一种磁流体旋转密封机构检漏工具及检漏方法与流程

1.本发明属于半导体高端设备制造、气相沉积设备技术领域，涉及一种磁流体旋转密封机构检漏工具及检漏方法。


背景技术：

2.旋转密封机构是决定气相沉积设备薄膜工艺的关键模块，尤其是磁流体旋转密封机构的密封性能好坏直接影响镀膜的质量。在组装带有磁流体旋转密封机构的气相沉积设备（例如化学气相沉积（简称cvd）设备）的过程中，为了确保较高的密封性，在磁流体的两端一般均会设置密封环。
3.由于人工装配以及零件加工精度方面都不可避免地存在一定误差，因此无法保证安装后即为高密封。现有的公开技术中均是在设备组装完毕后通过设备运行的实际状况来判断磁流体旋转密封机构的密封性能，安装与拆卸过程繁琐，无法在安装过程中对密封性不好的结构进行调整和重装，无疑增加了操作上的人工成本。


技术实现要素：

4.鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种磁流体旋转密封机构检漏工具及检漏方法，用于解决现有磁流体旋转密封机构的安装与拆卸过程繁琐、无法在安装过程中对密封性不好的结构进行调整和重装、人工成本较高等问题。
5.为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种磁流体旋转密封机构检漏工具，包括：连接结构；通气结构，包括通气管、第一密封板、第一密封环、第二密封板、第二密封环、通气道、固定杆及第一固定结合部，所述通气管的顶端与所述连接结构连接，所述通气管的底端与所述第一密封板连接，所述第一密封环配置于所述第一密封板的底面，所述第二密封板与所述第一密封板连接，且所述第一密封板的侧缘水平突出于所述第二密封板的侧缘，所述第二密封环配置于所述第二密封板的底面，所述通气道自所述第二密封板的侧壁开口，并往所述第二密封板的内部延伸直至与所述通气管连通，所述固定杆的顶端与所述第二密封板连接，所述固定杆的底端连接所述第一固定结合部；固定结构，包括辅助固定部、拉杆、第二固定结合部、销轴及偏心夹紧手柄，所述辅助固定部内部中空且设有顶部开口与底部开口，所述第二固定结合部位于所述辅助固定部的内部空间中并可拆卸式连接于所述第一固定结合部，所述拉杆穿过所述底部开口，且所述拉杆的顶端与所述第二固定结合部连接，所述拉杆的底端突出于所述辅助固定部外部，所述偏心夹紧手柄位于所述辅助固定部下方并通过所述销轴与所述拉杆转动式连接。
6.可选地，所述第二固定结合部与所述第一固定结合部之间通过旋转铆合方式连接。
7.可选地，所述第一固定结合部包括卡槽及入口，所述入口位于所述卡槽下方并与
所述卡槽连通，所述第二固定结合部的形状与所述入口相匹配以经由所述入口伸入所述卡槽中，且所述第二固定结合部伸入所述卡槽中后水平旋转预设角度后完成与所述第一固定结合部之间的铆合连接。
8.可选地，所述入口呈一字型。
9.可选地，所述偏心夹紧手柄包括偏心半圆部与手柄部，所述偏心半圆部具有一面向所述辅助固定部的圆弧面，所述偏心半圆部通过所述销轴与所述拉杆转动式连接，所述销轴的中心轴线偏离所述圆弧面对应的圆心，所述手柄部的一端与所述偏心半圆部固定连接以在外力作用下带动所述偏心半圆部绕所述销轴转动进而带动所述拉杆上升或下降。
10.可选地，所述偏心夹紧手柄满足r/e=7.5～10，其中，r为所述圆弧面对应的圆直径，e为所述销轴的中心轴线与所述圆弧面对应的圆心之间的距离。
11.可选地，所述连接结构包括第一夹紧部、第二夹紧部及夹紧固定部，所述第一夹紧部的一端与所述第二夹紧部的一端转动连接，且所述第一夹紧部与所述第二夹紧部共同围成一容许所述通气管顶端伸入的空间，所述第一夹紧部的另一端与所述第二夹紧部的另一端通过所述夹紧固定部可拆卸式连接。
