一种MOS芯片蚀刻废物回收再利用装置的制作方法

一种mos芯片蚀刻废物回收再利用装置
技术领域
1.本发明属于mos芯片加工技术领域，特别是涉及一种mos芯片蚀刻废物回收再利用装置。


背景技术：

2.mos芯片在生产过程中，会经过蚀刻的方式，将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除，目前主要的蚀刻工艺有以下几种，激光蚀刻加工、电解蚀刻加工、化学蚀刻加工等几种加工方式，虽然处理方式多样，但是mos芯片在蚀刻时存在以下问题：
3.1、现有的mos芯片蚀刻过程中，会通过物理抛光的方式，去除废物，此过程中，会有大量废物流失，一方面浪费物料，另一方面也会造成污染；
4.2、目前市面上的回收装置再利用装置，有采用吸尘的方式，但是现有的吸尘式回收再利用装置，不便于定时定量回收，需要工作人员时常观测是否收集满了，不太方便回收，而且回收与卸料相互影响，效率不高；
5.3、现有的回收装置再利用装置，不便于根据使用需求调节使用，可调性不强，功能性不强。
6.因此，市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。


技术实现要素：

7.本发明的目的在于提供一种mos芯片蚀刻废物回收再利用装置，通过设置回收箱、过滤组件、组合架、吸尘罩、输管组件、三通连接管和气泵，解决了现有的回收装置再利用装置，有采用吸尘的方式，但是现有的吸尘式回收再利用装置，不便于定时定量回收，需要工作人员时常观测是否收集满了，不太方便回收，而且回收与卸料相互影响，效率不高，而且不便于根据使用需求调节使用，可调性不强，功能性不强的问题。
8.为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：
9.本发明为一种mos芯片蚀刻废物回收再利用装置，包括回收箱、过滤组件、组合架、吸尘罩、输管组件、三通连接管和气泵，所述回收箱的内部安设有三个仓室，每个仓室内均摆放有一组并排的所述过滤组件，每个仓室的顶部均匹配有可拆卸的密封盖，所述回收箱的一侧通过螺丝可拆卸连接有所述组合架，所述组合架包括支撑架、底座、时控开关、电动伸缩杆、顶架、电动推杆、连接座、连接板和螺栓，所述支撑架的底部焊接有所述底座，所述底座的外侧面固定有所述时控开关，所述时控开关与电动伸缩杆、电动推杆、电磁阀以及气泵均为电性连接，所述支撑架的顶部通过两个对称的所述电动伸缩杆连接有所述顶架，所述顶架通过所述电动推杆与所述连接座相连接，所述连接座与所述连接板间通过所述螺栓相连接，所述组合架上安装有吸尘罩，所述吸尘罩通过所述输管组件与各个所述过滤组件相连通，所述输管组件包括三通主管、软支管和电磁阀，所述三通主管的每个支连接口均通过一个所述电磁阀与一个所述软支管的外端相连接，一个所述软支管的内端通过对应的管孔伸入对应的网袋内，远离组合架的所述回收箱的一侧面的底侧位置开设有输出孔，所述
气泵通过三通连接管分别与三个仓室的输出孔相连接。
10.进一步地，所述回收箱两内侧壁的顶面均开设有一组均布的承搭槽，所述回收箱一侧面的顶侧开设有一组均布的管槽。
11.进一步地，所述过滤组件包括封板和过滤袋，所述封板的底部可拆卸连接有所述过滤袋。
12.进一步地，所述封板的两侧均焊接有搭板，所述封板的中心位置开设有所述管孔。
13.进一步地，所述过滤袋包括环边板和网袋，所述环边板的底部固定有所述网袋。
14.进一步地，所述环边板的顶面固定有一组均布的卡扣，所述封板的底面开设有一组均布的卡槽，所述卡扣与所述卡槽一一对应，所述卡扣的尺寸与所述卡槽的尺寸相匹配，所述卡扣和所述卡槽形成卡合结构，可简易的拆分过滤组件。
15.进一步地，所述回收箱两个内侧壁的各个所述承搭槽一一对应，所述承搭槽的尺寸与所述搭板的尺寸相匹配。
16.进一步地，所述吸尘罩的连接端横穿连接板上的安装孔与三通主管的主连接口螺纹连接，所述软支管穿过对应的管槽伸入回收箱内。
17.本发明具有以下有益效果：
18.1、本发明回收箱自带三个仓室，三个仓室单独工作互不影响，每个仓室只回收恒定的时间，实现了定时定量回收，不需要工作人员时常观测是否收集满了，十分方便回收再利用。
19.2、本发明设置三个仓室循环使用，使得卸料与回收互不影响，提高了回收效率，mos芯片蚀刻过程中，不会使大量废物流失，降低了污染。
