一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理系统及方法与流程

1.本发明涉及废水处理工艺技术领域，尤其涉及一种适用于集成电路、液晶面板等电子设备制造领域、且废水中含有四甲基氢氧化铵(tmah)的废水处理系统及方法。


背景技术：

2.四甲基氢氧化铵在集成电路、液晶面板、印制电路板等电子行业中广泛用作显影剂。tmah废水具有强碱性，是有毒性的含氮有机废水。
3.现有技术中，授权公告号为cn113501621a，名称为《一种显影液废水处理系统》的中国发明专利公开了一种系统，该系统主要由厌氧微生物分解反应池和膜分离池组成；授权公告号为cn111285547a，名称为《一种显影液废液处理方法》的中国发明专利公开了一种系统，该系统主要由ph调节、混凝沉淀、浓度调配、厌氧生化、氨吹脱与酸吸收等单元组成。由于tmah有毒性，微生物很难对其进行降解，因此该方案不能降解tmah废水。
4.授权公告号为cn20790417u，名称为《一种tmah废液处理系统》的中国实用新型专利公开了一种系统，该系统按照工艺流程依次包括气浮装置、铁碳微电子装置、芬顿氧化装置、ph调节装置、a2o-mbr装置等处理单元进行废液处理。经过仔细分析，现有技术公开的该种系统具有以下缺陷：
5.1、工艺流程处理单元过多，系统过于复杂，处理成本较高；
6.2、芬顿氧化系统要投加大量的铁盐，会产生大量污泥，工艺流程占地面积大；
7.3、铁碳微电子工艺要投加大量的硫酸亚铁，处理后的水中铁离子含量超标；
8.4、铁碳微电子装置反应时间长，处理效率低。
9.现有技术处理该废水通常是将tmah废水和其他有机废水混合，采用生化法进行处理，由于tmah有毒性，微生物很难对其进行降解，因此现有的技术方案不能降解tmah废水，处理后的尾水中仍然会含有tmah，会增加环境污染，危害人体健康。
10.因此，针对上述技术问题，本领域的技术人员亟需研发一种对tmah废水降解效率高、系统构成简单、反应时间短、占地面积小、对环境无二次污染、且便于工业化大规模推广和应用的处理方法。
11.紫外线高级氧化技术一般是通过紫外线uv活化水中氧化剂产生自由基，将水中化学性质稳定的有机物最终矿化为co2、h2o及其它无机小分子物质，或将难降解的有机物氧化为易生物降解的小分子有机物。其中常见的氧化剂有双氧水h2o2、臭氧o3、过单硫酸盐pms(hso
5-)、次氯酸钠naclo和氯胺nh2cl等。紫外线辐照一般被认为是一种对环境友好的水处理技术，随着紫外线技术的不断发展和推广，目前该项技术在近年来受到越来越多的重视。
12.过二硫酸盐ps(s2o
82-)含有o-o键，属于h2o2的衍生物，经uv辐照活化后，自身过氧键o-o被破坏，立刻生成硫酸根自由基so
4-·
，对有机物的氧化效率高。
13.过氧乙酸paa是由h2o2、乙酸ch3cooh和水混合而成的有机过氧酸，通常作为抗菌剂使用。uv活化paa生成羟基自由基
·
oh和一系列有机自由基，有机自由基包括乙酰氧自由基ch3co3·
、甲基自由基
·
ch3、甲基过氧自由基ch3o2·
和强氧化性自由基oh
·
。uv和paa联合
技术能减少paa的使用量、减少接触时间及降低运行成本。
14.真空紫外线vuv波长在100～200nm，以185nm最为常见。185nm的紫外线较254nm的紫外线对有机物有更好的降解作用，其原因在于185nm(6.7ev)的紫外线较254nm(4.88ev)有更高的能量。水会强烈吸收真空紫外线产生的
·
oh、h
·
和eqa
·
(水和电子)等，这些活性中间体再与水中有机物发生亲电、亲核、电子转移等反应，将水中有机物快速氧化和降解。


技术实现要素：

15.本发明的目的是提供一种对含有tmah废水降解效率高、系统构成简单、反应时间短、占地面积小、对环境无二次污染、且便于工业化大规模推广和应用的处理系统及方法。
16.为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
17.本发明的一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理系统，该废水处理系统按照工艺流程依次包括：
