位移装置、镜头组件及检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种位移装置、镜头组件及检测设备。


背景技术：

2.现有的位移台通常通过位移台的方式对位移台上方的其他零件进行位移调节，位移台通常包括滑轨与配合部，通过配合部与滑轨相对滑动，带动位移台上进行移动，但是配合部与滑轨之间存在间隙，从而导致位移台无法精准移动，并且可能会导致零件的移动方向发生偏差。


技术实现要素：

3.针对现有技术中的至少部分问题，本实用新型实施例公开了一种位移装置、镜头组件及检测设备。
4.一方面，本实用新型实施例提供的一种位移装置，所述位移装置包括第一推杆、外框框架、第一挠性组件、第二挠性组件、第一导向框以及内框框架，所述第一挠性组件、所述第二挠性组件、所述第一导向框以及所述内框框架均收容于所述外框框架；
5.所述第一挠性组件的两端分别与所述外框框架以及所述第一导向框连接；
6.所述第二挠性组件的两端分别与所述第一导向框以及所述内框框架连接；
7.所述第一导向框收容于所述外框框架内，所述第一挠性组件以及所述第二挠性组件设于相对设置的所述第一导向框之间；所述内框框架收容于所述第一导向框内，所述第一导向框用于限制所述内框框架的移动方向；
8.所述第一推杆的一端与所述内框框架抵接，所述第一推杆的推动方向与所述第一导向框的延伸方向相同。
9.可选的，所述第一挠性组件包括四个第一子挠性结构，两个所述第一子挠性结构设于所述外框框架内靠近所述第一推杆的一侧，另两个所述第一子挠性结构设于所述外框框架内远离所述第一推杆的一侧，四个第一子挠性结构沿所述第一推杆的推动方向两两相对设置，所述外框框架通过所述第一子挠性结构与第一导向框连接。
10.可选的，所述第二挠性组件包括四个第二子挠性结构，两个所述第二子挠性结构设所述第一子挠性结构远离所述第一推杆的一侧，另两个所述第二子挠性结构设于所述第一子挠性结构靠近所述第一推杆的一侧，四个第二子挠性结构沿所述第一推杆的推动方向两两相对设置。
11.可选的，所述第一子挠性结构包括第一连接部与第一加强部，所述第一加强部的两端分别与所述第一连接部连接，所述第一加强部的宽度大于所述第一连接部的宽度；及
12.所述第二子挠性结构包括第二连接部与第二加强部，所述第二加强部的两端分别与所述第二连接部连接，所述第二加强部的宽度大于所述第二连接部的宽度。
13.可选的，所述位移装置还包括第一弹性装置，所述第一弹性装置设于所述外框框架与所述内框框架之间，且设于所述内框框架远离所述第一推杆的一侧。
14.可选的，所述位移装置还包括第二推杆、第三挠性组件、第四挠性组件、第二导向框以及位移框架，所述第三挠性组件、所述第四挠性组件、所述第二导向框以及所述位移框架均收容于所述内框框架；
15.所述第三挠性组件的两端分别与所述内框框架以及所述第二导向框连接，所述第四挠性组件的两端分别与所述第二导向框以及所述位移框架连接；
16.所述第二导向框收容于所述内框框架内，所述位移框架收容于所述第二导向框内，所述第二导向框用于限制所述位移框架的移动方向；
17.所述第二推杆的一端与所述位移框架抵接，所述第二推杆的推动方向与所述第一推杆的推动方向相垂直。
18.可选的，所述第三挠性组件包括四个第三子挠性结构，两个所述第三子挠性结构设于所述内框框架内靠近所述第二推杆的一侧，另两个所述第三子挠性结构设于所述内框框架内远离所述第二推杆的一侧，四个第三子挠性结构沿所述第二推杆的推动方向两两相对设置，所述内框框架通过所述第三子挠性结构与第二导向框连接。
19.可选的，所述第四挠性组件包括四个第四子挠性结构，两个所述第四子挠性结构设所述第三子挠性结构远离所述第一推杆的一侧，另两个所述第四子挠性结构设于所述第三子挠性结构靠近所述第一推杆的一侧，四个第四子挠性结构沿所述第二推杆的推动方向两两相对设置。
