曝光设备的制作方法

技术特征：
1.一种曝光设备，其特征在于，包括：传输装置、搬运装置、中转装置、多工位转台装置、下料装置、掩模装置和曝光光源；所述传输装置、所述搬运装置、所述中转装置、所述多工位转台装置和所述下料装置沿第一方向依次设置，所述掩模装置和所述曝光光源与所述多工位转台装置对应设置；所述中转装置用于将待曝光工件从所述搬运装置转移至所述多工位转台装置，所述中转装置包括摆臂机构、第一升降机构和旋转机构，所述旋转机构用于带动所述摆臂机构进行旋转，所述第一升降机构用于带动所述摆臂机构进行升降；所述多工位转台装置用于对待曝光工件进行曝光处理，所述多工位转台装置包括基座及转动设置于所述基座的旋转工作台，所述旋转工作台设有多个周向均匀分布的旋转工位；所述掩模装置包括掩模机构和用于驱动所述掩模机构进行升降的第二升降机构。2.一种曝光设备，其特征在于，包括：传输装置、中转装置、多工位转台装置、下料装置、掩模装置和曝光光源；所述传输装置、所述中转装置、所述多工位转台装置和所述下料装置沿第一方向依次设置，所述掩模装置和所述曝光光源与所述多工位转台装置对应设置；所述中转装置用于将待曝光工件从所述传输装置转移至所述多工位转台装置，所述中转装置包括摆臂机构、第一升降机构和旋转机构，所述旋转机构用于带动所述摆臂机构进行旋转，所述第一升降机构用于带动所述摆臂机构进行升降；所述多工位转台装置用于对待曝光工件进行曝光处理，所述多工位转台装置包括基座及转动设置于所述基座的旋转工作台，所述旋转工作台设有多个周向均匀分布的旋转工位；所述掩模装置包括掩模机构和用于驱动所述掩模机构进行升降的第二升降机构。3.一种曝光设备，其特征在于，包括：传输装置、中转装置、多工位转台装置、下料装置、掩模装置和曝光光源；所述传输装置位于所述中转装置的至少一侧端，所述多工位转台装置位于所述中转装置的另一侧端，所述掩模装置和所述曝光光源与所述多工位转台装置对应设置；所述中转装置用于将待曝光工件从所述传输装置转移至所述多工位转台装置，所述中转装置包括摆臂机构、第一升降机构和旋转机构，所述旋转机构用于带动所述摆臂机构进行旋转，所述第一升降机构用于带动所述摆臂机构进行升降；所述多工位转台装置用于对待曝光工件进行曝光处理，所述多工位转台装置包括基座及转动设置于所述基座的旋转工作台，所述旋转工作台设有多个周向均匀分布的旋转工位；所述掩模装置包括掩模机构和用于驱动所述掩模机构进行升降的第二升降机构。4.根据权利要求1或2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述第二升降机构为多轴升降机构，所述多轴升降机构采用多动力驱动所述掩模机构进行升降运动。5.根据权利要求4所述的曝光设备，其特征在于，所述掩模机构位于所述曝光光源和所述多工位转台装置相应的工位之间，所述掩模机构包括掩模板和用于承载所述掩模板的掩模支架，所述掩模支架与所述多轴升降机构连接。6.根据权利要求1或2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述旋转工作台设有沿圆周方向有序间隔分布的至少四个旋转工位，至少所述四个旋转工位以所述旋转工作台中心为旋转中心均匀布设；和/或，所述基座设有用于驱动所述旋转工作台水平转动的驱动电机。
7.根据权利要求6所述的曝光设备，其特征在于，当所述曝光设备为权利要求1或2所示的曝光设备时，所述四个旋转工位依次为上料工位、曝光工位、下料工位和空位；所述上料工位与所述中转装置对应设置，所述曝光工位与所述掩模装置和所述曝光光源对应设置，所述下料工位与所述下料装置对应设置。8.根据权利要求6所述的曝光设备，其特征在于，当所述曝光设备为权利要求3所示的曝光设备时，所述四个旋转工位依次为上料/下料工位、第一空位、曝光工位和第二空位；或者，所述四个旋转工位依次为上料工位、第一空位、曝光工位和下料工位；所述上料/下料工位或者所述上料工位与所述中转装置对应设置，所述曝光工位与所述掩模装置和所述曝光光源对应设置。9.