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一种光学滤光片及其应用

2022-09-04 07:40:15 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种光学滤光片,其特征在于,所述光学滤光片包括:玻璃基板;设置于玻璃基板的一个表面上的增透膜层;光学复合薄膜单元;所述光学复合薄膜单元为多个,叠层设置于玻璃基板的另一个表面上;每个光学复合薄膜单元均由二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜组成;所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜设位于二氧化硅/二氧化铪复合薄膜之上,所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜位于二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜之上。2.根据权利要求1所述的光学滤光片,其特征在于,所述光学复合薄膜单元的个数为10-12个。3.根据权利要求1所述的光学滤光片,其特征在于,所述二氧化硅/二氧化铪复合薄膜中,二氧化铪薄膜位于二氧化硅薄膜之上。4.根据权利要求1所述的光学滤光片,其特征在于,所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜中,五氧化二钽薄膜位于二氧化硅薄膜之上。5.根据权利要求1所述的光学滤光片,其特征在于,所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜中,三氧化二钛薄膜位于二氧化硅薄膜之上。6.根据权利要求3-5任意一项所述的光学滤光片,其特征在于,二氧化硅薄膜的厚度均为0.12-0.18μm。7.根据权利要求1-5任意一项所述的光学滤光片,其特征在于,所述氧化硅/二氧化铪复合薄膜的厚度为0.3-0.5μm。8.根据权利要求7所述的光学滤光片,其特征在于,所述二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜的厚度之比为1:0.7-0.9:0.9-1.2。9.根据权利要求1所述的光学滤光片,其特征在于,所述玻璃基板的厚度为0.8~1.2mm。10.如权利要求1-9任意一项所述的光学滤光片在光学器件中的应用。

技术总结
本发明提供了一种光学滤光片及其应用,所述光学滤光片包括:玻璃基板;设置于玻璃基板的一个表面上的增透膜层;光学复合薄膜单元;所述光学复合薄膜单元为多个,叠层设置于玻璃基板的另一个表面上;每个光学复合薄膜单元均由二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜组成;所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜设位于二氧化硅/二氧化铪复合薄膜之上,所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜位于二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜之上;该光学滤光片不会因温湿度的变化而影响折射率率,保证光学滤光片的光学性能,也保证了滤光片不受湿度温度影响而造成中心波长漂移。造成中心波长漂移。造成中心波长漂移。


技术研发人员:张椿英 陈家星 周衍浩 陈鸿飞
受保护的技术使用者:安徽信息工程学院
技术研发日:2022.06.16
技术公布日:2022/9/2
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