20.可选的，所述第三子挠性结构包括第三连接部与第三加强部，所述第三加强部的两端分别与两个所述第三连接部连接，所述第三加强部的宽度大于所述第三连接部的宽度；及
21.所述第四子挠性结构包括第四连接部与第四加强部，所述第四加强部的两端分别与两个所述第四连接部连接，所述第四加强部的宽度大于所述第四连接部的宽度。
22.可选的，所述位移装置还包括第二弹性装置，所述第二弹性装置设于所述内框框架与所述位移框架之间，且设于所述内框框架远离所述第二推杆的一侧。
23.本实用新型还提出一种镜头组件，所述镜头组件包括检测镜头与如上述任一项实施方式所述的位移装置，所述检测镜头与所述位移装置连接，所述位移装置用于调整所述检测镜头的位置。
24.本实用新型还提出一种检测设备，所述检测设备包括如上述任一项实施方式所述的镜头组件。
25.由上可知，本实用新型上述技术特征可以具有如下一个或多个有益效果：通过所述第一推杆推动所述内框框架，能够带动所述内框框架沿着所述第一导向框的内侧壁的延伸方向进行移动，从而通过所述第一导向框限制所述内框框架的移动方向，并且在所述内框框架移动过程中，所述第一挠性组件以及所述第二挠性组件发生弹性形变，并通过所述第一挠性组件与所述第二挠性组件的弹力作用对所述内框框架进行拉伸或推动，从而保证所述内框框架在移动过程中不发生偏移，提高了所述位移装置的移动精度。
附图说明
26.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施
例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1为本实用新型实施例提供的位移装置的结构示意图；
28.图2为图1中a区域的放大图；
29.图3为图1中b区域的放大图；
30.图4为本实用新型实施例提供的位移装置在推动第一推杆时的结构示意图；
31.图5为图4中c区域的放大图；
32.图6为本实用新型实施例提供的位移装置在推动第二推杆时的结构示意图；
33.图7为图6中d区域的放大图；
34.附图标号说明：
[0035][0036]
具体实施方式
[0037]
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0038]
需要说明，本实用新型实施例中所提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本实用新型，而非用以限制本实用新型。为了理解和便于描述，附图中示出的每
个组件的尺寸和厚度是任意示出的，但是本实用新型不限于此。
[0039]
可以理解的是，当例如层、膜、区域或基底的组件被称作“在“另一组件“上”时，所述组件可以直接在所述另一组件上，或者也可以存在中间组件。另外，在说明书中，除非明确地描述为相反的，否则词语“包括”将被理解为意指包括所述组件，但是不排除任何其它组件。此外，在说明书中，“在
……
上”意指位于目标组件上方或者下方，而不意指必须位于基于重力上方的顶部上。
[0040]
下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互结合。
[0041]
请参见图1至图3，图1是本技术实施例提供的一种位移装置。
[0042]
在本技术中，所述位移装置包括第一推杆10、外框框架20、第一挠性组件30、第二挠性组件40、第一导向框50以及内框框架60；
[0043]
具体的，所述外框框架20与所述第一挠性组件30连接，
[0044]
所述第一挠性组件30与所述第一导向框50连接；
[0045]
所述第二挠性组件40的两端分别与所述第一导向框50以及所述内框框架60 连接；
[0046]
所述第一导向框50收容于所述外框框架20内；
[0047]
所述内框框架60收容于所述第一导向框50内，所述第一导向框50用于限制所述内框框架60的移动方向；
[0048]
所述第一推杆10的一端与所述内框框架60抵接。
[0049]
