一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法与流程

1.本发明涉及一种洗烘装置，具体涉及一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法。


背景技术：

2.随着平面显示器和触摸屏的不断发展，目前市场对大尺寸的平面显示和触摸屏需求越来越旺盛，因此对靶材的质量要求和尺寸要求越来越高。传统的钼合金靶材是将把钼及其他金属粉末在高能球磨机中球磨混合至达到合金化的程度，使粉末基本呈钼相的性质，然后经过氢气烧结、轧制、热处理、机加工等工艺获得，并应用于平板显示器件镀膜材料。
3.靶材制备完成后，需要清洗清洁以去除表面的油污等；目前清洗、烘干装置大多包括两个或两个以上的清洗水槽和清洗后的烘干箱，因此在清洗烘干装置过程中，在数个水槽和烘干箱之间流转容易受到碰撞而成为残次品。


技术实现要素：

4.为解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法。
5.为了实现上述目标，本发明采用如下的技术方案：
6.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置，包括横置的料筒，料筒内设有由电机轴联动的螺旋叶片；
7.沿长度方向，料筒的内腔由设于螺旋叶片的轴底部的隔板依次分为去污区、洗涤区和烘干区；
8.所述螺旋叶片包括第一螺旋叶片、第二螺旋叶片、第三螺旋叶片，分别匹配去污区、洗烘区、出件区，且螺腔顺接；
9.所述去污区的料筒内盛有清洗液；
10.所述洗烘区包括清洗区和烘干区，清洗区的料筒顶壁设有喷淋头，底壁设有漏水口；烘干区的料筒顶壁设有接热风机的风口，底壁设有沥水口；
11.且，于去污区、洗烘区、出件区的隔板前端的螺旋叶片均设有至螺腔内的拨片，用于将螺腔内的靶材抬高后拨至下一段螺腔内。
12.上述去污区内的料筒内壁及第一螺旋叶片的表面，均为砂面。
13.进一步的，上述砂面为1500-2500目。
14.上述清洗区的底部设有正对漏水口的蓄水池。
15.进一步的，上述烘干区的底部设有正对沥水口的沥水管，沥水管通蓄水池。
16.再进一步的，上述蓄水池包括一级蓄水池和二级蓄水池，沥水管通一级蓄水池，一级蓄水池和二级蓄水池间设有第一溢水板，二级蓄水池的末端设有高度低于第一溢水板的第二溢水板，第二溢水板后接排水管。
17.更进一步的，上述喷淋头包括一级喷淋头由市政供水，二级喷淋头由二级蓄水池通过二级循环泵供水。
18.更进一步的，上述清洗区和烘干区的料筒内壁及第二螺旋叶片的表面，均设有绒布。
19.上述去污区的底壁设有漏污口，通设于去污区底部的集污池。
20.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘方法，包括以下步骤：
21.s1、靶材由供料链输送至料筒的入口；
22.s2、置于料筒入口处的第一螺旋叶片前端的拨片，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入去污区；
23.s3、转动的第一螺旋叶片推动靶材沿料筒的底壁旋转并移动至去污区的末端；移动过程中，清洗液浸没靶材的同时，由砂面摩擦清洁靶材的对侧面及端面；
24.s4、洗烘区前端的第一螺旋叶片末端的拨片，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入洗烘区；
25.s5、转动的第二螺旋叶片推动靶材沿料筒的底壁旋转并移动至洗烘区的末端；移动过程中，靶材依次由清洗区的二级喷淋头、一级喷淋头喷出的水清洗后，同时由绒布去除表面的清洗液；
26.再由烘干区的风口的热风吹干，同时由绒布去除表面的水渍；
27.s6、洗烘完毕后，由出件区前端的第二螺旋叶片末端的拨片，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入出件区；
28.s7、转动的第三螺旋叶片推动靶材沿料筒的底壁移动至出料链。
29.本发明的有益之处在于：
30.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法，利用旋转的螺旋叶片及拨片的将靶材卷入料筒内腔，依次经过去污区、洗涤区和烘干区；移动过程中，由转动的螺旋叶片联动靶材周向转动和水平移动，与螺旋叶片的表面及料筒的底壁摩擦，于去污区内加强清洁、去污的效果，于清洗区内加强清洗效果，于烘干区内进一步去除水渍被烘干后遗留的水渍。
