例如，可以在处理中使用或共享一个或多个处理器或处理功能，或者可以在处理中使用和共享一个或多个处理段或处理部分，其中，一个物理处理器或多于一个的物理处理器可以被用于实现一个或多个专用于如所描述的特定处理的处理部分。
162.装置可以由半导体芯片、芯片组或包括这种芯片或芯片组的(硬件)模块来实现。
163.实施例还可以被实现为硬件和软件的任何组合，诸如asic(应用特定ic(集成电路))组件、fpga(现场可编程门阵列)或cpld(复杂可编程逻辑器件)组件或dsp(数字信号处理器)组件。
164.实施例还可以被实现为计算机程序产品，包括在其中体现计算机可读程序代码的计算机可用介质，该计算机可读程序代码适应于执行如实施例中所描述的过程，其中，该计算机可用介质可以是非暂时性介质。
165.本领域内的技术人员应明白，本技术的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本技术可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本技术可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器和光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
166.本技术是参照根据本技术实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
167.这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
168.这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
169.显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。