其中，所述第一推杆10可以通过转动的方式进行推动，还可以通过滑动的方式进行推动。
[0050]
其中，当需要所述位移装置带动其他零件进行移动时，首先通过所述第一推杆 10推动所述内框框架60，所述内框框架60沿着所述第一推杆10的推动方向进行移动，由于所述内框框架60发生移动，因此与所述内框框架60连接的所述第二挠性组件40发生弹性形变，并且与所述第二挠性组件40弹性形变带动所述第一导向框50移动，所述第一导向框50移动带动所述第一挠性组件30发生弹性形变。在所述内框框架60移动过程中，由于所述内框框架60的移动方向被所述第一导向框 50进行限制，从而能够避免所述内框框架60在移动过程中发生位置偏移，从而提高了所述位移装置带动其他零件移动的方向准确性。
[0051]
另外，由于所述位移装置包括所述第一挠性组件30以及所述第二挠性组件40，因此在移动过程中能够通过第一挠性组件30限制所述第一导向框50的发生位置偏移，通过第二挠性组件40限制所述内框框架60发生位置偏移。
[0052]
其中，所述第一导向框50的外侧壁与所述外框框架20的内侧壁相对滑动，并通过所述外框框架20限制所述第一导向框50的移动方向。
[0053]
在本技术实施例中，所述位移装置包括第一推杆10、外框框架20、第一挠性组件30、第二挠性组件40、第一导向框50以及内框框架60，所述外框框架20与所述第一挠性组件30连接，所述第一挠性组件30与所述第一导向框50连接；所述第二挠性组件40的两端分别与所述第一导向框50以及所述内框框架60连接；所述第一导向框50收容于所述外框框架20内；所述内框框架60收容于所述第一导向框50内，所述第一导向框50用于限制所述内框框架60的移动方向；所述第一推杆10的一端与所述内框框架60抵接。通过所述第一推杆10推
动所述内框框架60，能够带动所述内框框架60沿着所述第一导向框50的内侧壁的延伸方向进行移动，从而通过所述第一导向框50限制所述内框框架60的移动方向，并且在所述内框框架60移动过程中，所述第一挠性组件30以及所述第二挠性组件40发生弹性形变，并通过所述第一挠性组件30与所述第二挠性组件40的弹力作用对所述内框框架60进行拉伸或推动，从而保证所述内框框架60在移动过程中不发生偏移，提高了所述位移装置的移动精度。
[0054]
在可选的实施方式中，所述第一挠性组件30包括四个第一子挠性结构31，四个第一子挠性结构31两两相对设置，外框框架20通过挠性结构与第一导向框50 连接。具体的，所述第一子挠性结构31沿所述第一推杆10的推动方向两两相对设置，具体的，当所述第一导向框50沿着所述第一推杆10的推动方向进行移动时，所述第一导向框50带动靠近所述第一推杆10的一侧的第一子挠性结构31被拉伸，从而使该第一子挠性结构31发生弹性形变，远离所述第一推杆10一侧的第一子挠性结构31被压缩，从而使该第一子挠性发生弹性形变。
[0055]
优选实施方式中，两个所述第一子挠性结构31设于所述第一导向框50靠近所述第一推杆10的一侧，另外两个所述第一子挠性结构31设于所述第一导向框50 远离所述第一推杆10的一侧。
[0056]
在可选的实施方式中，所述第二挠性组件40包括四个第二子挠性结构41，四个第二子挠性结构41分别与四个第一子挠性结构31相对设置。具体的，所述第二子挠性结构41沿所述第二推杆80的推动方向两两相对设置，具体的，当所述内框框架60沿着所述第二推杆80的推动方向进行移动时，所述内框框架60带动靠近所述第二推杆80的一侧的第二子挠性结构41被拉伸，从而使该第二子挠性结构41 发生弹性形变，远离所述第二推杆80一侧的第二子挠性结构41被压缩，从而使该第二子挠性发生弹性形变。
[0057]
优选实施方式中，两个所述第二子挠性结构41设于所述内框框架60靠近所述第二推杆80的一侧，另外两个所述第二子挠性结构41设于所述内框框架60远离所述第二推杆80的一侧。
[0058]
