一种过氨水装置和半导体器件的生产系统的制作方法

1.本实用新型涉及过氨水装置技术领域，尤其涉及一种过氨水装置和半导体器件的生产系统。


背景技术：

2.目前，过氨水装置在使用时，需要由操作人员将装有晶片的卡塞卡在夹具上，通过手持方式使夹具在氨水中左右摇晃，以使晶片表面充分浸润氨水，将晶片上的灰尘和污垢等清洗干净。
3.由于现有的过氨水装置需要操作人员持续对其进行摇晃，因此，当面临大批量晶片时，人工压力较大，清洗效率较低。
4.因此，如何提高过氨水装置的清洗效率，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种过氨水装置，以提高过氨水装置的清洗效率。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
7.一种过氨水装置，包括：
8.本体，所述本体包括安装支架和与所述安装支架连接的连接架，所述安装支架用于安装卡塞，所述卡塞用于盛装晶片，所述连接架的顶部设置有连接结构；
9.转动手柄，所述转动手柄包括手柄壳体和设置于所述手柄壳体的电机，所述电机的输出轴露出所述手柄壳体，且所述电机的输出轴与所述连接结构连接；
10.液压传感器，设置于所述安装支架上；以及
11.控制器，所述控制器能够与所述液压传感器和所述电机进行信号传输。
12.优选地，在上述过氨水装置中，所述安装支架为伸缩式结构。
13.优选地，在上述过氨水装置中，所述安装支架的一端封闭，另一端可拆卸连接挡板，所述挡板与所述安装支架连接后形成能够夹紧所述卡塞的夹紧空间。
14.优选地，在上述过氨水装置中，所述连接架包括第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂，所述第一连接臂与所述安装支架的第一端连接，所述第二连接臂与所述安装支架的第二端连接，所述第三连接臂连接所述第一连接臂和所述第二连接臂，所述连接结构位于所述第三连接臂的顶部。
15.优选地，在上述过氨水装置中，所述第一连接臂和所述第二连接臂沿所述电机的输出轴轴线对称设置。
16.优选地，在上述过氨水装置中，所述第一连接臂和所述第二连接臂均为伸缩臂。
17.优选地，在上述过氨水装置中，所述连接结构为连接孔，所述连接孔与所述电机的输出轴通过螺纹连接。
18.优选地，在上述过氨水装置中，所述本体和所述手柄壳体均采用树脂材料制作而成。
19.优选地，在上述过氨水装置中，所述电机为正反转电机，所述手柄壳体上设置有能够切换所述正反转电机的转动方向的旋向切换按钮。
20.一种半导体器件的生产系统，包括如上所述的过氨水装置。
21.使用本实用新型所提供的过氨水装置时，将晶片安装于卡塞中，再将卡塞安装在安装支架中，由于连接架的顶部设置有连接结构，电机的输出轴露出手柄壳体后与连接结构连接，液压传感器设置于安装支架上，因此，过氨水时，只需要手持转动手柄，将安装有晶片的本体放入氨水中后，通过液压传感器能够采集到氨水的液压信号，并将采集到的液压信号转化为电信号传输给控制器，控制器接收电信号后控制电机的输出轴转动，电机的输出轴带动连接结构转动，使得连接架带动安装支架转动，从而使晶片充分与氨水接触，实现对晶片的清洗。由此可见，本实用新型所提供的过氨水装置在操作时只需要握住转动手柄即可，不需要对过氨水装置进行摇晃，减少了人工压力，提高了清洗效率，适合对大批量晶片进行清洗。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为本实用新型实施例所提供的一种过氨水装置的轴测结构示意图；
24.图2为本实用新型实施例所提供的一种过氨水装置的正面结构示意图；
25.图3为本实用新型实施例所提供的一种过氨水装置的俯视结构示意图；
26.图4为本实用新型实施例所提供的一种过氨水装置的侧面结构示意图。
27.其中，100为本体，101为安装支架，1011为挡板，102为连接架，1021为第一连接臂，1022为第二连接臂，1023为第三连接臂，200为转动手柄。
具体实施方式
28.有鉴于此，本实用新型的核心在于提供一种过氨水装置，以提高过氨水装置的清洗效率。
29.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
30.如图1至图4所示，本实用新型实施例公开了一种过氨水装置，包括本体100、转动手柄200、液压传感器和控制器。
31.其中，本体100包括安装支架101和与安装支架101连接的连接架102，安装支架101用于安装卡塞，卡塞用于盛装晶片，连接架102的顶部设置有连接结构；转动手柄200包括手柄壳体和设置于手柄壳体的电机，电机的输出轴露出手柄壳体，且电机的输出轴与连接结
构连接；液压传感器，设置于安装支架101上；控制器能够与液压传感器和电机进行信号传输。