18.酸碱调节单元；
19.位于所述酸碱调节单元下游、并与所述酸碱调节单元连接的高级氧化处理单元；以及
20.位于所述高级氧化处理单元下游的bardenpho处理系统；
21.废水通过所述酸碱调节单元调节废水的ph；
22.所述高级氧化处理单元接收所述酸碱调节单元的出水进行四甲基氢氧化铵降解处理；
23.所述bardenpho处理系统接收所述高级氧化处理单元的出水进行生化需氧量bod去除和生物脱氮处理；
24.所述高级氧化处理单元为基于真空紫外的vuv反应器。
25.进一步的，该废水处理系统还包括原水池，所述原水池位于所述酸碱调节单元的工艺上游，且所述原水池存储待处理的废水；
26.所述酸碱调节单元和高级氧化处理单元按照工艺流程依次包括；
27.调节池，所述调节池接收所述原水池排出的废水，且向所述调节池内投加hcl或naoh；以及
28.位于所述调节池下游的vuv反应器。
29.进一步的，所述vuv反应器内部设置真空紫外线灯管；
30.所述真空紫外线灯管的发射光谱为185nm；
31.所述真空紫外线灯管的辐照剂量为100mj/cm2～800mj/cm2。
32.进一步的，向所述vuv反应器前的管道内投加氧化剂；
33.优选地，向管道内投加氧化剂为h2o2、o3、paa、pms、ps、nh2cl、naclo等；
34.向所述vuv反应器前的管道内投加氧化剂的投加量为1～40mg/l；
35.更优选地，向管道内同时投加ps和paa；
36.向所述vuv反应器前的管道内投加ps的投加量为1～15mg/l，paa的投加量为1～15mg/l。
37.进一步的，所述vuv反应器的进水温度为室温，且进水ph为5～9，优选地ph为8～9。
38.位于所述高级氧化处理单元下游的bardenpho处理系统；
39.bardenpho处理系统包括顺次连接的第一缺氧池、第一好氧池、第二缺氧池、第二好氧池和沉淀池等处理单元；
40.进一步的，向第一缺氧池前的管道内投加hcl或naoh；
41.进一步的，所述第一好氧池一部分混合液回流到第一缺氧池；
42.进一步的，所述沉淀池一部分污泥回流到第一缺氧池，另一部分作为剩余污泥排出系统。
43.本发明还公开了一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理方法，该处理方法基于如上所述的含有tmah的废水处理系统，该处理方法主要包括以下步骤：
44.s101、含tmah的废水进入原水池；
45.s102、原水池的出水进入调节池，并向调节池内投加hcl或naoh；
46.s103、调节池的出水进入vuv反应器，并在进入vuv反应器前向管道内投加氧化剂；
47.s104、vuv反应器的出水进入第一缺氧池，向第一缺氧池前的管道内投加hcl或naoh；
48.s105、第一缺氧池的出水进入第一好氧池；
49.s106、第一好氧池的出水进入第二缺氧池；
50.s107、第二缺氧池的出水进入第二好氧池；
51.s108、第二好氧池的出水进入沉淀池，通过沉淀池处理后的出水排放。沉淀池一部分污泥回流到第一缺氧池，另一部分作为剩余污泥排出系统。
52.在上述技术方案中，本发明提供的一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理系统及方法，具有以下有益效果：
53.本发明系统依次通过酸碱调节单元、高级氧化处理单元和bardenpho处理系统，分别调节废水的ph，降解废水中的tmah，去除bod和进行生物脱氮。该系统出水化学需氧量cod和氨氮nh
3-n指标优于国家或地方排放标准。
54.本发明系统的高级氧化处理单元中，tmah被氧化的中间产物为二甲胺、三甲胺等胺类有机物，so
4-·
比
·
oh对胺基中的n-h化合键具有更好的氧化效果，vuv同时辐照ps和paa能产生协同作用，能减少氧化剂的投加量，对tmah具有更高的氧化效率。
55.本发明系统采用的氧化剂如ps和paa对环境无二次污染且廉价易得，无毒无害，便于使用。
56.本发明系统占地面积小，节约设备投资和运营成本，操作简单，对环境友好。
57.本发明系统可以在降解tmah废水的同时对废水进行消毒。
