一种基于MEMS的无线智能传感器

一种基于mems的无线智能传感器
技术领域
1.本实用新型涉及一种传感器，具体地说是一种基于mems的无线智能传感器。


背景技术：

2.mems即微机电系统，是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。mems是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。在检测某些精密零部件、微电路等产品是，目前的mems的传感器监测端检测位置固定不变，无法针对中心点进行角度等全方位检测，容易造成检测疏漏。


技术实现要素：

3.为解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种基于mems的无线智能传感器。
4.本实用新型为实现上述目的，一种基于mems的无线智能传感器，包括半球形的夹层盖和固定在夹层盖上方的顶部框架，夹层盖的中间设置有活动开口，活动开口内设置有半球形的移动盖，且移动盖的边沿位于夹层盖的夹层内，且可在夹层内移动，活动开口内的移动盖上表面固定有移动球杆，移动球杆正对的移动盖下表面固定有微型电动伸缩杆，微型电动伸缩杆的伸缩端固定有传感器，传感器监测端指向夹层盖的球心部位，移动球杆的球头位于球座内，且可在球座内自由转动，球座的上端固定端固定有活动杆，顶部框架内设置有十字形滑台，十字形滑台驱动有在平面xy轴移动的移动套筒，活动杆竖直插在移动套筒内，传感器设置有无线模块。
5.进一步地，顶部框架的其中两边分别固定有用于遮挡的挡板。
6.进一步地，电动伸缩杆、传感器通过螺旋导线与无线模块电连接。
7.进一步地，活动杆贯穿移动套筒的部位套有直线轴承，直线轴承外侧壁与移动套筒内侧壁固定连接。
8.进一步地，十字形滑台的x轴移动部分固定在顶部框架的顶部一侧，十字形滑台的y轴移动部分被x轴移动部分驱动水平动，且顶部框架的顶部另一侧设置有支撑十字形滑台y轴移动部分水平移动的支撑滑轨，移动套筒固定在y轴移动部分的台板一侧。
9.由于采用以上技术方案，本实用新型由于传感器监测端指向夹层盖的球心部位，这样移动盖无论怎样活动，传感器的检测中心相当于不变，而控制移动盖移动即可实现传感器在检测中心不变的情况下检测角度发生改变，从而从不同角度，甚至不同的侧面对产品进行更全方位地检测。
附图说明
10.图1是本实用新型的主视结构示意图；
11.图2是本实用新型顶部框架的俯视结构示意图。
具体实施方式
12.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
13.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
14.下面结合附图对本实施例进行详细描述：
15.本实施例提供了一种基于mems的无线智能传感器，请一并参照说明书附图中图1。
16.如图1图2所示，一种基于mems的无线智能传感器，包括半球形的夹层盖1和固定在夹层盖1上方的顶部框架2，夹层盖1的中间设置有活动开口3，活动开口3内设置有半球形的移动盖4，且移动盖4的边沿位于夹层盖1的夹层内，且可在夹层内移动，活动开口3内的移动盖4上表面固定有移动球杆5，移动球杆5正对的移动盖4下表面固定有微型电动伸缩杆6，微型电动伸缩杆6的伸缩端固定有传感器7，传感器7监测端指向夹层盖1的球心部位，移动球杆5的球头位于球座8内，且可在球座8内自由转动，球座8的上端固定端固定有活动杆9，顶部框架2内设置有十字形滑台10，十字形滑台10驱动有在平面xy轴移动的移动套筒11，活动杆9竖直插在移动套筒11内，传感器7设置有无线模块12，无线模块12为现有技术，如wifi无线模块、蓝牙无线模块等。
17.顶部框架2的其中两边分别固定有用于遮挡的挡板13，电动伸缩杆6、传感器7通过螺旋导线14与无线模块12电连接，活动杆9贯穿移动套筒11的部位套有直线轴承15，直线轴承15外侧壁与移动套筒11内侧壁固定连接。