20.3、本发明在使用时，可根据使用需求，调节吸尘罩的使用角度、使用高度以及使用时的水平位置，可调性较强，适用性加强，增强了装置的功能性，而且调节方式较为简易，方便操作使用。
附图说明
21.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本发明的结构示意图；
23.图2为本发明图1中回收箱内部的结构示意图；
24.图3为本发明过滤组件、组合架、吸尘罩和输管组件的整体结构示意图；
25.图4为本发明回收箱的结构示意图；
26.图5为本发明过滤组件的结构示意图；
27.图6为本发明图5中封板的结构示意图；
28.图7为本发明图5中过滤袋的结构示意图；
29.图8为本发明吸尘罩与输管组件连接部位的组装图；
30.图9为本发明组合架的结构示意图；
31.图10为本发明输管组件与吸尘罩连接的结构示意图。
32.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
33.1、回收箱；11、输出孔；12、承搭槽；13、管槽；2、过滤组件；21、封板；211、搭板；212、管孔；22、过滤袋；221、环边板；222、网袋；201、卡槽；202、卡扣；3、组合架；31、支撑架；32、底座；33、时控开关；34、电动伸缩杆；35、顶架；36、电动推杆；37、连接座；38、连接板；39、螺栓；4、吸尘罩；5、输管组件；51、三通主管；52、软支管；53、电磁阀；6、三通连接管；7、气泵。
具体实施方式
34.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
35.请参阅图1至7所示，本发明为一种mos芯片蚀刻废物回收再利用装置，包括回收箱1、过滤组件2、组合架3、吸尘罩4、输管组件5、三通连接管6和气泵7，远离组合架3的回收箱1的一侧面的底侧位置开设有输出孔11，气泵7通过三通连接管6分别与三个仓室的输出孔11相连接，气泵7的型号为市场上常见的型号，在此不做过多叙述，回收箱1两内侧壁的顶面均开设有一组均布的承搭槽12，回收箱1的内部安设有三个仓室，每个仓室内均摆放有一组并排的所述过滤组件2，每个仓室的顶部均匹配有可拆卸的密封盖，回收箱1一侧面的顶侧开设有一组均布的管槽13，过滤组件2包括封板21和过滤袋22，封板21的底部可拆卸连接有过滤袋22，封板21的两侧均焊接有搭板211，封板21的中心位置开设有管孔212，过滤袋22包括环边板221和网袋222，环边板221的底部固定有网袋222，回收箱1两个内侧壁的各个承搭槽12一一对应，承搭槽12的尺寸与搭板211的尺寸相匹配；
36.上述设置具体应用为：在安装过滤组件2时，直接将过滤组件2两侧的搭板211一一搭放在回收箱1两个内侧壁一组相对应的承搭槽12内，致使过滤组件2搭放在回收箱1的内部，完成过滤组件2的组装操作；
37.而需要取出过滤组件2时，直接拿出过滤组件2即可。
38.其中如图5至7所示，环边板221的顶面固定有一组均布的卡扣202，封板21的底面开设有一组均布的卡槽201，卡扣202与卡槽201一一对应，卡扣202的尺寸与卡槽201的尺寸相匹配，卡扣202和卡槽201形成卡合结构。
39.上述设置具体应用为：在需要组装过滤组件2时，直接将过滤袋22中环边板221的卡扣202先竖直卡进封板21底面卡槽201的竖槽内，再正向旋转过滤袋22的环边板221，致使卡扣202再卡进封板21底面卡槽201的弧形槽内最内端，即可完成过滤组件2的组装操作；
40.在需要拆分过滤组件2时，先逆向旋转过滤袋22的环边板221，致使卡扣202从卡槽201弧形槽的最内端滑进卡槽201的竖槽内，再将卡扣202从卡槽201的竖槽中抽离，即可完成过滤组件2的拆分操作。
41.其中如图1和图8至10所示，回收箱1的一侧通过螺丝可拆卸连接有组合架3，组合架3包括支撑架31、底座32、时控开关33、电动伸缩杆34、顶架35、电动推杆36、连接座37、连接板38和螺栓39，支撑架31的底部焊接有底座32，底座32的外侧面固定有时控开关33，时控开关33的型号为市场上常见的型号，在此不做过多叙述，支撑架31的顶部通过两个对称的电动伸缩杆34连接有顶架35，电动伸缩杆34的型号为市场上常见的型号，在此不做过多叙述，顶架35通过电动推杆36与连接座37相连接，电动推杆36的型号为市场上常见的型号，在此不做过多叙述，连接座37与连接板38间通过螺栓39相连接，吸尘罩4的连接端横穿连接板
