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框架的调节组件的制作方法

2022-08-13 05:05:48 来源:中国专利 TAG:


1.本公开涉及半导体面板加工设备领域,具体地,涉及框架的调节组件。


背景技术:

2.半导体面板加工设备一般放置在支撑装置的框架结构里,由于半导体面板的加工精度要求较高,因此对支撑装置的结构精度要求也比较高,其中,支撑装置的框架结构由多个连接柱两两连接而成,半导体面板加工设备在支撑装置上安装时,支撑装置承重,容易造成相邻两个连接柱之间位置产生变化,进而导致支撑装置发生变形,最终会对半导体面板加工设备的安装精密度造成影响。


技术实现要素:

3.本公开的目的是提供一种框架的调节组件,可以解决半导体面板加工设备的安装精密度受支撑装置变形影响的问题。
4.为了实现上述目的,本公开提供一种框架的调节组件,所述框架由多个连接柱两两连接而成,且两个相邻所述连接柱的一端相互连接形成支撑结构,所述调节组件包括有用于抵靠于所述支撑结构的外侧壁的第一调节件和用于抵靠于所述支撑结构的内侧壁的第二调节件,所述调节组件还包括有一端连接于所述第一调节件和另一端连接于所述第二调节件且用于调节所述第一调节件和所述第二调节件之间间距的调距件。
5.可选地,所述调距件包括连接于所述第一调节件的第一调距部和连接于所述第二调节件的第二调距部,所述第二调距部开设有用于容纳所述第一调距部的容纳腔,以使第一调距部滑动连接于第二调距部,所述调距件还包括有用于锁定所述第一调距部和第二调距部之间相对位置的锁止件。
6.可选地,所述第一调节件为第一连接杆,所述第一连接杆的两端分别抵靠于所述支撑结构的两个连接柱的外侧壁,所述第二调节件为第二连接杆,所述第二连接杆的两端分别抵靠于所述支撑结构的两个连接柱的内侧壁,所述调距件的第一调距部固定连接于第一连接杆,所述调距件的第二调距部固定连接于第二连接杆,所述调距件的锁止件包括固定连接于第一调距部远离所述第一连接杆的一端的螺纹杆,所述螺纹杆穿设于所述容纳腔且穿出所述第二连接杆,且穿出端螺纹连接有用于抵靠于所述第二连接杆的外壁的调距螺母,所述调节组件还包括有连接于所述第一连接杆且用于测量所述支撑结构的内侧角的角度的测角装置。
7.可选地,所述第一连接杆的两端分别转动连接有用于抵靠所述支撑结构的外侧壁的第一转动轮,所述第二连接杆的两端分别转动连接有用于抵靠所述支撑结构的内侧壁的第二转动轮。
8.可选地,所述第一转动轮连接于所述第一连接杆的侧壁,所述第二转动轮连接于所述第二连接杆的侧壁。
9.可选地,所述第一转动轮和所述第二转动轮为橡胶轮。
10.可选地,两个所述第一转动轮沿第一调距部的长度方向对称连接于所述第一连接杆,两个所述第二转动轮沿第二调距部的长度方向对称连接于所述第二连接杆。
11.可选地,所述第二连接杆的中部构造为弯折状,以使所述第二连接杆的两端朝向所述第一连接杆。
12.可选地,所述测角装置为测角圆盘,所述测角圆盘的表面边缘处沿圆盘的圆弧方向构造有角度标记部。
13.可选地,所述测角圆盘转动连接于所述第一连接杆。
14.通过上述技术方案,第一调节件抵靠于支撑结构的外侧壁,第二调节件抵靠于支撑结构的内侧壁,调距件可以调节第一调节件和第二调节件的间距,当调距件调节第二调节件靠近第一调节件时,第二调节件挤压支撑结构的内侧壁,以使支撑结构的两个连接柱远离两者连接处的一端相互远离,进而校正由于承重产生形变的框架。
15.本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