在可选的实施方式中，所述位移装置还包括第一弹性装置70，所述第一弹性装置70设于所述外框框架20与所述内框框架60之间，且设于所述内框框架60远离所述第一推杆10的一侧，具体的，当通过所述第一推杆10推动所述内框框架60 时，为了保证所述第一推杆10在向远离推动方向的一侧移动时，所述内框框架60 能够始终与所述第一推杆10抵接，可以在所述内框框架60与所述外框框架20之间设置所述第一弹性装置70，并通过所述第一弹性装置70的弹力推动所述内框框架60向所述第一推杆10的一侧方向移动。优选实施方式中，所述第一弹性装置70 为弹簧。
[0059]
在可选的实施方式中，所述位移装置还包括第二推杆80，第三挠性组件90、第四挠性组件100、第二导向框110以及位移框架120；
[0060]
其中，所述第三挠性组件90的两端分别与所述内框框架60以及所述第二导向框110，
[0061]
所述第二导向框110与所述第四挠性组件100连接；
[0062]
所述第四挠性组件100的另一端与所述位移框架120连接；
[0063]
所述第二导向框110收容于所述内框框架60内；
[0064]
所述位移框架120收容于所述第二导向框110内，所述第二导向框110用于限制所
述位移框架120的移动方向；
[0065]
所述第二推杆80的一端与所述位移框架120抵接。
[0066]
具体的，当需要所述位移装置带动其他零件沿第二方向进行移动时，所述第二推杆80推动所述位移框架120进行移动，所述位移框架120沿着所述第二推杆80 的推动方向进行移动，由于所述位移框架120发生移动，因此与所述位移框架120 连接的所述第四挠性组件100发生弹性形变，并且与所述第四挠性组件100弹性形变带动所述第二导向框110移动，所述第二导向框110移动带动所述第三挠性组件 90发生弹性形变。在所述位移框架120移动过程中，由于所述位移框架120的移动方向被所述第二导向框110进行限制，从而能够避免所述位移框架120在移动过程中发生位置偏移，从而提高了所述位移装置带动其他零件移动的方向准确性。
[0067]
优选实施方式中，所述第一推杆10的推动方向与所述第二推杆80的推动方向相垂直，具体的，相比于所述第一推杆10的推动方向与所述第二推杆80的推动不垂直，所述第一推杆10的推动方向与所述第二推杆80的推动方向相垂直能够方便用于对其他零件的移动方向进行准确调节，并且降低移动距离的计算难度。
[0068]
在可选的实施方式中，所述第三挠性组件90包括四个第三子挠性结构91，四个第三子挠性结构91两两相对设置，内框框架60通过挠性结构与第二导向框110 连接。具体的，所述第三子挠性结构91沿所述第二推杆80的推动方向两两相对设置，具体的，当所述第二导向框110沿着所述第二推杆80的推动方向进行移动时，所述第二导向框110带动靠近所述第二推杆80的一侧的第三子挠性结构91被拉伸，从而使该第三子挠性结构91发生弹性形变，远离所述第二推杆80一侧的第三子挠性结构91被压缩，从而使该第三子挠性发生弹性形变。
[0069]
优选实施方式中，两个所述第三子挠性结构91设于所述第二导向框110靠近所述第二推杆80的一侧，另外两个所述第三子挠性结构91设于所述第二导向框110 远离所述第二推杆80的一侧。
[0070]
在可选的实施方式中，所述第四挠性组件100包括四个第四子挠性结构101，四个第四子挠性结构101分别与四个第一子挠性结构31相对设置。具体的，所述第四子挠性结构101沿所述第二推杆80的推动方向两两相对设置，具体的，当所述位移框架120沿着所述第二推杆80的推动方向进行移动时，所述位移框架120 带动靠近所述第二推杆80的一侧的第四子挠性结构101被拉伸，从而使该第四子挠性结构101发生弹性形变，远离所述第二推杆80一侧的第四子挠性结构101被压缩，从而使该第四子挠性发生弹性形变。
[0071]
