一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪的制作方法

1.本实用新型涉及形貌测量仪技术领域，特别涉及一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪。


背景技术：

2.表面形貌是制造产品和科学样件的重要质量特征，直接影响其功能特性；表面形貌测量，对于其功能质量分析和优化具有重要意义。功能结构性表面，如ic表面、mems表面、微镜阵列表面等，是一种尺度上微观、结构功能上宏观的特殊表面，具有表面不连续、精度高的特点。
3.现有技术中通常采用白光干涉测量法进行形貌测量，其对于台阶、沟槽等结构特征组成的反射信号为主的微纳制件表面，具有稳定性高、抗外界扰动及光源功率变化影响等优点，成为当前最主要的微结构表面测量技术。
4.但是现有的白光干涉仪大部分为固定设置，这样干涉仪的干涉范围固定，当形貌测量仪需要测量大尺寸的物体时，由于干涉仪的范围固定，会导致部分位置在测量时无法对白光进行干涉，从而影响测量的准确性，所以亟需一种能够移动提升干涉仪干涉范围的大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，能够解决传统的白光干涉仪的干涉范围固定，影响适用范围的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，包括形貌测量仪本体，所述形貌测量仪本体的后表面固定连接有固定板，形貌测量仪本体的右表面设置有显示器，固定板的前表面固定连接有固定箱，固定箱的底面设置有干涉仪本体，固定箱的顶面固定连接有电机，电机的输出端固定连接有传动杆，传动杆的下端延伸至固定箱的内部且与固定箱转动连接，传动杆下端固定连接有齿轮，干涉仪本体的顶面设置有转动装置。
7.优选的，所述固定箱底面开设有连接槽，连接槽与固定箱的内部连通，连接槽的形状为弧形。
8.优选的，所述固定箱内壁的底面固定连接有两个限位杆。
9.优选的，所述干涉仪本体的顶面转动连接有第二转动杆，第二转动杆的上端贯穿连接槽延伸至固定箱的内部，第二转动杆的顶面固定连接有挡块，挡块与固定箱滑动连接，第二转动杆与连接槽相接触。
10.优选的，所述动装置包括第一转动杆，第一转动杆转动连接在干涉仪本体的顶面，第一转动杆的上端贯穿固定箱延伸至固定箱的内部，第一转动杆与固定箱转动连接，第一转动杆的上端固定连接有齿板，齿板的形状为半圆形，齿板的左右表面均固定连接有连接
块，齿板与齿轮啮合连接。
11.优选的，两个所述连接块分别与对应的限位杆相接触。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.(1)、该用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，通过转动装置的设置，第一转动杆往复转动带动，带动干涉仪本体进行摆动，从而提升了干涉仪本体的干涉范围，进而在体积较大的物体进行测量时，利用干涉仪本体摆动能够确保物体测量时对白光的干涉，从而提升了测量的准确性。
14.(2)、该用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，当第二转动杆在连接槽中移动时利用摩擦力使得第二转动杆进行转动，利用第二转动杆转动能够降低了第二转动杆在连接槽中发生卡死的现象，从而提升了该装置的耐用性，通过连接槽弧形的设置，与干涉仪本体的移动轨迹更加适配，从而提升了该装置的实用性。
附图说明
15.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明：
16.图1为本实用新型一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪结构示意图；
17.图2为本实用新型一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪齿板示意图；
18.图3为本实用新型一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪连接槽示意图；
19.图4为本实用新型一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪转动装置平面示意图。
20.附图标记：1、形貌测量仪本体；2、固定板；3、显示器；4、固定箱；5、电机；6、干涉仪本体；7、第一转动杆；8、齿板；9、连接块；10、第二转动杆；11、挡块；12、连接槽；13、限位杆；14、传动杆；15、齿轮。