38上的安装孔与三通主管51的主连接口螺纹连接。
42.上述设置具体应用为：在调节吸尘罩4的使用角度时，松动螺栓39，松动连接座37与连接板38之间的连接部位，然后通过外力掰动吸尘罩4，将吸尘罩4调节至合适角度使用，调节好角度后，立即锁紧螺栓39，从而锁紧连接座37与连接板38之间的连接部位，即可完成吸尘罩4使用角度的调节操作；
43.在调节吸尘罩4的使用高度时，通过时控开关33启动电动伸缩杆34，通过电动伸缩杆34的作用，带动顶架35、电动推杆36、连接座37、连接板38和螺栓39整体上移或下移，从而上移或下移吸尘罩4，即可完成吸尘罩4使用高度的调节操作；
44.在调节吸尘罩4使用时的水平位置时，通过时控开关33启动电动推杆36，通过电动推杆36的作用，带动连接座37、连接板38和螺栓39整体内移或外移，从而内移或外移吸尘罩4，即可完成吸尘罩4使用时水平位置的调节操作。
45.其中如图1至3和图8至10所示，组合架3上安装有吸尘罩4，吸尘罩4通过输管组件5与各个过滤组件2相连通，输管组件5包括三通主管51、软支管52和电磁阀53，三通主管51的每个支连接口均通过一个电磁阀53与一个软支管52的外端相连接，电磁阀53的型号为市场上常见的型号，在此不做过多叙述，一个软支管52的内端通过对应的管孔212伸入对应的网袋222内，吸尘罩4的连接端横穿连接板38上的安装孔与三通主管51的主连接口螺纹连接，软支管52穿过对应的管槽13伸入回收箱1内。
46.上述设置具体应用为：废物回收前，先根据需要，调节好吸尘罩4的使用角度、使用高度以及使用时的水平位置，使得吸尘罩4正对mos芯片蚀刻过程中抛光处理时的抛光部位；
47.废物回收时，通过时控开关33打开最左侧的电磁阀53，此时最左侧的软支管52正常使用，而中间的软支管52和最右侧的软支管52均不使用，此时再通过时控开关33启动气泵7，通过气泵7的作用，致使废料从吸尘罩4吸入，再经由最左侧的软支管52进入回收箱1内最左侧的过滤组件2内，此时通过最左侧的过滤组件2的过滤作用，可将废料回收进过滤组件2的网袋222中，而过滤后的废气则通过三通连接管6和气泵7排出；
48.经过预设的一段时间后，最左侧的过滤组件2的网袋222中收集合适量的废料，此时通过时控开关33的作用，立即打开中间的电磁阀53，此时中间的软支管52正常使用，而最左侧的软支管52和最右侧的软支管52均不使用，此时再通过时控开关33启动气泵7，通过气泵7的作用，致使废料从吸尘罩4吸入，再经由中间的软支管52进入回收箱1内中间的过滤组件2内，此时通过中间的过滤组件2的过滤作用，可将废料回收进过滤组件2的网袋222中，而过滤后的废气则通过三通连接管6和气泵7排出；
49.在最左侧的过滤组件2完成工作后，中间的过滤组件2正在进行废料回收时，此时工作人员可打开最左侧的仓室，并取出最左侧仓室内的过滤组件2，然后拆分过滤组件2，将网袋222中的废物倒出收集，以待后续再处理利用；
50.再经过预设的一段时间后，中间的过滤组件2的网袋222中收集合适量的废料，此时通过时控开关33的作用，立即打开最右侧的电磁阀53，此时最右侧的软支管52正常使用，而最左侧的软支管52和中间的软支管52均不使用，此时再通过时控开关33启动气泵7，通过气泵7的作用，致使废料从吸尘罩4吸入，再经由最右侧的软支管52进入回收箱1内最右侧的过滤组件2内，此时通过最右侧的过滤组件2的过滤作用，可将废料回收进过滤组件2的网袋
222中，而过滤后的废气则通过三通连接管6和气泵7排出；
51.在中间的过滤组件2完成工作后，最右侧的过滤组件2正在进行废料回收时，此时工作人员可打开中间的仓室，并取出中间的仓室内的过滤组件2，然后拆分过滤组件2，将网袋222中的废物倒出收集，以待后续再处理利用；
52.然后按照上述操作依次循环进行，即可连接不断的对mos芯片蚀刻过程中抛光时产生的废物回收再利用。
53.以上仅为本发明的优选实施例，并不限制本发明，任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，对其中部分技术特征进行等同替换，所作的任何修改、等同替换、改进，均属于在本发明的保护范围。