31.本发明的洗烘装置及洗烘方法，其结构简单，体积小，使用方便，节能节水，洗烘效果好，具有很强的实用性和广泛的适用性。
附图说明
32.图1为洗烘装置的结构示意图。
33.附图中标记的含义如下：1、去污区，2、清洗区，3、烘干区，4、第一螺旋叶片，5、第二螺旋叶片，6、第三螺旋叶片，7、拨片，8、二级喷淋头，9、一级喷淋头，10、热风机，11、沥水管，12、一级蓄水池，13、二级蓄水池，14、集污池。
具体实施方式
34.以下结合附图和具体实施例对本发明作具体的介绍。
35.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置，由横置的料筒和设于料筒内的螺旋叶片组成，螺旋叶片由控制装置通过电机轴联动。
36.沿长度(进料)方向，于螺旋叶片的底部，料筒的内腔由隔板依次分隔为去污区1、清洗区2和烘干区3。相应的，螺旋叶片依次分为同轴的第一螺旋叶片4、第二螺旋叶片5、第三螺旋叶片6，且螺腔顺接。于去污区1、洗烘区、出件区的隔板前端的螺旋叶片均设有至螺腔内的拨片7，用于将螺腔内的靶材抬高后拨至下一段螺腔内。
37.去污区1的底壁设有漏污口，去污区1底部设有正对漏污口的集污池，去污区1及集污池内盛有清洗液。
38.洗烘区包括内腔连通的清洗区2和烘干区3。沿长度(进料)方向，清洗区2分为二级清洗区、一级清洗区；二级清洗区的料筒顶壁设有二级喷淋头8，底壁设有二级漏水口，底部设有正对二级漏水口的二级蓄水池13，且二级喷淋头8由二级蓄水池13通过二级循环泵供水；一级清洗区的料筒顶壁设有一级喷淋头9，底壁设有一级漏水口，底部设有正对一级漏水口的二级蓄水池13，且一级喷淋头9由市政供水。
39.一级蓄水池12和二级蓄水池13间设有第一溢水板；二级蓄水池13的末端设有高度低于第一溢水板的第二溢水板，第二溢水板后接排水管。
40.烘干区3的料筒顶壁设有风口，由热风机10供热风；烘干区3的底壁设有沥水口，底部设有正对沥水口的沥水管11，沥水管11的末端通一级蓄水池12。
41.优选的，去污区1内的料筒内壁及第一螺旋叶片4的表面，均为砂面或贴设砂纸，砂面或砂纸为1500-2500目。
42.清洗区2和烘干区3的料筒内壁及第二螺旋叶片5的表面，均设有绒布。
43.一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘方法，包括以下步骤：
44.s1、靶材由供料链输送至料筒的入口。
45.s2、置于料筒入口处的第一螺旋叶片4前端的拨片7，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入去污区1。
46.s3、转动的第一螺旋叶片4推动靶材沿料筒的底壁旋转并移动至去污区1的末端；移动过程中，清洗液浸没靶材的同时，由砂面摩擦清洁靶材的对侧面及端面；清洗下的颗粒等污垢经漏污口落入集污池。
47.s4、洗烘区前端的第一螺旋叶片4末端的拨片7，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入洗烘区。
48.s5、转动的第二螺旋叶片5推动靶材沿料筒的底壁旋转并移动至洗烘区的末端；移动过程中，靶材依次由清洗区2的二级喷淋头8、一级喷淋头9喷出的水清洗后，同时由绒布去除表面的清洗液；
49.再由烘干区3的风口的热风吹干，同时由绒布去除表面的水渍；
50.由市政供水的一级喷淋头9清洗后的水落入一级蓄水池12，满后溢入二级蓄水池13，由前端的二级喷淋头8进行初步的清洗后，再由干净的市政供水再次清洗清洁。
51.s6、洗烘完毕后，由出件区前端的第二螺旋叶片5末端的拨片7，拨动靶材并沿料筒的内壁移动至螺旋叶片的轴的顶部，再沿螺腔落入出件区。
52.s7、转动的第三螺旋叶片6推动靶材沿料筒的底壁移动至出料链。
53.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，上述实施例不以任何形式限制本发明，凡采用等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案，均落在本发明的保护范围内。