58.本发明系统采用的紫外线技术目前应用趋势广泛，具有广阔的工程应用前景。
附图说明
59.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
60.图1为本发明实施例提供的一种含有四甲基氢氧化铵废水处理系统的系统流程图；
61.图2为本发明实施例提供的一种含有四甲基氢氧化铵废水处理方法的比较实施例
一中在投加不同氧化剂时四甲基氢氧化铵降解效果随真空紫外线剂量变化的曲线图；
62.图3为本发明实施例提供的一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理方法的比较实施例二中在不同ph时四甲基氢氧化铵降解效果随真空紫外线剂量变化的曲线图。
63.附图标记说明：
64.1、原水池；2、调节池；3、vuv反应器；4、第一缺氧池；5、第一好氧池；6、第二缺氧池；7、第二好氧池；8、沉淀池。
具体实施方式
65.为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面将结合附图对本发明作进一步的详细介绍。
66.参见图1所示；
67.本实施例的一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理系统，该废水处理系统按照工艺流程依次包括：
68.酸碱调节单元；
69.位于酸碱调节单元下游、并与酸碱调节单元连接的高级氧化处理单元；以及
70.位于高级氧化处理单元下游的bardenpho处理系统；
71.废水通过酸碱调节单元调节废水的ph；
72.高级氧化处理单元接收酸碱调节单元的出水进行四甲基氢氧化铵降解处理；
73.bardenpho处理系统接收高级氧化处理单元的出水进行生化需氧量bod去除和生物脱氮处理；
74.高级氧化处理单元为基于真空紫外的vuv反应器3。
75.具体的，本实施例公开了一种tmah废水处理系统，该废水处理系统按照工艺流程依次包括酸碱调节单元、高级氧化处理单元和bardenpho处理系统。通过酸碱调节单元调节废水的ph，随后通过上述的高级氧化处理单元对废水中的tmah进行降解处理，再经过bardenpho处理系统进行生化需氧量bod去除和生物脱氮处理。
76.优选的，本实施例的废水处理系统还包括原水池1，原水池1位于酸碱调节单元的工艺上游，且原水池1存储待处理的废水；
77.酸碱调节单元和高级氧化处理单元按照工艺流程依次包括；
78.调节池2，调节池2接收原水池1排出的废水，且向调节池1内投加hcl或naoh；以及
79.位于调节池2下游的vuv反应器3。
80.优选的，为了去除废水中的tmah，本实施例的高级氧化处理单元为vuv反应器3，其内部设置真空紫外线灯管；
81.真空紫外线灯管的发射光谱为185nm；
82.真空紫外线灯管的辐照剂量为100mj/cm2～800mj/cm2。
83.向vuv反应器3前的管道内投加氧化剂；
84.优选地，向管道内投加氧化剂为h2o2、o3、paa、pms、ps、nh2cl、naclo等；
85.向vuv反应器3前的管道内投加氧化剂的投加量为1～40mg/l；
86.更优选地，向管道内同时投加ps和paa；
87.向vuv反应器3前的管道内投加ps的投加量为1～15mg/l，paa的投加量为1～15mg/
l。
88.进一步的，所述vuv反应器的进水温度为室温，且进水ph为5～9，优选地ph为8～9。
89.优选的，本实施例的bardenpho处理系统按照工艺流程依次包括第一缺氧池4、第一好氧池5、第二缺氧池6、第二好氧池7、沉淀池8。向第一缺氧池4前的管道内投加hcl或naoh，将第一缺氧池4内ph调整为7-7.5。第一缺氧池4接收vuv反应器3降解后含有小分子有机物的废水，在缺氧环境下进行反硝化反应，脱氮菌以废水中的有机物作为碳源，以从第一好氧池5回流液中硝酸盐的氧作为电子受体，进行呼吸和生命活动，将硝态氮还原为气态氮。第一好氧池5接收第一缺氧池4脱氮后的废水，在有氧的环境下进行硝化反应，降解废水中的bod。第一好氧池5一部分硝化液回流至第一缺氧池4。第二缺氧池6接收第一好氧池5降解bod后的废水，在缺氧环境下进行再次反硝化反应，进一步进行生物脱氮，降低废水中氮的含量。第二好氧池7接收第二缺氧池6脱氮后的废水，在有氧的环境下再次进行硝化反应，进一步去除废水中的bod。沉淀池8接收第二好氧池7处理后的废水，经沉淀后，上清液排放。沉淀池8一部分污泥回流到第一缺氧池4，另一部分作为剩余污泥排出系统。