12.本发明还提供一种磁流体旋转密封机构的检漏方法，包括以下步骤：提供一磁流体旋转密封机构、气体检测装置及如上任意一项所述的磁流体旋转密封机构检漏工具，所述磁流体旋转密封机构包括内管组件、外管组件及磁流体，所述内管组件可旋转设置于所述外管组件内，所述磁流体位于所述内管组件与所述外管组件之间的间隙内；将所述气体检测装置连接于所述连接结构；将所述检漏工具具有所述第一固定结合部的一端从所述磁流体旋转密封机构的顶端穿过所述内管组件以延伸到所述磁流体旋转密封机构的底端；将所述固定结构安装于所述内管组件的底端，并使所述第二固定结合部与所述第一固定结合部连接；以所述销轴为圆心轴转动所述偏心夹紧手柄以拉动所述拉杆向下移动，所述固定杆随所述拉杆下降而使所述第一密封板压紧所述外管组件的顶端，并使所述第二密封板压紧所述内管组件的顶端；从所述磁流体下方通入待检测气体至所述间隙中，若所述气体检测装置检测到通入的气体，则判断所述磁流体旋转密封机构的密封性能不好；若所述气体检测装置没有检测到通入的气体，则判断所述磁流体旋转密封机构的密封性能良。
13.可选地，所述外管组件的顶端高于所述内管组件的顶端，所述第二密封板的底面低于所述第一密封板的底面。
14.可选地，所述外管组件包括外管主体及连接件，所述连接件的底端与所述外管主体的顶端密封连接，所述第一密封板通过所述第一密封环与所述连接件的顶端密封连接。
15.可选地，所述连接件水平延伸至所述内管组件上方，所述连接件的底端设有面向所述内管组件顶端的吹气口。
16.可选地，所述磁流体旋转密封机构还包括位于所述间隙内且自上而下依次设置的磁流体上端密封环与磁流体下端密封环，所述磁流体分布于所述磁流体上端密封环与所述磁流体下端密封环之间。
17.如上所述，本发明的磁流体旋转密封机构检漏工具包括连接结构、通气结构及固定结构，所述通气结构包括通气管、第一密封板、第一密封环、第二密封板、第二密封环、通气道、固定杆及第一固定结合部，所述固定结构包括辅助固定部、拉杆、第二固定结合部、销轴及偏心夹紧手柄。当需要对磁流体旋转密封机构进行检漏时，将气体检测装置连接于所述连接结构，将所述检漏工具具有所述第一固定结合部的一端从所述磁流体旋转密封机构的顶端穿过磁流体旋转密封机构的内管组件以延伸到所述磁流体旋转密封机构的底端，将所述固定结构安装于所述内管组件的底端，并使所述第二固定结合部与所述第一固定结合部连接；以所述销轴为圆心轴转动所述偏心夹紧手柄以拉动所述拉杆向下移动，所述固定杆随所述拉杆下降而使所述第一密封板压紧流体旋转密封机构的外管组件的顶端，并使所述第二密封板压紧所述内管组件的顶端，从所述磁流体下方通入待检测气体至所述内管组件与所述外管组件之间的间隙中，若所述气体检测装置检测到通入的气体，则判断所述磁流体旋转密封机构的密封性能不好，需要重新密封组装并进行下一次检漏操作，若所述气体检测装置没有检测到通入的气体，则判断所述磁流体旋转密封机构的密封性能良好，可使用该被测磁流体旋转密封机构进一步地进行装机组合。本发明的磁流体旋转密封机构检漏工具及检漏方法能够保证磁流体旋转密封机构在安装过程中即可对密封性不好的结构进行调整和重装，从而提高磁流体旋转密封机构的密封性能，且所述检漏工具结构简单，操作方便，检漏精度高，装卸速度快；可提高工作效率，最快程度测得磁流体的真空度。
附图说明
18.图1显示为本发明的磁流体旋转密封机构检漏工具的立体结构示意图。
19.图2显示为所述连接结构的立体结构示意图。
20.图3显示为所述通气结构的立体结构示意图。