根据权利要求8所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光设备还包括aoi检测装置，所述aoi检测装置设于第一空位和/或第二空位，用于对曝光后的工件进行外观检测。10.根据权利要求1或2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述摆臂机构包括至少两个摆臂，所述第一升降机构包括一个或多个上下驱动机构，所述上下驱动机构分别连接于所述旋转机构的驱动端并能够被所述旋转机构驱动做旋转运动，所述摆臂分别连接于所述上下驱动机构并被对应的所述上下驱动机构驱动做升降运动；所述旋转机构驱动所述上下驱动机构旋转，进而使所述上下驱动机构带动所述摆臂往复旋转；和/或，两个所述摆臂分别至少设置有第一吸盘和第二吸盘，用于吸取待曝光工件。11.根据权利要求10所述的曝光设备，其特征在于，当所述曝光设备为权利要求1或权利要求2所示的曝光设备时，所述旋转机构适于带动两个所述摆臂进行180
°
旋转。12.根据权利要求10所述的曝光设备，其特征在于，当所述曝光设备为权利要求3所示的曝光设备时，所述旋转机构适于带动两个所述摆臂进行90
°
至180
°
旋转。13.根据权利要求1或2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述下料装置包括下料机械手和下料传输带，所述下料机械手与所述多工位转台装置中相应的工位对应设置，用于将曝光后的工件从所述多工位转台装置转移至所述下料传输带。14.根据权利要求1或2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述传输装置包括传送带机构和悬臂机构，所述传送带机构设有用于对待曝光工件进行夹紧定位的定位部件，所述悬臂机构用于将待曝光工件从所述传送带机构转移至搬运装置或中转装置。15.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述搬运装置包括真空平台和驱动所述真空平台运动的直线电机搬运组。16.根据权利要求3所述的曝光设备，其特征在于，所述传输装置、所述多工位转台装置和所述下料装置分别位于所述中转装置的第一侧端、第二侧端和第三侧端；或者，所述传输装置和所述多工位转台装置分别位于所述中转装置的第一侧端和第二侧端，所述下料装置位于所述多工位转台装置的一侧端；或者，所述中转装置的第一侧端和第三侧端均设置有所述传输装置，所述多工位转台装置位于所述中转装置的第二侧端，所述下料装置位于所述多工位转台装置的一侧端。17.根据权利要求1或2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光设备还包括摄像装置，所述摄像装置与搬运装置或中转装置对应设置，用于对搬运装置或中转装置上的待曝光工件进行拍照，所述摄像装置与曝光设备的控制装置信号连接。18.根据权利要求1或2或3所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光设备还包括调整装
置，所述调整装置设置于搬运装置或设置于中转装置，所述调装置包括至少一组xyt调整机构，所述调整装置与曝光设备的控制装置信号连接。

技术总结
本申请公开了一种曝光设备，属于光伏电池制造装备领域。一种曝光设备，包括：传输装置、搬运装置、中转装置、多工位转台装置、下料装置、掩模装置和曝光光源；传输装置、搬运装置、中转装置、多工位转台装置和下料装置沿第一方向依次设置；中转装置包括摆臂机构、第一升降机构和旋转机构，旋转机构用于带动摆臂机构进行旋转，第一升降机构用于带动摆臂机构进行升降；多工位转台装置包括基座及转动设置于基座的旋转工作台，旋转工作台设有多个周向均匀分布的旋转工位；掩模装置包括掩模机构和用于驱动掩模机构进行升降的第二升降机构。本申请的曝光设备可以具有多种布局方式，布局合理，可减小栅线在硅片表面的占比，提高太阳能电池转换效率。换效率。换效率。


技术研发人员：洪飞 查俊 龚志清 郁操
受保护的技术使用者：苏州迈为科技股份有限公司
技术研发日：2022.06.14
技术公布日：2022/9/13