具体实施方式
21.本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.在本实用新型的描述中，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
24.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
25.实施例一：
26.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，包括形貌测量仪本体1，形貌测量仪本体1为现有结构，在此不做过多叙述，形貌测量仪本体1的后表面固定连接有固定板2，形貌测量仪本体1的右表面设置有显示器3，固定板2的前表面固定连接有固定箱4，固定箱4的底面设置有干涉仪本体6，干涉仪本体6为现有结构，在此不走过多叙述，在使用该装置时，将物体放在形貌测量仪本体1上进行测量，通过干涉仪本体6对白光进行干涉，从而辅助形貌测量仪本体1对物体进行测量。
27.进一步地，固定箱4的顶面固定连接有电机5，电机5的输出端固定连接有传动杆14，传动杆14的下端延伸至固定箱4的内部且与固定箱4转动连接，传动杆14下端固定连接有齿轮15，在使用该装置时，通过连接外部电源启动电机5，电机5带动传动杆14进行转动，传动杆14转动带动齿轮15在固定箱4的内部转动。
28.实施例二；
29.请参阅图1-4，在实施例一的基础上，固定箱4底面开设有连接槽12，连接槽12与固定箱4的内部连通，连接槽12的形状为弧形，固定箱4内壁的底面固定连接有两个限位杆13。
30.进一步地，干涉仪本体6的顶面转动连接有第二转动杆10，第二转动杆10的上端贯穿连接槽12延伸至固定箱4的内部，第二转动杆10的顶面固定连接有挡块11，挡块11与固定箱4滑动连接，第二转动杆10与连接槽12相接触。
31.进一步地，干涉仪本体6的顶面设置有转动装置，转动装置包括第一转动杆7，第一转动杆7转动连接在干涉仪本体6的顶面，第一转动杆7的上端贯穿固定箱4延伸至固定箱4的内部，第一转动杆7与固定箱4转动连接，第一转动杆7的上端固定连接有齿板8，齿板8的形状为半圆形，齿板8的左右表面均固定连接有连接块9，齿板8与齿轮15啮合连接，两个连接块9分别与对应的限位杆13相接触。
32.进一步地，在使用该装置时，通过齿轮15转动带动齿板8转动，齿板8转动带动两个连接块9转动，由于两个连接块9受到两个限位杆13的限制，所以齿板8只能够进行限制范围内的摆动，齿板8摆动带动第一转动杆7进行往复转动，第一转动杆7往复转动带动带动干涉仪本体6进行摆动。
33.进一步地，通过转动装置的设置，利用转动转动带动干涉仪本体6进行摆动，从而提升了干涉仪本体6的干涉范围，进而在体积较大的物体进行测量时，利用干涉仪本体6摆动能够确保物体测量时对白光的干涉，从而提升了测量的准确性。
34.进一步地，当干涉仪本体6进行摆动时，第二转动杆10在连接槽12的内部进行移动，第二转动杆10移动带动挡块11在固定箱4内壁的底面滑动，通过挡块11对第二转动杆10起到一个支撑的作用，当第二转动杆10在连接槽12中移动时利用摩擦力使得第二转动杆10进行转动，利用第二转动杆10转动能够降低了第二转动杆10在连接槽12中发生卡死的现象，从而提升了该装置的耐用性，通过连接槽12弧形的设置，与干涉仪本体6的移动轨迹更加适配，从而提升了该装置的实用性。
35.工作原理：
36.在使用该装置时，首先将物体放在形貌测量仪本体1上进行测量，通过干涉仪本体6对白光进行干涉，从而辅助形貌测量仪本体1对物体进行测量，然后通过连接外部电源启动电机5，电机5带动传动杆14进行转动，传动杆14转动带动齿轮15在固定箱4的内部转动，
通过齿轮15转动带动齿板8转动，齿板8转动带动两个连接块9转动，由于两个连接块9受到两个限位杆13的限制，所以齿板8只能够进行限制范围内的摆动，齿板8摆动带动第一转动杆7进行往复转动，第一转动杆7往复转动带动带动干涉仪本体6进行摆动，最后当干涉仪本体6进行摆动时，第二转动杆10在连接槽12的内部进行移动，第二转动杆10移动带动挡块11在固定箱4内壁的底面滑动，通过挡块11对第二转动杆10起到一个支撑的作用，当第二转动杆10在连接槽12中移动时利用摩擦力使得第二转动杆10进行转动。
37.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。