晶圆测试装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体零件技术领域，具体为晶圆测试装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在对生产加工出来晶圆需要限位在通过测试设备进行测试。
3.现有的测试装置在对晶圆进行测试时，是通过金属放置板上开设的放置槽对其进行限位，在通过测试设备对其进行测试，无法对其进行固定，并且无法根据晶圆的大小调节放置槽，使用不方便，为此，我们提出晶圆测试装置。


技术实现要素：

4.鉴于上述和/或现有晶圆测试装置中存在的问题，提出了本实用新型。
5.因此，本实用新型的目的是提供晶圆测试装置，能够解决上述提出现有测试装置在对晶圆进行测试时，是通过金属放置板上开设的放置槽对其进行限位，在通过测试设备对其进行测试，无法对其进行固定，并且无法根据晶圆的大小调节放置槽，使用不方便的问题。
6.为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：
7.晶圆测试装置，其包括：测试工作台，所述测试工作台顶端安装有箱体，所述箱体顶端内壁开设有圆形凹槽，所述测试工作台底端固定连接有固定框，还包括与箱体连接的测试定位结构；
8.所述测试定位结构包括吸附组件、定位支撑组件和限位调节组件，所述吸附组件底端与固定框内壁底端固定连接，所述限位调节组件底端与圆形凹槽内壁底端固定连接，所述限位调节组件顶端与定位支撑组件底端连接，所述吸附组件顶端与定位支撑组件连接。
9.作为本实用新型所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述定位支撑组件包括支撑板，所述支撑板安装在圆形凹槽内壁正中央，所述支撑板外侧滑动连接环形支撑板一。
10.作为本实用新型所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述环形支撑板一外侧滑动连接有环形支撑板二，所述环形支撑板二外侧与圆形凹槽内壁滑动连接，所述支撑板、环形支撑板一、环形支撑板二底端均与限位调节组件顶端固定连接。
11.作为本实用新型所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述限位调节组件包括伸缩杆一、伸缩杆二、固定支撑杆、限位块、限位槽，所述伸缩杆一、伸缩杆二、固定支撑杆底端均与圆形凹槽内壁底端固定连接，所述固定支撑杆顶端与支撑板底端固定连接，所
述伸缩杆一顶端与环形支撑板一底端固定连接，所述伸缩杆二顶端与环形支撑板二底端固定连接。
12.作为本实用新型所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述限位槽、限位块均设有两组，一组所述限位槽开设在环形支撑板一内侧，另一组所述限位槽开设在环形支撑板二内侧，一组所述限位块内侧与支撑板外壁固定连接，另一组所述限位块内侧与环形支撑板一外侧固定连接，所述限位槽内壁与限位块外壁滑动连接。
13.作为本实用新型所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述限位块、限位槽的形状均设为t型。
14.作为本实用新型所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述限位块、限位槽的形状均设为弧形。
15.作为本实用新型所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述吸附组件包括吸盘、橡胶垫、抽气管，所述吸盘安装在支撑板顶端，所述吸盘底端连接并相通有传输管，所述抽气管底端与固定框内壁底端固定连接，所述抽气管右侧固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆左端延伸至抽气管内并连接有活塞，所述抽气管输出端与传输管连接，所述橡胶垫底端安装与支撑板顶端。
16.与现有技术相比：
17.控制伸缩杆一、伸缩杆二，根据晶圆的大小调节环形支撑板一、环形支撑板二，对晶圆进行限位，避免跑偏，同时控制伸缩杆拉动活塞，通过拉动活塞吸气，通过传输管带动吸盘将晶圆吸附固定，通过橡胶垫避免倾斜漏气，方便后续测试，使用方便、提高测试效率和测试的精确度。
附图说明
18.图1为本实用新型主视图；
19.图2为本实用新型剖视图；
20.图3为本实用新型箱体主视图；
21.图4为本实用新型支撑板、环形支撑板一、环形支撑板二连接主视图；
22.图5为本实用新型图4的仰视图；
23.图6为本实用新型弧形的限位块、限位槽主视图。
24.图中：1、箱体；11、圆形凹槽；2、测试工作台；3、固定框；51、支撑板； 52、环形支撑板一；53、环形支撑板二；61、伸缩杆一；62、伸缩杆二；63、固定支撑杆；64、限位块；65、限位槽；71、吸盘；72、传输管；73、橡胶垫；74、抽气管；75、伸缩杆；76、活塞。
具体实施方式
25.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的实施方式作进一步地详细描述。
26.实施例一：