21.图4显示为所述固定结构的立体结构示意图。
22.图5显示为所述偏心夹紧手柄的立体结构示意图。
23.图6显示为一种被测磁流体旋转密封机构的立体结构示意图。
24.图7显示为所述磁流体旋转密封机构的剖面结构示意图。
25.图8显示为所述检漏工具安装于所述磁流体旋转密封机构后的剖面结构示意图。
26.图9显示为偏心夹紧机构转动副的受力示意图。
27.图10显示为sinα-0.1cosα函数图形。
28.图11显示为r/e=7.5情况下的机构几何关系示意图。
29.图12显示为r/e=10情况下的机构几何关系示意图。
30.元件标号说明：1 连接结构，101 第一夹紧部，102 第二夹紧部，103 夹紧固定部，2通气结构，201 通气管，202 第一密封板，203 第一密封环，204 第二密封板，205 第二密封环，206 通气道，207 固定杆，208 第一固定结合部，2081 卡槽，2082 入口，3 固定结构，301 辅助固定部，302 拉杆，303 第二固定结合部，304 销轴，305 偏心夹紧手柄，3051 偏心半圆部，3052 手柄部，4 磁流体旋转密封机构，401 内管组件，402 外管组件，4021 外管主体，4022 连接件，4023 吹气口，403 磁流体，404 磁流体上端密封环，405 磁流体下端密封环，406 通气口。
具体实施方式
31.以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
32.请参阅图1至图12。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
33.实施例一本实施例中提供一种磁流体旋转密封机构检漏工具，请参阅图1，显示为该检漏工具的立体结构示意图，包括连接结构1、通气结构2及固定结构3。
34.具体的，所述连接结构1用于将气体检测装置连接于所述通气结构2的顶端以检测泄漏的气体。请参阅图2，显示为所述连接结构1的立体结构示意图，所述连接结构1包括第一夹紧部101、第二夹紧部102及夹紧固定部103，所述第一夹紧部101的一端与所述第二夹紧部102的一端转动连接，且所述第一夹紧部101与所述第二夹紧部102共同围成一容许所述通气结构2的顶端（具体为后续所述通气管201的顶端，可参见图3）伸入的空间，所述第一夹紧部101的另一端与所述第二夹紧部102的另一端通过所述夹紧固定部103可拆卸式连接。
35.作为示例，所述夹紧固定部103包括螺丝与螺母，以紧固方式使所述第一夹紧部101与所述第二夹紧部102共同夹紧所述气体检测装置与所述通气结构2的对接位置。
36.在其它实施例中，所述连接结构也可以采用其它形式，只要能够实现气体检测装置与所述通气结构2的稳定对接即可，此处不应过分限制本发明的保护范围。
37.具体的，所述通气结构2为所述检漏工具的主体功能部件，用于实现对气相沉积设备上的磁流体旋转密封机构的密封性的检测，具体用于将磁流体旋转密封机构泄漏的气体导入到气体检测装置中。
38.请参阅图3，显示为所述通气结构2的立体结构示意图，所述通气结构2包括通气管201、第一密封板202、第一密封环203、第二密封板204、第二密封环205、通气道206、固定杆207及第一固定结合部208，其中，所述通气管201的顶端与所述连接结构1连接，所述通气管201的底端与所述第一密封板202连接，所述第一密封环203配置于所述第一密封板202的底面，所述第二密封板204与所述第一密封板202连接，且所述第一密封板202的侧缘水平突出于所述第二密封板204的侧缘，所述第二密封环205配置于所述第二密封板204的底面，所述通气道206自所述第二密封板204的侧壁开口，并往所述第二密封板204的内部延伸直至与所述通气管201连通，所述固定杆207的顶端与所述第二密封板204连接，所述固定杆207的底端连接所述第一固定结合部208。
