位移装置、镜头组件及检测设备的制作方法

技术特征：
1.一种位移装置，其特征在于，所述位移装置包括第一推杆、外框框架、第一挠性组件、第二挠性组件、第一导向框以及内框框架，所述第一挠性组件、所述第二挠性组件、所述第一导向框以及所述内框框架均收容于所述外框框架；所述第一挠性组件的两端分别与所述外框框架以及所述第一导向框连接；所述第二挠性组件的两端分别与所述第一导向框以及所述内框框架连接；所述第一导向框收容于所述外框框架内，所述第一挠性组件以及所述第二挠性组件设于相对设置的所述第一导向框之间；所述内框框架收容于所述第一导向框内，所述第一导向框用于限制所述内框框架的移动方向；所述第一推杆的一端与所述内框框架抵接，所述第一推杆的推动方向与所述第一导向框的延伸方向相同。2.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，所述第一挠性组件包括四个第一子挠性结构，两个所述第一子挠性结构设于所述外框框架内靠近所述第一推杆的一侧，另两个所述第一子挠性结构设于所述外框框架内远离所述第一推杆的一侧，四个第一子挠性结构沿所述第一推杆的推动方向两两相对设置，所述外框框架通过所述第一子挠性结构与第一导向框连接。3.根据权利要求2所述的位移装置，其特征在于，所述第二挠性组件包括四个第二子挠性结构，两个所述第二子挠性结构设所述第一子挠性结构远离所述第一推杆的一侧，另两个所述第二子挠性结构设于所述第一子挠性结构靠近所述第一推杆的一侧，四个第二子挠性结构沿所述第一推杆的推动方向两两相对设置。4.根据权利要求3所述的位移装置，其特征在于，所述第一子挠性结构包括第一连接部与第一加强部，所述第一加强部的两端分别与所述第一连接部连接，所述第一加强部的宽度大于所述第一连接部的宽度；及所述第二子挠性结构包括第二连接部与第二加强部，所述第二加强部的两端分别与所述第二连接部连接，所述第二加强部的宽度大于所述第二连接部的宽度。5.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，所述位移装置还包括第一弹性装置，所述第一弹性装置设于所述外框框架与所述内框框架之间，且设于所述内框框架远离所述第一推杆的一侧。6.根据权利要求1-5任一项所述的位移装置，其特征在于，所述位移装置还包括第二推杆、第三挠性组件、第四挠性组件、第二导向框以及位移框架，所述第三挠性组件、所述第四挠性组件、所述第二导向框以及所述位移框架均收容于所述内框框架；所述第三挠性组件的两端分别与所述内框框架以及所述第二导向框连接，所述第四挠性组件的两端分别与所述第二导向框以及所述位移框架连接；所述第二导向框收容于所述内框框架内，所述位移框架收容于所述第二导向框内，所述第二导向框用于限制所述位移框架的移动方向；所述第二推杆的一端与所述位移框架抵接，所述第二推杆的推动方向与所述第一推杆的推动方向相垂直。7.根据权利要求6所述的位移装置，其特征在于，所述第三挠性组件包括四个第三子挠性结构，两个所述第三子挠性结构设于所述内框框架内靠近所述第二推杆的一侧，另两个所述第三子挠性结构设于所述内框框架内远离所述第二推杆的一侧，四个第三子挠性结构
沿所述第二推杆的推动方向两两相对设置，所述内框框架通过所述第三子挠性结构与第二导向框连接。8.根据权利要求7所述的位移装置，其特征在于，所述第四挠性组件包括四个第四子挠性结构，两个所述第四子挠性结构设所述第三子挠性结构远离所述第一推杆的一侧，另两个所述第四子挠性结构设于所述第三子挠性结构靠近所述第一推杆的一侧，四个第四子挠性结构沿所述第二推杆的推动方向两两相对设置。9.根据权利要求8所述的位移装置，其特征在于，所述第三子挠性结构包括第三连接部与第三加强部，所述第三加强部的两端分别与两个所述第三连接部连接，所述第三加强部的宽度大于所述第三连接部的宽度；及所述第四子挠性结构包括第四连接部与第四加强部，所述第四加强部的两端分别与两个所述第四连接部连接，所述第四加强部的宽度大于所述第四连接部的宽度。10.根据权利要求6所述的位移装置，其特征在于，所述位移装置还包括第二弹性装置，所述第二弹性装置设于所述内框框架与所述位移框架之间，且设于所述内框框架远离所述第二推杆的一侧。11.一种镜头组件，其特征在于，所述镜头组件包括检测镜头与如权利要求1-10任一项所述的位移装置，所述检测镜头与所述位移装置连接，所述位移装置用于调整所述检测镜头的位置。12.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括如权利要求11所述的镜头组件。

技术总结
本申请公开了一种位移装置、镜头组件及检测设备，所述位移装置通过所述第一推杆推动所述内框框架，能够带动所述内框框架沿着所述第一导向框的内侧壁的延伸方向进行移动，从而通过所述第一导向框限制所述内框框架的移动方向，并且在所述内框框架移动过程中，所述第一挠性组件以及所述第二挠性组件发生弹性形变，并通过所述第一挠性组件与所述第二挠性组件的弹力作用对所述内框框架进行拉伸或推动，从而保证所述内框框架在移动过程中不发生偏移，提高了所述位移装置的移动精度。提高了所述位移装置的移动精度。提高了所述位移装置的移动精度。


技术研发人员：曾呈 黄有为 刘伟龙 陈鲁 张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：2022.07.01
技术公布日：2022/10/18