18.十字形滑台10如目前常用的十字形滑台，只要能够实现在x，十字形滑台10的x轴移动部分固定在顶部框架2的顶部一侧，十字形滑台10的y轴移动部分被x轴移动部分驱动水平动，且顶部框架2的顶部另一侧设置有支撑十字形滑台10y轴移动部分水平移动的支撑滑轨，移动套筒11固定在y轴移动部分的台板16一侧。
19.本实用新型工作原理：由于传感器7监测端指向夹层盖1的球心部位，这样移动盖4无论怎样活动，传感器7的检测中心相当于不变，而控制移动盖4移动即可实现传感器7在检测中心不变的情况下检测角度发生改变，从而从不同角度，甚至不同的侧面对产品进行更全方位地检测。移动盖4的移动通过十字形滑台10实现，十字形滑台10驱动台板16在移动盖4顶部一定范围内进行x轴、y轴方向的移动，这也是目前十字形滑台10的运动特点，台板16移动即可带动活动杆9同时在x轴、y轴方向移动，另外活动杆9滑动套在台板16的移动套筒11内，因此可以在经过移动盖4球面时发生上下活动，而不影响其在水平方向移动，从而实现通过十字形滑台10、活动杆9驱动传感器7进行相应的旋转移动。
20.当然，上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不限于上述举例，本技术领域的普通技术人员，在本实用新型的实质范围内，作出的变化、改变、添加或替换，都应属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种基于mems的无线智能传感器，包括半球形的夹层盖（1）和固定在夹层盖（1）上方的顶部框架（2），其特征在于：夹层盖（1）的中间设置有活动开口（3），活动开口（3）内设置有半球形的移动盖（4），且移动盖（4）的边沿位于夹层盖（1）的夹层内，且可在夹层内移动，活动开口（3）内的移动盖（4）上表面固定有移动球杆（5），移动球杆（5）正对的移动盖（4）下表面固定有微型电动伸缩杆（6），微型电动伸缩杆（6）的伸缩端固定有传感器（7），传感器（7）监测端指向夹层盖（1）的球心部位，移动球杆（5）的球头位于球座（8）内，且可在球座（8）内自由转动，球座（8）的上端固定端固定有活动杆（9），顶部框架（2）内设置有十字形滑台（10），十字形滑台（10）驱动有在平面xy轴移动的移动套筒（11），活动杆（9）竖直插在移动套筒（11）内，传感器（7）设置有无线模块（12）。2.根据权利要求1所述的一种基于mems的无线智能传感器，其特征在于：顶部框架（2）的其中两边分别固定有用于遮挡的挡板（13）。3.根据权利要求1所述的一种基于mems的无线智能传感器，其特征在于：电动伸缩杆（6）、传感器（7）通过螺旋导线（14）与无线模块（12）电连接。4.根据权利要求1所述的一种基于mems的无线智能传感器，其特征在于：活动杆（9）贯穿移动套筒（11）的部位套有直线轴承（15），直线轴承（15）外侧壁与移动套筒（11）内侧壁固定连接。5.根据权利要求1所述的一种基于mems的无线智能传感器，其特征在于：十字形滑台（10）的x轴移动部分固定在顶部框架（2）的顶部一侧，十字形滑台（10）的y轴移动部分被x轴移动部分驱动水平动，且顶部框架（2）的顶部另一侧设置有支撑十字形滑台（10）y轴移动部分水平移动的支撑滑轨，移动套筒（11）固定在y轴移动部分的台板（16）一侧。

技术总结
一种基于MEMS的无线智能传感器，包括半球形的夹层盖和固定在夹层盖上方的顶部框架，夹层盖的中间设置有活动开口，活动开口内设置有半球形的移动盖，且移动盖的边沿位于夹层盖的夹层内，活动开口内的移动盖上表面固定有移动球杆，移动球杆正对的移动盖下表面固定有微型电动伸缩杆，微型电动伸缩杆的伸缩端固定有传感器，传感器监测端指向夹层盖的球心部位，移动球杆的球头位于球座内，且可在球座内自由转动，球座的上端固定端固定有活动杆，顶部框架内设置有十字形滑台，十字形滑台驱动有在平面XY轴移动的移动套筒，活动杆竖直插在移动套筒内，传感器设置有无线模块。本实用新型从不同角度，甚至不同的侧面对产品进行更全方位地检测。测。测。


技术研发人员：覃宇航 周文扬 占方强
受保护的技术使用者：华北电力大学（保定）
技术研发日：2022.04.18
技术公布日：2022/8/30