16.附图是用来提供对本公开的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本公开,但并不构成对本公开的限制。在附图中:
17.图1是本公开实施例提供的框架的调节组件的整体结构示意图;
18.图2是图1的部分剖视图;
19.图3是本公开实施例提供的框架的调节组件和支撑结构配合示意图。
20.附图标记说明
21.1-支撑结构,2-第一调节件,21-第一转动轮,3-第二调节件,31-第二转动轮,4-调距件,41-第一调距部,42-第二调距部,421-容纳腔,43-锁止件,431-螺纹杆,432-调距螺母,5-测角装置。
具体实施方式
22.以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。
23.在本公开中,在未作相反说明的情况下,“内、外”是相对于对应的部件自身轮廓而言的“内、外”。此外,本公开所使用的术语“第一”、“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素,不具有顺序性和重要性。此外,在下面的描述中,当涉及到附图时,除非另有解释,不同的附图中相同的附图标记表示相同或相似的要素。上述定义仅用于解释和说明本公开,不应当理解为对本公开的限制。
24.为了实现本技术的目的,如图1-3所示,提供一种框架的调节组件,框架由多个连接柱两两连接而成,且两个相邻连接柱的一端相互连接形成支撑结构1,调节组件包括有用于抵靠于支撑结构1的外侧壁的第一调节件2和用于抵靠于支撑结构1的内侧壁的第二调节件3,调节组件还包括有一端连接于第一调节件2和另一端连接于第二调节件3且用于调节第一调节件2和第二调节件3之间间距的调距件4。
25.通过上述技术方案,第一调节件2抵靠于支撑结构1的外侧壁,第二调节件3抵靠于支撑结构1的内侧壁,调距件4可以调节第一调节件2和第二调节件3的间距,当调距件4调节
第二调节件3靠近第一调节件2时,第二调节件3挤压支撑结构1的内侧壁,以使支撑结构1的两个连接柱远离两者连接处的一端相互远离,进而校正由于承重产生形变的框架。
26.作为一种可选的实施方式,如图2-3所示,调距件4包括连接于第一调节件2的第一调距部41和连接于第二调节件3的第二调距部42,第二调距部42开设有用于容纳第一调距部41的容纳腔421,以使第一调距部41滑动连接于第二调距部42,调距件4还包括有用于锁定第一调距部41和第二调距部42之间相对位置的锁止件43。具体地,第一调距部41和第二调距部42均构造为沿长度方向延伸的杆状结构,部分第一调距部41被收纳于容纳腔421内,且第一调距部41抵靠于容纳腔421的腔壁并沿第二调距部42的长度方向滑动,因此,实现了第一调节件2和第二调节件3之间间距的调节,当第一调节件2和第二调节件3的间距调整完成后,可通过锁止件43锁定第一调距部41和第二调距部42之间的相对位置。
27.在一些其它实施例中,第二调距部42的外侧壁开设有限位螺纹孔,限位螺杆穿设于该限位螺纹孔内,当锁止件43锁定第一调距部41和第二调距部42之间的相对位置后,工人可转动限位螺杆以将限位螺杆的一端抵靠于容纳腔421内的第一调节件2的外壁,可进一步限制第一调距部41在容纳腔421内滑动。