90.本实施例公开的处理系统的处理原理为：vuv辐照ps会产生so
4-·
，辐照paa会产生
·
oh等自由基，
·
oh的氧化还原电位2.8v高于so
4-·
的2.01v，因此paa能更高效地对tmah进行氧化；tmah被氧化的中间产物为二甲胺、三甲胺等胺类有机物，胺类有机物都含有胺基-nh2，而so
4-·
比
·
oh对胺基中的n-h化合键具有更好的氧化效果，因此vuv同时辐照ps和paa能产生协同作用，能减少氧化剂的投加量，对tmah具有更高的氧化效率。废水中的tmah被完全降解，其中一部分被矿化为co2、h2o，一部分被降解为小分子有机物。bardenpho处理系统对小分子有机物进行降解bod和生物脱氮。
91.另外，本发明还公开了一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理方法，该处理方法基于如上所述的含有四甲基氢氧化铵的废水处理系统，该处理方法主要包括以下步骤：
92.s101、含tmah的废水进入原水池1；
93.s102、原水池1的出水进入调节池2，并向调节池2内投加naoh或hcl；
94.s103、调节池2的出水进入vuv反应器3，并在进入vuv反应器3前向管道内投加氧化剂；
95.s104、vuv反应器3的出水进入第一缺氧池4,向第一缺氧池4前的管道内投加hcl或naoh；
96.s105、第一缺氧池4的出水进入第一好氧池5；
97.s106、第一好氧池5的出水进入第二缺氧池6；
98.s107、第二缺氧池6的出水进入第二好氧池7；
99.s108、第二好氧池7的出水进入沉淀池8，通过沉淀池8处理后的出水排放。沉淀池8一部分污泥回流到第一缺氧池4，另一部分作为剩余污泥排出系统。
100.本实施例的含有四甲基氢氧化铵的废水的处理方法为：含tmah废水进入原水池1，原水池1出水进入调节池2。向调节池2内投加hcl或naoh，将废水ph调整为5-9。
101.调节池2出水进入vuv反应器3，vuv反应器3内设置真空紫外线灯管，灯管辐照的剂量为100mj/cm2～800mj/cm2。在废水进入vuv反应器3前向管道内投加氧化剂；优选地，向管道内投加氧化剂为h2o2、o3、paa、pms、ps、nh2cl、naclo等，氧化剂的投加量为1～40mg/l；更优选地，向管道内同时投加ps和paa，ps的投加量为1～15mg/l，paa的投加量为1～15mg/l。
vuv反应器3的进水温度为室温，且进水ph为5～9，优选地ph为8～9。
102.在vuv反应器3内真空紫外线辐照paa和ps，vuv辐照ps会产生so
4-·
，辐照paa会产生
·
oh等自由基，
·
oh的氧化还原电位2.8v高于so
4-·
的2.01v，因此paa能更高效地对tmah进行氧化；tmah被氧化的中间产物为二甲胺、三甲胺等胺类有机物，胺类有机物都含有胺基-nh2，而so
4-·
比
·
oh对胺基中的n-h化合键具有更好的氧化效果，因此vuv同时辐照ps和paa能产生协同作用，能减少氧化剂的投加量，对tmah具有更高的氧化效率。废水中的tmah被完全降解，其中一部分被矿化为co2、h2o，一部分tmah分子中的化学键被打断，成为小分子有机物。vuv反应器3出水进入bardenpho处理系统。
103.bardenpho处理系统按照工艺流程依次包括第一缺氧池4、第一好氧池5、第二缺氧池6、第二好氧池7、沉淀池8。向第一缺氧池4前的管道内投加hcl或naoh，将第一缺氧池4内ph调整为7-7.5。第一缺氧池4接收vuv反应器3降解后含有小分子有机物的废水，在缺氧环境下进行反硝化反应，脱氮菌以废水中的有机物作为碳源，以第一好氧池5回流液中硝酸盐的氧作为电子受体，进行呼吸和生命活动，将硝态氮还原为气态氮。第一好氧池5接收第一缺氧池4脱氮后的废水，在有氧的环境下进行硝化反应，降解废水中的bod。第一好氧池5一部分硝化液回流至第一缺氧池4。第二缺氧池6接收第一好氧池5降解bod后的废水，在缺氧环境下进行再次反硝化反应，进一步进行生物脱氮，降低废水中氮的含量。第二好氧池7接收第二缺氧池6脱氮后的废水，在有氧的环境下再次进行硝化反应，进一步去除废水中的bod。沉淀池8接收第二好氧池7处理后的废水，经沉淀后，上清液排放。沉淀池8一部分污泥回流到第一缺氧池4，另一部分作为剩余污泥排出系统。经bardenpho处理系统处理后废水中的cod和nh
