一种多功能原位力学测试装置及其设备的制作方法

技术特征：
1.一种多功能原位力学测试装置，其特征在于，包括底座、至少两个连接杆、测试探头、控制系统以及压力测试系统；所述底座用于与材料分析测试设备密封连接；所述连接杆之间相互连接，得到连接体，所述连接体的一端与所述底座连接，另一端与所述测试探头连接；所述控制系统控制不同所述连接杆的运动；所述压力测试系统用于监测和控制所述测试探头的施加应力。2.根据权利要求1所述的多功能原位力学测试装置，其特征在于，所述控制系统包括位移传感器、驱动电机、控制软件；每个所述连接杆设置一个所述位移传感器；所述控制系统通过所述位移传感器来控制不同连接杆的运动；进一步地，所述多功能原位力学测试装置设置至少两个驱动电机，所述驱动电机分别为所述多功能原位力学测试装置不同连接杆运动提供动力源。3.根据权利要求2所述的多功能原位力学测试装置，其特征在于，所述连接杆至少一个为可伸缩杆，所述连接杆优选均为可伸缩杆；所述控制软件通过位移传感器和驱动电机控制所述伸缩杆的伸缩运动。4.根据权利要求1所述的多功能原位力学测试装置，其特征在于，所述压力测试系统包括压力传感器、应力测量软件。5.根据权利要求1所述的多功能原位力学测试装置，其特征在于，所述底座与所述材料分析测试设备的外部接口密封连接；所述底座设置有密封件和固定所述底座与所述材料分析测试设备的固定件；进一步地，所述底座用于与所述材料分析测试设备密封连接的连接口设置在所述底座与所述连接体之间；所述材料分析测试设备为fib(focusionbeam,聚焦离子束)或sem(scanningelectronmicroscopy，扫描电子显微镜)。6.根据权利要求1所述的多功能原位力学测试装置，其特征在于，所述测试探头包括连接部和测试部，所述测试部通过所述连接部与所述连接杆连接；所述测试部选自以下中的任一种形状：弧形、平面、锥形、三角形、尖角、刃形。7.根据权利要求1-6任一项所述的多功能原位力学测试装置，其特征在于，所述连接体包括依次连接的第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆；所述第一连接杆与所述底座的连接头连接。8.根据权利要求7所述的多功能原位力学测试装置，其特征在于，所述压力传感器分别设置在所述第二连接杆与所述第三连接杆之间、所述第三连接杆与所述测试探头之间；进一步地，所述第一连接杆和底座之间设置有旋转组件，和/或所述第二连接杆与所述第三连接杆之间设置有旋转组件；所述旋转组件由旋转控制系统控制，所述旋转组件通过所述旋转控制系统控制在360
°
范围内旋转。9.根据权利要求7所述的多功能原位力学测试装置，其特征在于，所述第一连接杆设置
为沿x/y/z方向运动；所述第二连接杆设置为沿z方向运动；所述第三连接杆设置为沿x方向运动。10.一种多功能原位力学测试设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的多功能原位力学测试装置和材料分析测试设备，所述多功能原位力学测试装置与所述材料分析测试设备的外部接口真空密封连接；所述材料分析测试设备为fib或sem。

技术总结
本发明涉及材料力学性能测试设备技术领域，尤其涉及一种多功能原位力学测试装置及其设备。多功能原位力学测试装置包括底座、至少两个连接杆、测试探头、控制系统以及压力测试系统；底座用于与材料分析测试设备密封连接；连接杆之间相互连接，得到连接体，连接体的一端与底座连接，另一端与测试探头连接；控制系统控制不同连接杆的运动；压力测试系统用于监测和控制测试探头的施加应力。本发明提供的多功能原位力学测试装置，通过SEM、FIB上现有的接口直接插入，可以利用扫描电镜的高分辨率成像，实现纳米材料和结构的原位测试和观测的实验分析目的，观察材料在测试和失效过程中的动态应变和微观结构的变化，实现纳米级精确定位和观测分析。和观测分析。和观测分析。


技术研发人员：李晓旻 刘兵海 傅超 张兮 华佑南 乔明胜
受保护的技术使用者：胜科纳米（苏州）有限公司
技术研发日：2021.02.25
技术公布日：2022/8/29