27.本实用新型提供晶圆测试装置，具有使用方便、提高工作效率的优点，请参阅图1-5，包括测试工作台2，测试工作台2顶端安装有箱体1，箱体1顶端内壁开设有圆形凹槽11，测试工作台2底端固定连接有固定框3，还包括与箱体1连接的测试定位结构；
28.所述测试定位结构包括吸附组件、定位支撑组件和限位调节组件，吸附组件底端与固定框3内壁底端固定连接，限位调节组件底端与圆形凹槽11内壁底端固定连接，限位调节组件顶端与定位支撑组件底端连接，吸附组件顶端与定位支撑组件连接。
29.定位支撑组件包括支撑板51，支撑板51安装在圆形凹槽11内壁正中央，支撑板51外侧滑动连接环形支撑板一52，环形支撑板一52外侧滑动连接有环形支撑板二53，环形支撑板二53外侧与圆形凹槽11内壁滑动连接，支撑板51、环形支撑板一52、环形支撑板二53底端均与限位调节组件顶端固定连接，一级放置槽是控制限位调节组件顶起环形支撑板一52，通过环形支撑板一52内侧与支撑板51形成的放置槽，二级放置槽是控制限位调节组件顶起环形支撑板二53，通过环形支撑板二53内侧与支撑板51、环形支撑板一52形成的放置槽，三级放置槽是控制限位调节组件带动环形支撑板一52、环形支撑板二53下降、复位与支撑板51齐平，通过圆形凹槽11内壁与支撑板51、环形支撑板一52、环形支撑板二53形成的放置槽，本领域技术人员将根据晶圆的大小控制限位调节组件，调节放置槽的大小，将晶圆放置在放置槽内，对其进行限位，避免跑偏。
30.限位调节组件包括伸缩杆一61、伸缩杆二62、固定支撑杆63、限位块64、限位槽65，伸缩杆一61、伸缩杆二62、固定支撑杆63底端均与圆形凹槽11内壁底端固定连接，固定支撑杆63顶端与支撑板51底端固定连接，伸缩杆一61 顶端与环形支撑板一52底端固定连接，伸缩杆二62顶端与环形支撑板二53底端固定连接，限位槽65、限位块64均设有两组，一组限位槽65开设在环形支撑板一52内侧，另一组限位槽65开设在环形支撑板二53内侧，一组限位块64 内侧与支撑板51外壁固定连接，另一组限位块64内侧与环形支撑板一52外侧固定连接，限位槽65内壁与限位块64外壁滑动连接，限位块64、限位槽65的形状均设为t型，通过限位块64与限位槽65内壁滑动连接，对升降的环形支撑板一52、环形支撑板二53限位。
31.吸附组件包括吸盘71、橡胶垫73、抽气管74，吸盘71安装在支撑板51顶端，吸盘71底端连接并相通有传输管72，抽气管74底端与固定框3内壁底端固定连接，抽气管74右侧固定连接有伸缩杆75，伸缩杆75左端延伸至抽气管 74内并连接有活塞76，抽气管74输出端与传输管72连接，橡胶垫73底端安装与支撑板51顶端，控制伸缩杆75拉动活塞76，通过拉动活塞76吸气，通过传输管72带动吸盘71将晶圆吸附固定，通过橡胶垫73避免倾斜漏气，方便后续测试，使用方便。
32.在具体使用时，一级放置槽是控制伸缩杆一61顶起环形支撑板一52，通过环形支撑板一52内侧与支撑板51形成的放置槽，二级放置槽是控制伸缩杆一 61带动环形支撑板一52下降复位，控制伸缩杆二62顶起环形支撑板二53，通过环形支撑板二53内侧与支撑板51、环形支撑板一52形成的放置槽，三级放置槽是控制伸缩杆一61、伸缩杆二62带动环形支撑板一52、环形支撑板二53 下降、复位与支撑板51齐平，通过圆形凹槽11内壁与支撑板51、环形支撑板一52、环形支撑板二53形成的放置槽，本领域技术人员将根据晶圆的大小控制伸缩杆一61、伸缩杆二62，调节放置槽的大小，将晶圆放置在放置槽内，对其进行限位，避免跑偏，同时控制伸缩杆75拉动活塞76，通过拉动活塞76吸气，通过传输管72带动吸盘71将晶圆吸附固定，通过橡胶垫73避免倾斜漏气，方便后续测试，使用方便、提高测试效率和测试的精确度。
33.实施例二：
34.本实用新型提供晶圆测试装置，请参阅图6，限位块64、限位槽65的形状均设为弧
形。
35.在具体使用时，一级放置槽是控制伸缩杆一61顶起环形支撑板一52，通过环形支撑板一52内侧与支撑板51形成的放置槽，二级放置槽是控制伸缩杆一 61带动环形支撑板一52下降复位，控制伸缩杆二62顶起环形支撑板二53，通过环形支撑板二53内侧与支撑板51、环形支撑板一52形成的放置槽，三级放置槽是控制伸缩杆一61、伸缩杆二62带动环形支撑板一52、环形支撑板二53 下降、复位与支撑板51齐平，通过圆形凹槽11内壁与支撑板51、环形支撑板一52、环形支撑板二53形成的放置槽，本领域技术人员将根据晶圆的大小控制伸缩杆一61、伸缩杆二62，调节放置槽的大小，通过弧形的限位块64、限位槽 65对环形支撑板一52、环形支撑板二53的升降进行限位，将晶圆放置在放置槽内，对其进行限位，避免跑偏，同时控制伸缩杆75拉动活塞76，通过拉动活塞76吸气，通过传输管72带动吸盘71将晶圆吸附固定，通过橡胶垫73避免倾斜漏气，方便后续测试，使用方便、提高测试效率和测试的精确度。
36.虽然在上文中已经参考实施方式对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施方式中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施方式，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。