3-n指标含量较低。
104.实施例一：
105.某12英寸集成电路制造厂，含tmah废水水量5.5m3/h，水质指标如下：
106.项目数值ph值10-11cod(mg/l)900-1000凯氏氮(mg/l)100-110
107.本实施例的处理方法包括以下步骤：
108.含tmah废水进入原水池1，原水池1出水进入调节池2。含tmah废水为碱性，ph值为10-11，向调节池2内投加hcl，将废水ph调整为8.5。调节池2出水进入vuv反应器3，vuv反应器3内设置真空紫外线灯管，灯管辐照的剂量为520mj/cm2。在废水进入vuv反应器3前向管道内同时投加ps和paa，ps的投加量为12mg/l，paa的投加量为10mg/l。vuv反应器3的进水温度为室温。在vuv反应器3内真空紫外线辐照paa和ps，ps和paa能产生协同作用，对tmah具有更高的氧化效率。废水中的tmah被完全降解，其中一部分被矿化为co2、h2o，一部分tmah分子中的化学键被打断，成为小分子有机物。vuv反应器3出水进入bardenpho处理系统，依次经过第一缺氧池4、第一好氧池5、第二缺氧池6、第二好氧池7、沉淀池8。向第一缺氧池4前的管道内投加hcl，将第一缺氧池4内ph调整为7-7.5。第一好氧池5一部分硝化液回流至第一缺氧池4。沉淀池8沉淀后的上清液排放。沉淀池8一部分污泥回流到第一缺氧池4，另一部分作为剩余污泥排出系统。tmah废水经处理后cod和nh
3-n指标优于地方排放标准。
109.本案例实施后的废水指标如下：
110.项目数值ph值6-8cod(mg/l)《100nh
3-n(mg/l)《10
111.比较实施例一：
112.本实施例比较了在相同剂量的ps、paa、paa ps时，vuv/ps、vuv/paa、vuv/paa ps三种氧化剂体系下，在不同vuv剂量时对tmah的降解率，以证明vuv/paa ps具有协同作用。
113.试验装置：原水箱、vuv反应器、加药装置。
114.试验流程：室温下，在原水箱内配置含tmah原水，原水进入vuv反应器，在进入vuv反应器前，向管道内加入氧化剂，原水从vuv反应器出来后排放。
115.试验参数：vuv反应器为腔体式结构，处理量为1m3/h，3根真空紫外灯管，波长为185nm，紫外剂量为100～600mj/cm2。
116.该比较实施例的试步骤如下：
117.在原水箱内配置tmah含量为100mg/l待处理的水，采用hcl或naoh将溶液的初始ph调节为7，搅拌均匀；
118.用药剂投加装置向进入vuv反应器前待处理水管道内分别投加30mg/l的ps、30mg/l的paa、总量为30mg/l的ps和paa；
119.水通过vuv反应器；
120.取vuv反应器处理后的水样，用浓度为500mg/l的na2so3作为淬灭剂，以终止反应。
121.测定处理后水样中的tmah浓度。
122.vuv/ps、vuv/paa、vuv/paa ps三种氧化剂体系对水中tmah的降解效果如表1所示，其降解效果随真空紫外线剂量的变化如图2所示。其中，c0为tmah溶液的初始浓度，c为处理后的浓度。
123.表1
[0124][0125]
由表1和图2可知，投加30mg/l的单独vuv/ps和vuv/paa体系对tmah具有一定的降解效果。总投加量为30mg/l的vuv/paa ps体系显著提升了效果，在辐照剂量为600mj/cm2时，tmah的去除率可以达到100％。该比较实施例证实，本发明提供的ps和paa具有协同作
用，利用vuv/ps paa快速降解水中tmah的方法降解效果更优异。
[0126]
实施例二：
