一种片盒翻转组件以及浸泡池的制作方法

1.本实用新型涉及半导体行业晶片湿法处理领域，具体而言，涉及一种片盒翻转组件以及浸泡池。


背景技术：

2.目前，在半导体行业中，晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片。在晶圆撕金去胶工艺过程中，去胶液会残留在晶圆上，需要通过浸泡清洗等步骤去掉残留的去胶液，在浸泡池中不翻转片盒，无法彻底去除去胶液，但在翻转的过程中，晶盒无法准确的调整至水平状态。


技术实现要素：

3.本实用新型解决的问题：晶盒在转动时无法准确的调整至水平状态的问题。
4.为解决上述问题，本实用新型实施例提供一种片盒翻转组件包括：主动轴，主动轴设有第一传动端；转动组件，转动组件与第一传动端固定连接，转动组件相对主动轴倾斜设置；摆动连杆，摆动连杆与转动组件连接；晶盒，晶盒与转动组件连接，转动组件包括：旋转传动件；转动板，转动板远离主动轴一侧与旋转转动件连接，转动板上设有第一缺口；其中，旋转传动件穿过第一缺口与第一传动端连接。
5.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：旋转传动件的设置将装置的竖直移动转化为转动板的转动，摆动连杆的设置让转动板转动的幅度得到了控制，让转动板在主动轴上升到最高点时能够准确的停留在水平位置，让晶盒的清洗变得更加便捷。。
6.在本实用新型的一个实施例中，旋转传动件包括：第一传动段，第一传动段与转动板贴合；第二传动段，第二传动段相对于主动轴倾斜设置并与摆动连杆固定连接，第二传动段上设有第二缺口，主动轴通过第二缺口与第二传动段连接；避让槽，避让槽设于第一传动段与第二传动段的连接处。
7.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一传动段的设置让主动轴的上升能够带动旋转传动件，第二缺口的设置让主动轴与第一传动段的连接更加牢固，第二传动段与第一传动段弯折连接的设置让第一传动段上升时能够带动第二传动段向下转动，避让槽的设置能够避免转动板在转动过程中与第一传动段接触。
8.在本实用新型的一个实施例中，转动板包括：第一安装位，第一安装位上设有晶盒；第二安装位，第二安装位上设有晶盒；连接段，连接段连接第一安装位与第二安装位，第一传动段与连接段固定连接。
9.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一安装位于第二安装位的设置让转动板能够同时带动多个晶盒进行转动，在增加了晶盒数量的同时，也能让多个晶盒的开口同时水平朝下，减少片胶的残留。
10.在本实用新型的一个实施例中，片盒翻转组件还包括：增距段，增距段设于转动板与晶盒之间，第一安装位与第二安装位上均设有增距段。
11.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：增距段的设置增加了转动板与晶盒之间的距离，避免了转动板与清洗液接触，增加了转动板的使用寿命，同时也让晶盒的拆卸更加便捷，增距段u型的设置也让增距段的整体重量降低，在转动时阻力更小。
12.在本实用新型的一个实施例中，片盒翻转组件还包括：连接组件，连接组件套设于主动轴的外部并与摆动连杆连接；固定件，固定件穿过第二传动段固定摆动连杆。
13.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：连接组件对第二传动段起到了限位的作用，固定件的设置让两侧的摆动连杆能够同时进行转动，进一步的限定了转动板的转动方向。
14.在本实用新型的一个实施例中，片盒翻转组件还包括：驱动装置，驱动装置连接主动轴相对第一传动端的另一端，安装套管与驱动装置连接，并通过法兰固定。
15.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：当主动轴需要上升或下降时，通过启动驱动装置来为主动轴的移动提供动力，法兰的设置让安装套管的连接更加稳定。
