一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构的制作方法

一种烧制ito靶材的烧结炉用密封机构
技术领域
1.本实用新型涉及烧结炉技术领域，具体而言，涉及一种烧制ito靶材的烧结炉用密封机构。


背景技术：

2.烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
3.现阶段多晶纤维板也通过烧结炉烧制完成，烧结炉工作时会需要进行密封，让炉内温度不易散发，让热能的使用效率得到保证，但是，烧结炉工作时炉内会产生1600度的高温，现有密封机构无法在此温度下进行完善工作。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种烧制ito靶材的烧结炉用密封机构，以解决上述问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种烧制ito靶材的烧结炉用密封机构，包括：炉体，设置在所述炉体下端的下抵部，设置在所述炉体下端平行处的升降托板，设置在所述升降托板上端的边框储沙槽以及设置在所述边框储沙槽内部的若干侧抵部，其中； 驱动所述升降托板上升，所述边框储沙槽能够上抵所述下抵部底部，以使若干所述侧抵部侧抵所述下抵部外壁。
6.进一步地，所述下抵部包括设置在所述炉体下端的第一边框以及设置在所述第一边框下端的第二边框；所述第一边框外侧面为斜面，其中；驱动所述升降托板上升，所述边框储沙槽能够上抵所述第二边框底面，以使若干所述侧抵部侧抵所述第一边框外侧面。
7.进一步地，所述侧抵部包括设置在所述边框储沙槽一侧的连通槽，铰接设置在所述连通槽内的转辊以及设置在所述转辊上端的压板，其中；所述边框储沙槽上抵所述第二边框底面时，所述第二边框能够摩擦所述转辊旋转，以使所述压板侧抵所述第一边框外侧。
8.进一步地，所述压板上设置有凹槽，其中；部分砂体能够储存至所述凹槽。
9.进一步地，所述侧抵部还包括第一弹簧；所述第一弹簧一端连接所述压板；所述第一弹簧另一端连接所述连通槽，其中；所述压板侧抵所述第一边框外侧时，所述第一弹簧能够拉伸。
10.进一步地，所述烧制ito靶材的烧结炉用密封机构还包括四组缓冲部；所述缓冲部包括设置在所述边框储沙槽对角线处的固定柱以及设置在所述固定柱上端外壁的套筒；所述套筒内径与所述固定柱外径相等，其中；所述边框储沙槽上抵所述第二边框底面时，所述套筒能够上抵所述第二边框底面，以使所述套筒沿所述固定柱下降。
11.进一步地，所述缓冲部还包括设置在所述固定柱外围的第二弹簧；所述第二弹簧顶端与所述套筒底端相连接，其中；所述套筒沿所述固定柱下降时，所述第二弹簧能够压缩。
12.相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：通过升降托板的上升操作，让下抵部局部埋在边框储沙槽内的沙子内，扩展了对于下抵部的密封面，沙子能耐受高温，让炉体的密封效率更高；且升降托板的上升过程使若干所述侧抵部受到传动作用力而侧抵下抵部，让下抵部的位置更加牢固，增加了对于炉体的密封角度，让热量泄漏的量更少，保证了炉体更好的密封防护效果。
附图说明
13.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
14.图1示出了本实用新型的正视图；
15.图2示出了本实用新型的升降托板俯视图；
16.图3示出了本实用新型的图1中a处放大图；
17.图4示出了本实用新型的炉体立体结构示意图；
18.图5示出了本实用新型的侧抵部立体结构示意图；
19.图6示出了本实用新型的缓冲部正视结构示意图。
20.图中
21.1、炉体；
22.2、下抵部；
23.21、第一边框；22、第二边框；
24.3、升降托板；
25.4、边框储沙槽；
26.5、侧抵部；51、连通槽；52、转辊；53、压板；54、凹槽；55、第一弹簧；
27.6、缓冲部；61、固定柱；62、套筒；63、第二弹簧。
具体实施方式
28.现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