39.具体的，所述固定结构3为所述检漏工具的固定功能部件，用于将所述通气结构2固定于磁流体旋转密封机构。
40.请参阅图4，显示为所述固定结构3的立体结构示意图，包括辅助固定部301、拉杆302、第二固定结合部303、销轴304及偏心夹紧手柄305，所述辅助固定部301呈内部中空的
套筒状，且设有顶部开口与底部开口，所述第二固定结合部303位于所述辅助固定部301的内部空间中并可拆卸式连接于所述第一固定结合部208，所述拉杆302穿过所述底部开口，且所述拉杆302的顶端与所述第二固定结合部303连接，所述拉杆302的底端突出于所述辅助固定部301外部，所述偏心夹紧手柄305位于所述辅助固定部301下方并通过所述销轴304与所述拉杆302转动式连接。
41.本实施例中，所述辅助固定部301的顶端尺寸设计为比被测磁流体旋转密封机构的内管组件401的底部开口的尺寸略小以恰好可置入该开口内，将所述辅助固定部301的顶端置入所述内管组件401的底部开口内之后，能使所述固定结构3固定在所述被测磁流体旋转密封机构的底端位置。
42.作为示例，请结合查看图3及图4，所述第二固定结合部303与所述第一固定结合部208之间通过旋转铆合方式连接，其中，所述第一固定结合部208包括卡槽2081及入口2082，所述入口2082位于所述卡槽2081下方并与所述卡槽2081连通，所述第二固定结合部303的形状与所述入口2082相匹配以经由所述入口2082伸入所述卡槽2081中，且所述第二固定结合部303伸入所述卡槽2081中后水平旋转预设角度后完成与所述第一固定结合部208之间的铆合连接。本实施例中，所述入口2082呈一字型，所述第二固定结合部303伸入所述卡槽2081中后水平旋转90
°
后即可完成与所述第一固定结合部208的连接。
43.具体的，所述偏心夹紧手柄305用于控制所述拉杆302的水平旋转角度进而控制所述第二固定结合部303的水平旋转角度，且所述偏心夹紧手柄305还用于控制所述拉杆302的升降。
44.请参阅图5，显示为所述偏心夹紧手柄305的立体结构示意图，所述偏心夹紧手柄305包括偏心半圆部3051与手柄部3052。
45.请结合查看图4及图5，所述偏心半圆部3051具有一面向所述辅助固定部301的圆弧面，所述偏心半圆部3051通过所述销轴304与所述拉杆302转动式连接，所述销轴304的中心轴线偏离所述圆弧面对应的圆心，所述手柄部3052的一端与所述偏心半圆部3051固定连接以在外力作用下带动所述偏心半圆部3051绕所述销轴304转动，进而带动所述拉杆302上升或下降。
46.作为示例，所述偏心半圆部3051的非圆弧面与所述手柄部3052连接，作为示例，所述偏心夹紧手柄305满足r/e=7.5～10，从而可以实现自锁，即对所述偏心夹紧手柄305施加外力f使所述拉杆302下降并使所述第一密封板202、所述第二密封板204压紧磁流体旋转密封机构顶端后，撤去外力f后，所述第一密封板202、所述第二密封板204保持压紧状态，其中，r为所述圆弧面对应的圆直径，e为所述销轴304的中心轴线与所述圆弧面对应的圆心之间的距离，即所述销轴304的偏心距离。
47.本实施例的检漏工具可保证磁流体旋转密封机构在安装过程中即可对密封性不好的结构进行调整和重装，从而有利于提高磁流体旋转密封机构的密封性能。并且本实施例的检漏工具具有结构简单、操作方便、检漏精度高、装卸速度快的特点，有利于提高工作效率，最快程度测得磁流体的真空度。