16.在本实用新型的一个实施例中，晶盒包括：晶盒本体；晶圆卡槽，晶圆卡槽设于晶盒本体的内壁；晶圆支撑杆，晶圆支撑杆至少有一个，晶圆支撑杆连接晶盒本体远离第一传动端的一侧。
17.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆支撑杆能够在转动过程中起到支撑圆晶的作用，避免圆晶掉落离开晶盒本体，晶圆卡槽的设置让圆晶能够卡设在卡槽中，避免圆晶在转动过程中发生偏移，同时也让一个晶盒本体能够放置多个圆晶，增加了清洗数量。
18.在本实用新型的一个实施例中，还包括：一种浸泡池，浸泡池包括浸泡池壳体，片盒翻转组件位于所述浸泡池壳体内，该片盒翻转组件具有上述片盒翻转组件全部技术特征，此处不再一一赘述。
附图说明
19.图1为本实用新型片盒翻转组件整体结构示意图；
20.图2为本实用新型旋转传动件结构示意图；
21.图3为本实用新型转动板结构示意图；
22.图4为本实用新型转动组件与晶盒连接示意图；
23.图5为本实用新型摆动连杆与旋转传动件连接示意图；
24.图6为本实用新型固定件具体结构示意图；
25.图7为本实用新型浸泡池整体结构示意图。
26.附图标记说明：
27.100-片盒翻转组件；110-主动轴；120-晶盒；130-连接组件；131-安装套管；132-连接台；140-法兰；150-摆动连杆；160-增距段；200-转动组件；210-转动板；211-第一安装位；212-第二安装位；213-第一缺口；214-连接段；220-旋转传动件；221-第一传动段；222-第二传动段；223-避让槽；224-第二缺口；230-固定件；300-驱动装置；310-浸泡池。
具体实施方式
28.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。
29.【第一实施例】
30.参见图1至图7，在一个具体的实施例中，片盒翻转组件100包括：主动轴110，主动轴110设有第一传动端；转动组件200，转动组件200与第一传动端固定连接，转动组件200相对主动轴110倾斜设置；摆动连杆150，摆动连杆150与转动组件200连接；晶盒120，晶盒120与转动组件200连接，转动组件200包括：旋转传动件220；转动板210，转动板210远离主动轴110一侧与旋转转动件连接，转动板210上设有第一缺口213；其中，旋转传动件220穿过第一缺口213与第一传动端连接。
31.主动轴110垂直设置，第一传动端位于主动轴110的最下端，旋转传动件220位于转动组件200的最下端并通过螺钉与主动轴110固定连接，并相对于主动轴110倾斜，摆动连杆150呈l型，摆动连杆150有两根，分别位于主动轴110的相对两侧，较长的一段与主动轴110之间固定，较短的一段与旋转传动件220上的通孔固定，晶盒120远离转动板210的一侧设有开口，开口内部放有需要清洗的晶圆。
32.当晶盒120需要转动时，驱动主动轴110进行竖直方向上的升降，在升降的过程中，第一传动端的高度发生改变，旋转传动件220相对主动轴110向下转动，转动板210跟随旋转传动件220运动，晶盒120在转动板210的作用下朝下方转动，清洗液位于晶盒120的下方，在转动的过程中，晶盒120会逐渐进入清洗液中，转动板210与主动轴110之间的角度逐渐增大，当旋转传动件220的一端与摆动连杆150平行时，主动轴110达到上升的最大值，转动板210处于水平状态，此时主动轴110无法继续向上运动，摆动连杆150的长度起到的限位的作用，当清洗工作完成后，控制主动轴110下降，让晶盒120脱离清洗液，随后将晶盒120中的圆晶取走，放入新的需要清洗的圆晶，进行下一次的清洗工作。
33.相关技术中，在控制转动板210转动时，容易出现转动过度或者转动不够的情况，导致转动板210无法处于水平位置，也让晶盒120在下降到清洗液中时，部分位置无法进行有效的清理，出现胶液残留。