优选实施方式中，两个所述第四子挠性结构101设于所述位移框架120靠近所述第二推杆80的一侧，另外两个所述第四子挠性结构101设于所述位移框架120 远离所述第二推杆80的一侧。
[0072]
在可选的实施方式中，所述第一挠性组件30与所述外框框架20的连接部为弧形结构，具体的，当所述第一挠性组件30中的所述第一子挠性结构31发生弹性形变时，所述第一子挠性结构31与所述外框框架20的连接部会形成剪切力，为了避免剪切力造成所述第一子挠性结构31与所述挖矿框架的连接部断裂，将所述连接部社会自为弧形结构，从而降低所述第一子挠性结构31断裂的风险。
[0073]
可以理解的是，所述第二挠性组件40与所述内框框架60的连接部，所述第三挠性
组件90与所述内框框架60的连接部以及所述第四挠性组件100与所述位移框架120的连接部均为弧形结构，具体原理与所述第一挠性组件30与所述外框框架 20的连接部相同，在此不再赘述。
[0074]
在可选的实施方式中，所述第一子挠性结构31包括两个第一连接部311以及第一加强部312，所述第一加强部312的两端分别与所述第一连接部311连接，所述第一加强部312的宽度大于所述第一连接部311的宽度，具体的，由于所述第一加强部312的宽度大于所述第一连接部311的宽度，因此可以通过所述第一加强部312提高所述第一子挠性组件的刚度。可以理解的是，所述第二子挠性结构41包括第二连接部411以及第二加强部412，所述第二加强度的两端分别与一个所述第二连接部411连接，具体的，所述第二子挠性结构41通过所述第二加强部412加强刚度，从而避免所述第二子挠性结构41出现断裂的情况。
[0075]
在可选的实施方式中，所述第三子挠性结构91包括两个第三连接部911以及第三加强部912，所述第三加强部912的两端分别与所述第三连接部911连接，所述第三加强部912的宽度大于所述第三连接部911的宽度，具体的，由于所述第三加强部912的宽度大于所述第三连接部911的宽度，因此可以通过所述第三加强部 912提高所述第三子挠性组件的刚度。可以理解的是，所述第四子挠性结构101包括第四连接部1011以及第四加强部1012，所述第四加强度的两端分别与一个所述第四连接部1011连接，具体的，所述第四子挠性结构101通过所述第四加强部1012 加强刚度，从而避免所述第四子挠性结构101出现断裂的情况。
[0076]
在可选的实施方式中，所述位移装置还包括第二弹性装置130，所述第二弹性装置130设于所述位移框架120与所述内框框架60之间，且设于所述位移框架120 远离所述第二推杆80的一侧，具体的，当通过所述第二推杆80推动所述位移框架 120时，为了保证所述第二推杆80在向远离推动方向的一侧移动时，所述位移框架120能够始终与所述第二推杆80抵接，可以在所述位移框架120与所述外框框架 20之间设置所述第二弹性装置130，并通过所述第二弹性装置130的弹力推动所述位移框架120向所述第二推杆80的一侧方向移动。优选实施方式中，所述第二弹性装置130为弹簧。
[0077]
本实用新型还提出一种镜头组件，所述镜头组件包括检测镜头与如上述任一项实施方式所述的位移装置，所述检测镜头与所述位移装置连接，所述位移装置用于调整所述检测镜头的位置。
[0078]
本实用新型还提出一种检测设备，所述检测设备包括如上述任一实施方式所述的测量平台，该测量平台的具体结构参照上述实施例，由于该测量平台采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
[0079]
可以理解的是，前述各个实施例仅为本实用新型的示例性说明，在技术特征不冲突、结构不矛盾、不违背本实用新型的实用新型目的前提下，各个实施例的技术方案可以任意组合、搭配使用。
[0080]
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术
方案的精神和范围。