48.实施例二本实施例中提供一种磁流体旋转密封机构的检漏方法，其将实施例一中所述的磁流体旋转密封机构检漏工具分别与气体检测装置、被测磁流体旋转密封机构连接以检测该
磁流体旋转密封机构的密封性能。
49.请参阅图6、图7及图8，其中，图6显示为一种被测磁流体旋转密封机构4的立体结构示意图，图7显示为所述磁流体旋转密封机构4的剖面结构示意图，图8显示为所述检漏工具安装于所述磁流体旋转密封机构4后的剖面结构示意图。
50.具体的，所述磁流体旋转密封机构4包括内管组件401、外管组件402及磁流体403，所述内管组件401可旋转设置于所述外管组件402内，所述磁流体403位于所述内管组件401与所述外管组件402之间的间隙内，在所述内管组件401的外壁呈环绕包围状分布。
51.本实施例中，所述磁流体旋转密封机构4还包括位于所述间隙内且自上而下依次设置的磁流体上端密封环404与磁流体下端密封环405，所述磁流体403分布于所述磁流体上端密封环404与所述磁流体下端密封环405之间，所述磁流体上端密封环404用于磁流体上端的密封以防止磁流体或磁流体运动产生的蒸气从上端溢出，所述磁流体下端密封环405用于磁流体下端的密封以防止磁流体或磁流体运动产生的蒸气从下端溢出。
52.作为示例，所述外管组件402的顶端高于所述内管组件401的顶端，相应地，所述第二密封板204的底面设计为低于所述第一密封板202的底面以适配所述磁流体旋转密封机构4的顶端形貌。在其它实施例中，若被测磁流体旋转密封机构的外管组件的顶端高于内管组件的顶端，则所述第二密封板204的底面将设计为高于所述第一密封板202的底面。
53.作为示例，所述外管组件402包括外管主体4021及连接件4022，所述连接件4022的底端与所述外管主体4021的顶端密封连接，所述第一密封板202通过所述第一密封环203与所述连接件4022的顶端密封连接以阻挡被测气体由所述第一密封板202的外侧溢出，从而隔绝所述外管组件402的顶端与大气的连通。所述第一密封环203的材质包括但不限于橡胶。
54.作为示例，所述连接件4022水平延伸至所述内管组件401上方，所述连接件4022的底端设有面向所述内管组件401顶端的吹气口4023以防止镀膜过程中颗粒进入所述间隙内。所述第二密封板204位于所述连接件4022内侧并通过所述第二密封环205与所述内管组件401的顶端密封连接以阻挡被测气体由所述第二密封板204的内侧溢出，从而隔绝所述内管组件401的顶端与大气的连通。所述第二密封环205的材质包括但不限于橡胶。
55.具体的，所述检漏工具的安装步骤包括：将所述气体检测装置连接于所述连接结构1；将所述检漏工具具有所述第一固定结合部208的一端从所述磁流体旋转密封机构4的顶端穿过所述内管组件401以延伸到所述磁流体旋转密封机构4的底端；将所述固定结构3安装于所述内管组件401的底端，并使所述第二固定结合部303与所述第一固定结合部208连接；以所述销轴304为圆心轴转动所述偏心夹紧手柄305以拉动所述拉杆302向下移动，所述固定杆207随所述拉杆302下降而使所述第一密封板202压紧所述外管组件402的顶端，并使所述第二密封板204压紧所述内管组件401的顶端；从所述磁流体403下方通入待检测气体至所述间隙中，其中，用于通入待检测气体的通气口的具体位置可以根据需要进行调整，只要位于磁流体下端密封环以下即可。本实施例中，如图8所示，所述通气口406设置于所述外管组件402底端与所述内管组件401的外壁的交界处，所述通气口406与所述磁流体下端密封环405、所述磁流体403、所述磁流体上