34.旋转传动件220的设置将装置的竖直移动转化为转动板210的转动，摆动连杆150的设置让转动板210转动的幅度得到了控制，让转动板210在主动轴110上升到最高点时能够准确的停留在水平位置，让晶盒120的清洗变得更加便捷。
35.【第二实施例】
36.参见图2，图5，在一个具体的实施例中，旋转传动件220包括：第一传动段221，第一传动段221与转动板210贴合；第二传动段222，第二传动段222相对于主动轴110倾斜设置并与摆动连杆150固定连接，第二传动段222上设有第二缺口224，主动轴110通过第二缺口224与第二传动段222连接；避让槽223，避让槽223设于第一传动段221与第二传动段222的连接处。
37.第一传动段221与第二传动段222直接弯折设置，在弯折的连接处设有避让槽223，避让槽223呈弧形且开口朝向主动轴110一侧，第一传动段221靠近转动板210一侧为平面，平面与转动板210之间贴合，并通过螺钉固定，第二传动段222的中间部位和靠近主动轴110一端均设有通孔，中间的通孔用于与摆动连杆150固定，第二传动段222上设有第二缺口
224，第二缺口224呈“凸”字型，且靠近主动轴110一端缺口较小，主动轴110穿过第二缺口224并与第二传动段222上靠近主动轴110一侧的通孔通过螺栓固定连接。
38.第二传动段222的左右两侧对称设置，摆动连杆150在左右两侧各固定有一根，确保第二传动段222左右两侧的受力均匀，主动轴110上升时，第二传动段222整体上升，第二传动段222与摆动连杆150的连接点以摆动连杆150另一端的固定点为圆心，以摆动连杆150的长度为半径向上进行移动，竖直方向上移动的距离小于主动轴110上升的距离，同时第一传动段221向下转动，并带动转动板210转动，当第一转动段转动至与摆动连杆150水平时，主动轴110无法继续上升，此时第二传动段222与转动板210都位于水平状态。
39.第一传动段221的设置让主动轴110的上升能够带动旋转传动件220，第二缺口224的设置让主动轴110与第一传动段221的连接更加牢固，第二传动段222与第一传动段221弯折连接的设置让第一传动段221上升时能够带动第二传动段222向下转动，避让槽223的设置能够避免转动板210在转动过程中与第一传动段221接触。
40.【第三实施例】
41.参见图3，在一个具体的实施例中，转动板210包括：第一安装位211，第一安装位211上设有晶盒120；第二安装位212，第二安装位212上设有晶盒120；连接段214，连接段214连接第一安装位211与第二安装位212，第一传动段221与连接段214固定连接。
42.第一安装位211与第二安装位212分别位于转动板210的左右两侧，连接段214位于转动板210的中间位置的正上方，连接段214的下方为第一缺口213，第二传动段222与连接段214贴合，第一传动段221相对第二传动段222倾斜并穿过第一缺口213与主动轴110连接，第一安装位211与第二安装位212上均设有晶盒120，晶盒120跟随转动板210转动。
43.优选的，第一安装位211与第二安装位212上可以放置大小不同的晶盒120，用于放置不同大小的圆晶。
44.第一安装位211于第二安装位212的设置让转动板210能够同时带动多个晶盒120进行转动，在增加了晶盒120数量的同时，也能让多个晶盒120的开口同时水平朝下，减少片胶的残留。
45.【第四实施例】
46.在一个具体的实施例中，片盒翻转组件100还包括：增距段160，增距段160设于转动板210与晶盒120之间，第一安装位211与第二安装位212上均设有增距段160。