29.请参阅图1，图1示出了本实用新型的正视图；请参阅图2，图2示出了本实用新型的升降托板俯视图；请参阅图3，图3示出了本实用新型的图1中a处放大图；请参阅图4，图4示出了本实用新型的炉体立体结构示意图；请参阅图5，图5示出了本实用新型的侧抵部立体结构示意图；请参阅图6，图6示出了本实用新型的缓冲部正视结构示意图；如图1-6所示，一种烧制ito靶材的烧结炉用密封机构，包括：炉体1，设置在所述炉体1下端的下抵部2，设置在所述炉体1下端平行处的升降托板3，升降托板3通过烧结炉自带的升降结构驱动，下抵部2、升降托板3和若干侧抵部5均为陶瓷材质，设置在所述升降托板3上端的边框储沙槽4以及设置在所述边框储沙槽4内部的若干侧抵部5，其中； 驱动所述升降托板3上升，所述边框储沙槽4能够上抵所述下抵部2底部，以使若干所述侧抵部5侧抵所述下抵部2外壁，具体的，现有技术中对于烧结炉的密封工作大多只能通过一个方向进行，与现有技术相比，通过升降托板3的上升操作，让下抵部2局部埋在边框储沙槽4内的沙子内，扩展了对于下抵部2的密封面，沙子能耐受高温，让炉体1的密封效率更高；且升降托板3的上升过程使若干所述侧抵部5受到传动作用力而侧抵下抵部2，让下抵部2的位置更加牢固，增加了对于炉体1的密封
角度，让热量泄漏的量更少，保证了炉体1更好的密封防护效果。
30.可选的，所述下抵部2包括设置在所述炉体1下端的第一边框21以及设置在所述第一边框21下端的第二边框22；所述第一边框21外侧面为斜面，其中；驱动所述升降托板3上升，所述边框储沙槽4能够上抵所述第二边框22底面，以使若干所述侧抵部5侧抵所述第一边框21外侧面，具体的，第一边框21的外侧斜面自接近第二边框22的方向朝向远离第二边框22的方向逐渐向内倾斜，第一边框21下端面面积大于第一边框21上端面面积，第一边框21下端面面积等于第二边框22端面面积，若干侧抵部5侧抵第一边框21外侧面的过程方便，状态稳定，让若干侧抵部5不旋转时，第一边框21不能够与边框储沙槽4垂直脱离。
31.可选的，所述侧抵部5包括设置在所述边框储沙槽4一侧的连通槽51，铰接设置在所述连通槽51内的转辊52以及设置在所述转辊52上端的压板53，其中；所述边框储沙槽4上抵所述第二边框22底面时，所述第二边框22能够摩擦所述转辊52旋转，以使所述压板53侧抵所述第一边框21外侧，具体的，边框储沙槽4的深度和连通槽51的深度相等，转辊52和压板53在活动状态和非活动状态均不能从边框储沙槽4上端慢露出，第二边框22下降后与转辊52相切，转辊52受力带动压板53旋转，让压板53拨动部分沙子贴合第一边框21侧壁，使沙子不会从边框储沙槽4挤出。
32.可选的，所述压板53上设置有凹槽54，其中；部分砂体能够储存至所述凹槽54，具体的，凹槽54能够保证压板53旋转时，部分沙子与第一边框21侧壁的接触量，增加压板53密封时的耐热度。
33.可选的，所述侧抵部5还包括第一弹簧55；所述第一弹簧55一端连接所述压板53；所述第一弹簧55另一端连接所述连通槽51，其中；所述压板53侧抵所述第一边框21外侧时，所述第一弹簧55能够拉伸，具体的，第一弹簧55为弯曲弹簧，其材质为spec耐高温弹簧，第一弹簧55埋在沙子内增加耐热效果，沙子松软，不会对第一弹簧55的伸缩过程造成影响，第一弹簧55在不受力状态，保持压板53和转辊52的定位角度，第一弹簧55拉伸时储能，在转辊52不受力时，转辊52带动压板53在第一弹簧55的弹性反作用力下复位旋转至初始角度，保证压板53多次旋转工作的重复性进行。
34.可选的，所述烧制ito靶材的烧结炉用密封机构还包括四组缓冲部6；所述缓冲部6包括设置在所述边框储沙槽4对角线处的固定柱61以及设置在所述固定柱61上端外壁的套筒62；所述套筒62内径与所述固定柱61外径相等，其中；所述边框储沙槽4上抵所述第二边框22底面时，所述套筒62能够上抵所述第二边框22底面，以使所述套筒62沿所述固定柱61下降，具体的，套筒62随着升降托板3的上升操作首先与第二边框22底部接触，套筒62沿着固定柱61阻力下降，让固定柱61对套筒62的下压轨迹起到限位作用，使套筒62的活动过程不会发生位置偏移。
35.可选的，所述缓冲部6还包括设置在所述固定柱61外围的第二弹簧63；所述第二弹簧63顶端与所述套筒62底端相连接，其中；所述套筒62沿所述固定柱61下降时，所述第二弹簧63能够压缩，具体的，第二弹簧63材质为spec耐高温弹簧，第二弹簧63的压缩过程使套筒62受到的抵触作用力被缓冲消减，避免第二边框22与边框储沙槽4的接近过程出现碰撞效果，保证了密封工作持续使用过程中的寿命，当第二边框22脱离边框储沙槽4时，第二弹簧63也能让套筒62恢复至在固定柱61上的初始高度，让下一次缓冲减震工作顺利进行。
36.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本
领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。