端密封环404、所述吹气口4023、所述通气道206及所述通气管201在同一连通的通气管道内，即从所述通气口406通入气体后，如若所述磁流体下端密封环405和磁流体上端密封环404的密封不严密，则通入的气体将从所述通气口406依次顺延所述磁流体下端密封环405、所述磁流体403、所述磁流体上端密封环404、所述吹气口4023、所述通气道206及所述通气管201及所述连接结构1到达所述气体检测装置内。
56.作为示例，所述待检测气体可以是氦气或其它合适的气体，如果所述气体检测装置可检测到通入的气体，即可判断得知被测磁流体旋转密封机构的密封性能不好，需要重新密封组装并进行下一次检漏操作；如果所述气体检测装置没有检测到通入的气体，即可判断得知被测磁流体旋转密封机构的密封性能良好，可使用该被测磁流体旋转密封机构进一步地进行装机组合。
57.具体的，测漏操作完毕后，按照原组装固定过程逆行拆卸所述磁流体旋转密封机构4检漏工具各部分即可。
58.需要指出的是，图6及图7仅为被测磁流体旋转密封机构的一种示例，在其它实施例中，所述内管组件401与所述外管组件402的具体结构可以根据需要进行调整，此处不应过分限制本发明的保护范围。
59.具体的，在安装所述检漏工具时，以所述销轴304为圆心轴绕竖直方向旋转所述手柄部3052直至无法旋转为止以实现所述检漏工具的安装固定，此时，所述偏心半圆部3051的圆弧面与所述辅助固定部301的底面之间具有一夹紧点，对于由所述偏心夹紧手柄305、所述销轴304及所述辅助固定部301组成的偏心夹紧机构的自锁受力分析如下：（1）问题描述已知：偏心夹紧机构中各处摩擦因数均为
µ
，所述偏心夹紧手柄305（以下称为构件一）的圆弧面对应的圆半径为r，所述圆弧面与所述辅助固定部301的底面间的摩擦角为ψ1；所述销轴304（以下称为构件三）的半径为r，摩擦圆半径为ρ，所述销轴304与所述偏心半圆部3051间摩擦角为ψ2；偏心距为e；对构件一施加外力f将所述辅助固定部301（以下称为构件二）压紧，忽略各构件质量。
60.问题：撤去外力f后，机构自锁，需确定该机构应满足的几何条件。
61.求解思路：构件一所受到的力为f
r31
，f
r21
，其中，f
r31
为构件三对构件一的力，f
r21
为构件二对构件一的力；分析构件一的运动趋势；通过分析受力，确定运动副的自锁条件；由于摩擦因数处处相等，所以ψ1=ψ2=ψ；解：a）根据构件三的尺寸及摩擦系数画出摩擦圆、计算摩擦角ψ2=arctan
µ
；b）判定各个构件间的相对运动方向（见图9呈现的偏心夹紧机构转动副受力示意图）；c）判定构件二对构件一的作用力（见图9）由松开构件一对构件二的压紧的运动趋势，可以判断f
r21
是驱动力；欲使构件一不动，则其驱动力应与摩擦圆相割或相切，且
其中，l为f
r21
的力臂；p为偏心半圆部与辅助固定部的夹紧接触点；o1为偏心半圆部圆心；o2为销轴圆心；c为过o2点作预定直线的垂线所得的垂足，其中，所述预定直线经过o1点且平行于f
r21
的力线；d为过o1点作f
r21
的力线的垂线所得的垂足；ω
12
为偏心夹紧手柄相对于辅助固定部的转动方向；ω
13
为偏心夹紧手柄相对于销轴的转动方向；为o2点与c点之间的距离；为o1点与d点之间的距离；为o1点与p点之间的距离（等于偏心半圆部的半径）。
62.由以上四个表达式可以推出esin(α-ψ）≤rsinψ ρ，其中，ρ=fv•
r=sinψ
•
r=rsinψ，则esin(α-ψ）≤rsinψ rsinψ，其中，fv为当量摩擦系数。