[0127]
某液晶显示器厂排放含tmah废水水量8m3/h，水质指标如下：
[0128]
项目数值ph值11-12cod(mg/l)1100-1200凯氏氮(mg/l)140-150
[0129]
本案例实施包括以下步骤：
[0130]
含tmah废水进入原水池1，原水池1出水进入调节池2。含tmah废水为碱性，ph值为11-12，向调节池2内投加hcl，将废水ph调整为9。调节池2出水进入vuv反应器3，vuv反应器3内设置真空紫外线灯管，灯管辐照的剂量为620mj/cm2。在废水进入vuv反应器3前向管道内同时投加ps和paa，ps的投加量为16mg/l，paa的投加量为12mg/l。vuv反应器3的进水温度为室温。在vuv反应器3内真空紫外线辐照paa和ps，ps和paa能产生协同作用，对tmah具有更高的氧化效率。废水中的tmah被完全降解，其中一部分被矿化为co2、h2o，一部分tmah分子中的化学键被打断，成为小分子有机物。vuv反应器3出水进入bardenpho处理系统，依次经过第一缺氧池4、第一好氧池5、第二缺氧池6、第二好氧池7、沉淀池8。向第一缺氧池4前的管道内投加hcl，将第一缺氧池4内ph调整为7-7.5。第一好氧池5一部分硝化液回流至第一缺氧池4。沉淀池8沉淀后的上清液排放。沉淀池8一部分污泥回流到第一缺氧池4，另一部分作为剩余污泥排出系统。tmah废水经处理后cod和nh
3-n指标优于地方排放标准。
[0131]
本案例实施后的废水指标如下：
[0132]
项目数值ph值7-8cod(mg/l)《100nh
3-n(mg/l)《15
[0133]
比较实施例二：
[0134]
本实施例比较了不同初始ph时，在不同真空紫外线剂量时vuv/ps paa对水中tmah的降解效果。
[0135]
按照比较实施例一的试验步骤进行试验，在原水箱内配置tmah含量为120mg/l待处理的水，采用hcl和naoh将溶液的ph调节为7、8和9的条件下进行试验。不同ph时，真空紫外线辐照剂量为600mj/cm2时对tmah的降解情况如表2所示。不同ph时，采用vuv/ps paa不同真空紫外线剂量对降解tmah的效果如图3所示。其中，c0为tmah溶液的初始浓度，c为处理后的浓度。
[0136]
表2
[0137]
原水phtmah降解率，％7888959100
[0138]
实验结果表明，在酸性或碱性条件下，真空紫外线活化ps和paa对水中tmah均具有
较好的降解效果。当ph在7～9内变化时，tmah的降解率随着ph的增大逐渐升高，当ph为9且真空紫外线辐照剂量为600mj/cm2时，tmah降解率为100％。
[0139]
该比较实施例证实，本发明提供的利用真空紫外线活化ps和paa来快速降解tmah的方法适用的ph范围广。
[0140]
在上述技术方案中，本发明提供的一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理系统及方法，具有以下有益效果：
[0141]
本发明系统依次通过酸碱调节单元、高级氧化处理单元和bardenpho处理系统，分别调节废水的ph，降解废水中的tmah，去除bod和进行生物脱氮。该系统出水cod和nh
3-n指标优于国家或地方排放标准。
[0142]
本发明系统的高级氧化处理单元中，tmah被氧化的中间产物为二甲胺、三甲胺等胺类有机物，so
4-·
比
·
oh对胺基中的n-h化合键具有更好的氧化效果，vuv同时辐照ps和paa能产生协同作用，能减少氧化剂的投加量，对tmah具有更高的氧化效率。
[0143]
本发明系统采用的氧化剂如ps和paa对环境无二次污染且廉价易得，无毒无害，便于使用。
[0144]
本发明系统占地面积小，节约设备投资和运营成本，操作简单，对环境友好。
[0145]
本发明系统可以在降解tmah废水的同时对废水进行消毒。
[0146]
本发明系统采用的紫外线技术目前应用趋势广泛，具有广阔的工程应用前景。
[0147]
以上只通过说明的方式描述了本发明的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本发明权利要求保护范围的限制。