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一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪的制作方法

2022-09-14 21:37:29 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,包括形貌测量仪本体(1),其特征在于:所述形貌测量仪本体(1)的后表面固定连接有固定板(2),形貌测量仪本体(1)的右表面设置有显示器(3),固定板(2)的前表面固定连接有固定箱(4),固定箱(4)的底面设置有干涉仪本体(6),固定箱(4)的顶面固定连接有电机(5),电机(5)的输出端固定连接有传动杆(14),传动杆(14)的下端延伸至固定箱(4)的内部且与固定箱(4)转动连接,传动杆(14)下端固定连接有齿轮(15),干涉仪本体(6)的顶面设置有转动装置。2.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,其特征在于:所述固定箱(4)底面开设有连接槽(12),连接槽(12)与固定箱(4)的内部连通,连接槽(12)的形状为弧形。3.根据权利要求2所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,其特征在于:所述固定箱(4)内壁的底面固定连接有两个限位杆(13)。4.根据权利要求3所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,其特征在于:所述干涉仪本体(6)的顶面转动连接有第二转动杆(10),第二转动杆(10)的上端贯穿连接槽(12)延伸至固定箱(4)的内部,第二转动杆(10)的顶面固定连接有挡块(11),挡块(11)与固定箱(4)滑动连接,第二转动杆(10)与连接槽(12)相接触。5.根据权利要求4所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,其特征在于:所述动装置包括第一转动杆(7),第一转动杆(7)转动连接在干涉仪本体(6)的顶面,第一转动杆(7)的上端贯穿固定箱(4)延伸至固定箱(4)的内部,第一转动杆(7)与固定箱(4)转动连接,第一转动杆(7)的上端固定连接有齿板(8),齿板(8)的形状为半圆形,齿板(8)的左右表面均固定连接有连接块(9),齿板(8)与齿轮(15)啮合连接。6.根据权利要求5所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,其特征在于:两个所述连接块(9)分别与对应的限位杆(13)相接触。

技术总结
本实用新型公开了一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,涉及形貌测量仪技术领域,该用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,包括形貌测量仪本体,所述形貌测量仪本体的后表面固定连接有固定板,形貌测量仪本体的右表面设置有显示器,固定板的前表面固定连接有固定箱,固定箱的底面设置有干涉仪本体,固定箱的顶面固定连接有电机,电机的输出端固定连接有传动杆,干涉仪本体的顶面设置有转动装置,通过转动装置的设置,第一转动杆往复转动带动,带动干涉仪本体进行摆动,从而提升了干涉仪本体的干涉范围,进而在体积较大的物体进行测量时,利用干涉仪本体摆动能够确保物体测量时对白光的干涉,从而提升了测量的准确性。从而提升了测量的准确性。从而提升了测量的准确性。


技术研发人员:高帅 王青郁 覃玉清
受保护的技术使用者:天津昀恺科技有限公司
技术研发日:2022.05.23
技术公布日:2022/9/13
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