32.使用本实用新型所提供的过氨水装置时，将晶片安装于卡塞中，再将卡塞安装在安装支架101中，由于连接架102的顶部设置有连接结构，电机的输出轴露出手柄壳体后与连接结构连接，液压传感器设置于安装支架101上，因此，过氨水时，只需要手持转动手柄200，将安装有晶片的本体100放入氨水中后，通过液压传感器能够采集到氨水的液压信号，并将采集到的液压信号转化为电信号传输给控制器，控制器接收电信号后控制电机的输出轴转动，电机的输出轴带动连接结构转动，使得连接架102带动安装支架101转动，从而使晶片充分与氨水接触，实现对晶片的清洗。由此可见，本实用新型所提供的过氨水装置在操作时只需要握住转动手柄200即可，不需要对过氨水装置进行摇晃，减少了人工压力，提高了清洗效率，适合对大批量晶片进行清洗。
33.需要说明的是，控制器与液压传感器和电机可以通过无线传输方式进行信号传输，也可以通过有线传输方式进行信号传输，只要是能够满足信号传输需求的设置方式均属于本实用新型保护范围内。
34.另外，液压传感器可以设置于安装支架101的底部或者侧壁的任何位置，只要是能够与氨水接触并采集氨水的液压信号的安装位置均属于本实用新型保护范围内。
35.同样地，上述控制器可以集成安装在手柄壳体或者连接架102的任意位置，只要是能够满足使用要求的安装位置均属于本实用新型的保护范围。
36.进一步地，安装支架101的长度可以为固定长度，也可以将安装支架101设置为伸缩式结构，以使安装支架101的长度能够调节，从而扩大安装支架101的内部空间，放置多个卡塞，进一步提高晶片的清洗效率；可选地，在本实用新型一具体实施例中，安装支架101伸长至最大长度时能够容纳三个卡塞。
37.另外，上述安装支架101的一端封闭，另一端可拆卸连接挡板1011，挡板1011与安装支架101连接后形成能够夹紧卡塞的夹紧空间，以便于将挡板1011拆卸后，将卡塞依次装入安装支架101内，再将挡板1011可拆卸安装在安装支架101上，通过挡板1011与安装支架101形成的夹紧空间将卡塞夹紧，减少卡塞的晃动，提高该过氨水装置的稳定性。
38.如图1和图4所示，连接架102包括第一连接臂1021、第二连接臂1022和第三连接臂1023，第一连接臂1021与安装支架101的第一端连接，第二连接臂1022与安装支架101的第二端连接，第三连接臂1023连接第一连接臂1021和第二连接臂1022，亦即通过第一连接臂1021、第二连接臂1022和第三连接臂1023形成几字形结构的连接架102，连接结构位于第三连接臂1023的顶部，以通过连接结构连接电机的输出轴，使得电机的输出轴能够带动连接架102转动，进而带动该过氨水装置的本体100转动，实现晶片在氨水中的转动清洗。
39.需要说明的是，上述第一连接臂1021和第二连接臂1022可以沿电机的输出轴轴线对称设置，也可以不对称设置，只要是能够满足使用要求的设置方式均属于本实用新型保护范围内；可选地，本实用新型所提供的第一连接臂1021和第二连接臂1022沿电机的输出轴轴线对称设置，以使该安装支架101受力平衡，具有较好的稳定性。
40.进一步地，第一连接臂1021和第二连接臂1022均为伸缩臂，以使连接架102在其高度方向能够调节，便于在实际使用中调节连接架102的高度，从而调节转动手柄200和安装支架101的高度，减少溅射在操作人员身体上的氨水，提高该过氨水装置的使用安全性。
41.另外，上述连接结构可以是连接孔、连接轴或者连接套筒等类型零件，只要是能够满足使用要求的类型均属于本实用新型保护范围内；可选地，本实用新型实施例所提供的连接结构为连接孔，连接孔与电机的输出轴通过螺纹连接，以使连接架102随电机输出轴转动。
42.本实用新型所提供的本体100和手柄壳体均采用树脂材料制作而成，具有耐腐蚀的优点，具有较长的使用寿命，而且因其还具有重量轻的优点，因此，还能够减少操作人员的握持力。
43.上述电机为正反转电机，手柄壳体上设置有能够切换正反转电机的转动方向的旋向切换按钮，以便于通过旋向切换按钮切换正反转电机的转动方向，使电机能够带动本体100间隔的进行正转和反转，进一步提高过氨水的清洗效果。
44.此外，本实用新型还公开了一种半导体器件的生产系统，包括如上所述的过氨水装置，因此兼具了上述过氨水装置的所有技术效果，本文在此不再一一赘述。
45.本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”和“第二”等是用于区别不同的对象，而不是用于描述特定的顺序。此外术语“包括”和“具有”以及他们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有设定于已列出的步骤或单元，而是可包括没有列出的步骤或单元。
46.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。