47.增距段160为“u”型的垫块，增距段160设于晶盒120与转动板210之间，第一安装位211上设有两个增距段160，增距段160位于晶盒120的左右两侧，增距段160的长度与晶盒120的长度相适配，第二安装位212上增距段160结构与第一安装位211上一致，需要说明的是，当晶盒120的大小发生改变时，增距段160的长度也要相应的调整。
48.在转动板210转动的过程中，晶盒120整体逐渐向清洗液方向移动，增距段160的设置能够增加晶盒120与转动板210之间的距离，当晶盒120整体进入清洗液中时，因为增距段160的设置，转动板210不会进入清洗液中。
49.优选的，增距段160可以使用金属材料，增距段160的厚度也可以根据转动后转动板210距离清洗液的距离进行调整。
50.增距段160的设置增加了转动板210与晶盒120之间的距离，避免了转动板210与清洗液接触，增加了转动板210的使用寿命，同时也让晶盒120的拆卸更加便捷，增距段160u型
的设置也让增距段160的整体重量降低，在转动时阻力更小。
51.【第五实施例】
52.参见图6，在一个具体的实施例中，片盒翻转组件100还包括：连接组件130，连接组件130套设于主动轴110的外部并与摆动连杆150连接；固定件230，固定件230穿过第二传动段222固定摆动连杆150。
53.连接组件130包括连接套管与连接台132，连接台132位于连接套管靠近第一传动端一侧，摆动连杆150的一端与连接台132固定连接，连接套管套设于主动轴110的外部，起到保护主动轴110的作用，固定件230穿过第二传动段222上中间位置的通孔，固定件230上设有两个螺钉安装位，当穿过通孔后，通过螺钉与第二传动段222固定，让左右两侧的摆动连杆150进行同步运动，确保转动板210左右两侧受到的力一致。
54.在主动轴110上升的过程中，连接台132的位置不会发生改变，摆动连杆150的一端被固定，与第二传动段222连接的一端在上升过程中沿圆弧轨迹向上运动，当第二传动段222与摆动连杆150平行时，连接台132上固定的一端起到限位的作用，阻止第二传动段222继续向上移动，
55.连接组件130对第二传动段222起到了限位的作用，固定件230的设置让两侧的摆动连杆150能够同时进行转动，进一步的限定了转动板210的转动方向。
56.【第六实施例】
57.参见图7，在一个具体的实施例中，片盒翻转组件100还包括：驱动装置300，驱动装置300连接主动轴110相对第一传动端的另一端，安装套管131与驱动装置300连接，并通过法兰140固定。
58.当主动轴110需要上升或下降时，通过启动驱动装置300来为主动轴110的移动提供动力，法兰140的设置让安装套管131的连接更加稳定。
59.【第七实施例】
60.在一个具体的实施例中，晶盒120包括：晶盒120本体；晶圆卡槽，晶圆卡槽设于晶盒120本体的内壁；晶圆支撑杆，晶圆支撑杆至少有一个，晶圆支撑杆连接晶盒120本体远离第一传动端的一侧。
61.晶盒120本体的内壁设有晶圆卡槽，晶圆卡槽位于晶盒120本体相对的两侧，并沿晶盒120本体的高度方向布设，相对的两个晶圆卡槽用于放置同一个所述晶圆；晶圆支撑杆连接晶盒120本体远离所述旋转侧的一侧，当晶盒120在转动的过程中，晶圆支撑杆能够对所述晶圆起到支撑作用。
62.晶圆支撑杆在沿高度方向设置多个晶圆卡槽，并与晶盒120本体的内壁的晶圆卡槽对应能够避免圆晶在转动过程中发生偏移。
63.晶圆支撑杆能够在转动过程中起到支撑圆晶的作用，避免圆晶掉落离开晶盒120本体，晶圆卡槽的设置让圆晶能够卡设在卡槽中，避免圆晶在转动过程中发生偏移，同时也让一个晶盒120本体能够放置多个圆晶，增加了清洗数量。
64.【第八实施例】
65.在一个具体的实施例中，还包括：一种浸泡池310，浸泡池310包括浸泡池310壳体，片盒翻转组件100位于所述浸泡池310壳体内，该片盒翻转组件100具有上述片盒翻转组件100全部技术特征，此处不再一一赘述。
66.虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。