63.由于偏心夹紧构件通常是钢制，所以取最小摩擦系数
µ
=0.1，由此tanψ=0.1；代入上述不等式可得10e(sinα-0.1cosα)≤r r。
64.请参阅图10，显示为sinα-0.1cosα函数图形，可见，sinα-0.1cosα的最大值是1，所以当满足10e≤r r时，整个机构即可自锁。
65.请参见下表，为α（角度）与sinα-0.1cosα数值对应表。
66.表格一：
根据现有夹具设计手册中相关内容可知，r/e称为偏心轮特性，表示偏心轮工作的可靠性，只要α≤14.24
°
或是7≤r/e，偏心轮圆周上各夹紧点均能自锁，本实施例中选取r/e=7.5》7和r/e=10两种极限位置，以说明偏心夹紧机构方案在本案例中可以自锁。
67.请参阅图11，显示为r/e=7.5情况下的机构几何关系示意图，当r/e=7.5，且选取r=15，e=2时，从图11中可看到α
p
=7
°
，则有α
p
=7
°
《14.24
°
，所以在r/e》7的情况下，本机构可以自锁，其中，α
p
为o1点与p点的连线、o2点与p点的连线之间的夹角；h0为圆偏心回转中心到工件夹紧表面间的距离h值的最小值；γ为o1点与p点的连线、o1点与o2点的连线的延长线之间的夹角；hr为圆偏心回转中心到工件夹紧表面间的距离h值的最大值；o、a为o1点与o2点的连线所在直线与偏心半圆部所在圆周的交点。
68.请参阅图12，显示为r/e=10情况下的机构几何关系示意图，当r/e=10，且选取r=20，e=2时，从图12中可看到α
p
=5
°
，则有α
p
=5
°
《14.24
°
，所以在r/e≤10的情况下，本机构可以自锁。
69.因此，本发明中r/e的范围在7.5～10之间时，偏心夹紧机构是可以实现自锁的。
70.综上所述，本发明的磁流体旋转密封机构检漏工具包括连接结构、通气结构及固定结构，所述通气结构包括通气管、第一密封板、第一密封环、第二密封板、第二密封环、通气道、固定杆及第一固定结合部，所述固定结构包括辅助固定部、拉杆、第二固定结合部、销轴及偏心夹紧手柄。当需要对磁流体旋转密封机构进行检漏时，将气体检测装置连接于所述连接结构，将所述检漏工具具有所述第一固定结合部的一端从所述磁流体旋转密封机构的顶端穿过磁流体旋转密封机构的内管组件以延伸到所述磁流体旋转密封机构的底端，将所述固定结构安装于所述内管组件的底端，并使所述第二固定结合部与所述第一固定结合部连接；以所述销轴为圆心轴转动所述偏心夹紧手柄以拉动所述拉杆向下移动，所述固定杆随所述拉杆下降而使所述第一密封板压紧流体旋转密封机构的外管组件的顶端，并使所
述第二密封板压紧所述内管组件的顶端，从所述磁流体下方通入待检测气体至所述内管组件与所述外管组件之间的间隙中，若所述气体检测装置检测到通入的气体，则判断所述磁流体旋转密封机构的密封性能不好，需要重新密封组装并进行下一次检漏操作，若所述气体检测装置没有检测到通入的气体，则判断所述磁流体旋转密封机构的密封性能良好，可使用该被测磁流体旋转密封机构进一步地进行装机组合。本发明的磁流体旋转密封机构检漏工具及检漏方法能够保证磁流体旋转密封机构在安装过程中即可对密封性不好的结构进行调整和重装，从而提高磁流体旋转密封机构的密封性能，且所述检漏工具结构简单，操作方便，检漏精度高，装卸速度快；可提高工作效率，最快程度测得磁流体的真空度。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
71.上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。