一种新型圆筒形石墨加热器的制作方法

1.本实用新型涉及适用于炉子的电热元件领域，具体涉及一种新型圆筒形石墨加热器。


背景技术：

2.石墨加热器是单晶炉的加热装置，石墨加热器采用等静压石墨电热体，具有耐高温、容易加工，价格比钨、钼、钽便宜的优点。石墨加热器一般都是圆筒形，有整体式结构和分体式结构。圆筒形分体式石墨加热器由若干石墨加热单元组成，可以根据具体的使用环境要求和单晶硅的加热锅炉尺寸对加热直径进行调整，适用范围更广。授权公告号为cn216039933u 的实用新型专利公开了一种分体式单晶硅cz炉热场石墨加热器。但是，现有技术的分体式石墨加热器的多个石墨加热单元在组合时，很难准确的调节各个石墨加热单元之间的间距，影响加热效果。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是针对现有的分体式石墨加热器的多个石墨加热单元在组合时，很难准确的调节各个石墨加热单元之间的间距，影响加热效果的不足，提供一种新型圆筒形石墨加热器，一方面能够保证石墨加热单元沿圆周阵列排布，另一方面能够方便的调节圆筒形石墨加热器的内径。
4.本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：
5.一种新型圆筒形石墨加热器，包括若干围合在一起的石墨加热单元，其特征在于，所述石墨加热单元包括两个石墨柱和连接在两个石墨柱底端之间的石墨底板，石墨柱位于同一圆周轨迹上，石墨底板的底部沿所述圆周轨迹的径向至少设有一个内支撑脚和一个外支撑脚；
6.还包括调距机构，所述调距机构包括同轴心的枢接在一起的第一调节盘和第二调节盘，第一调节盘上设有若干沿径向延伸的且呈圆周阵列排布的直导槽，第二调节盘上设有与径向呈一定夹角的且呈圆周阵列排布的斜导槽，直导槽的数量与斜导槽的数量相等，每个石墨加热单元同侧的一个内支撑脚能够滑动的插接在直导槽和斜导槽内、一个外支撑脚能滑动的插接在直导槽内。
7.优选的，所述第一调节盘设置在第二调节盘的下方。
8.优选的，所述第一调节盘的下端设有支腿。
9.优选的，包括四个沿圆周阵列的石墨加热单元。
10.优选的，所述第一调节盘整体呈十字形，直导槽开设在十字形臂内。
11.优选的，所述十字形臂为能够伸缩的结构。
12.优选的，所述斜导槽为弧形导槽。
13.优选的，所述一组石墨柱上分别设有用于连接至电源正极的正极连接部和用于连接至电源负极的负极连接部。
14.本实用新型的有益效果是：
15.本实用新型通过设置调距机构，内支撑脚能够滑动的插接在直导槽和斜导槽内，外支撑脚能滑动的插接在直导槽内，实现若干石墨加热单元能够沿圆周阵列；通过转动第一调节盘或第二调节盘，推动若干石墨加热单元同时向内或向外移动，从而实现调节由若干石墨加热单元所围合成的圆筒形石墨加热器的内径，以满足不同加热炉的使用需求。
附图说明
16.图1是本实用新型的结构示意图；
17.图2是本实用新型的俯视结构示意图；
18.图3是石墨加热单元的结构示意图；
19.图4是第一调节盘的结构示意图；
20.图5是第二调节盘的结构示意图；
21.图中：1.石墨加热单元，10.石墨底板，11.石墨柱，12.内支撑脚，13.外支撑脚，2.调距机构，20.第一调节盘，200.直导槽，201.十字形臂，202.限位部，
22.21.第二调节盘，210.斜导槽。
具体实施方式
23.下面结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实施例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
24.如图1和图2所示，本实施例的一种新型圆筒形石墨加热器，包括若干围合在一起的石墨加热单元1和调距机构2。
25.其中，如图3所示，所述石墨加热单元1包括两个石墨柱11和连接在两个石墨柱11底端之间的石墨底板10，石墨柱11位于同一圆周轨迹上，石墨底板10的底部沿所述圆周轨迹的径向至少设有一个内支撑脚12和一个外支撑脚13；进一步的，所述一组石墨柱11上分别设有用于连接至电源正极的正极连接部和用于连接至电源负极的负极连接部。本实施例中，石墨底板10呈v形，内支撑脚12设置在v形的顶尖处，外支撑脚13设置在组成v形的两条边的下端。内支撑脚12和外支撑脚13由耐高温绝缘材料制成。
26.所述调距机构2包括同轴心的枢接在一起的第一调节盘20（如图4所示）和第二调节盘21（如图5所示），第一调节盘20上设有若干沿径向延伸的且呈圆周阵列排布的直导槽200，第二调节盘21上设有与径向呈一定夹角的且呈圆周阵列排布的斜导槽210，直导槽200的数量与斜导槽210的数量相等，优选的，所述斜导槽210为弧形导槽。第一调节盘20和第二调节盘21由耐高温绝缘材料制成。在本实用新型应用到单晶炉中时，枢接轴为空心结构，坩埚转动轴从枢接轴中穿过。
27.每个石墨加热单元1同侧的一个内支撑脚12能够滑动的插接在直导槽200和斜导槽210内、一个外支撑脚13能滑动的插接在直导槽200内。可以理解的是，斜导槽210的宽度不小于直导槽200的宽度，内支撑脚12和外支撑脚13的外径不大于直导槽200的宽度，本实施例中，直导槽200和斜导槽210的宽度相等，内支撑脚12和外支撑脚13的外径等于直导槽200的宽度。
28.本实施例中，所述第一调节盘20设置在第二调节盘21的下方，所述第一调节盘20
的下端设有支腿；第一调节盘20的外径大于第二调节盘21的外径，这样，直导槽200的外端能够延伸出第二调节盘21。本实施例中包括四个沿圆周阵列的石墨加热单元1，相应的，所述第一调节盘20整体呈十字形，直导槽200开设在十字形臂201内，直导槽200的数量为4个。当然，斜导槽210的数量也是4个。优选的，所述十字形臂201为能够伸缩的结构。十字形臂201伸长时，直导槽200的长度也随之变长；十字形臂201缩短时，直导槽200的长度随着变短。进一步的，十字形臂201的外端设有限位部202，限位部202用于限定外支撑脚13沿直导槽200向外滑动所至的中止位置。
29.使用时，可以先根据所需石墨加热器的内径，调节十字形臂201的长度。将每个石墨加热单元1同侧的一个内支撑脚12插接在直导槽200和斜导槽210内、一个外支撑脚13插接在直导槽200内，将每个石墨加热单元1插接在直导槽200和斜导槽210内的内支撑脚12都抵靠在直导槽200和斜导槽210的靠近枢轴一端的内壁上，这样四个石墨加热单元1就被呈圆周阵列式的设置在调距机构2上了。转动第二调节盘21，内支撑脚12沿斜导槽210向外滑动，外支撑脚13沿直导槽200向外滑动直至十字形臂201的限位部202。如此，就完成了对石墨加热器外径的调节。可以理解的是，操作时可以转动第二调节盘21、也可以转动第一调节盘20，第一调节盘20和第二调节盘21相对转动就可以带动石墨加热单元1沿直导槽200和斜导槽210滑动。
30.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。