28.作为一种可选的实施方式,第一调节件2为第一连接杆,第一连接杆的两端分别抵靠于支撑结构1的两个连接柱的外侧壁,第二调节件3为第二连接杆,第二连接杆的两端分别抵靠于支撑结构1的两个连接柱的内侧壁,调距件4的第一调距部41固定连接于第一连接杆,调距件4的第二调距部42固定连接于第二连接杆,调距件4的锁止件43包括固定连接于第一调距部41远离第一连接杆的一端的螺纹杆431,螺纹杆431穿设于容纳腔421且穿出第二连接杆,且穿出端螺纹连接有用于抵靠于第二连接杆的外壁的调距螺母432,调节组件还包括有连接于第一连接杆且用于测量支撑结构1的内侧角的角度的测角装置5。
29.第一连接杆的两端抵靠于两个连接柱的外侧壁,第二连接杆的两端抵靠于两个连接柱的内侧壁,工人通过扳手等工具转动调距螺母432,以使调距螺母432沿螺纹杆431的长度方向朝向第一调距部41移动,此时,调距螺母432抵靠于第二连接杆的外壁以驱动第二连接杆沿螺纹杆431的长度方向朝向第一连接杆移动,进而使第二连接杆的两端向外挤压支撑结构1的两个连接柱,实现对支撑结构1形变的校正,其中,测角装置5可以给工人一个角度参考,一般将两个连接柱之间的夹角校正为90
°
即可,当两个连接柱被校正之后,工人还需在两个连接柱之间连接紧固件,以将两个连接柱的相对位置进一步固定起来,防止调节组件撤离之后,支撑结构1再次变形。
30.其中,紧固件可以是焊接于两个连接柱之间的加强筋,本公开对紧固件的具体结构不作限制。
31.具体地,支撑结构1为多个连接柱两两连接而成,调节组件的第二连接杆始终抵靠于相邻两个连接柱连接形成锐角的一侧,即第二连接杆始终使相邻两个连接柱远离连接处的一端相互远离,最终将锐角校正为直角,使框架的所有相邻两个连接柱两两垂直。
32.作为一种可选的实施方式,第一连接杆的两端分别转动连接有用于抵靠支撑结构1的外侧壁的第一转动轮21,第二连接杆的两端分别转动连接有用于抵靠支撑结构1的内侧壁的第二转动轮31。第一转动轮21和第二转动轮31使得调节组件在校正框架的过程中,第一连接杆和第二连接杆与框架的接触移动方式为滚动,如此,可以减少调节组件与框架之间的摩擦力,工人可省力操作。
33.具体地,连接柱的截面为矩形,第一转动轮21和第二转动轮31可抵靠到连接柱侧壁的一个侧面上。
34.作为一种可选的实施方式,第一转动轮21连接于第一连接杆的侧壁,第二转动轮31连接于第二连接杆的侧壁。第一转动轮21和第二转动轮31位于调节组件侧边,第一连接杆和第二连接杆以及调距件4在调节组件校正框架的过程中,不会抵触到框架。
35.作为一种可选的实施方式,第一转动轮21和第二转动轮31为橡胶轮。橡胶轮具有耐磨的性质,可提高转动轮的使用寿命,且橡胶轮与支撑结构1接触为非刚性接触,因此,也减少了转动轮与框架的刚性接触造成的不必要磨损。
36.作为一种可选的实施方式,两个第一转动轮21沿第一调距部41的长度方向对称连接于第一连接杆,两个第二转动轮31沿第二调距部42的长度方向对称连接于第二连接杆。第一转动轮21和第二转动轮31对称布置,使得框架的两个连接柱受力均匀。
37.作为一种可选的实施方式,第二连接杆的中部构造为弯折状,以使第二连接杆的两端朝向第一连接杆。第二连接杆的两端朝向第一连接杆,使得调距件4可以更省力地校正框架。
38.作为一种可选的实施方式,测角装置5为测角圆盘,测角圆盘的表面边缘处沿圆盘的圆弧方向构造有角度标记部。工人可以参考测角圆盘的角度标记部对框架进行校正,其中,角度标记部具体为刻在测角圆盘边缘的角度标记线,且测角圆盘的圆心位于支撑结构1的两个连接柱的交点处。
39.作为一种可选的实施方式,测角圆盘转动连接于第一连接杆。测角圆盘可以转动,以使测角圆盘的零度角或其它角度的位置对准框架的一个连接柱的边缘,有利于工人在测角圆盘上选择合适的参考位置。
40.在一些其它实施例中,测角装置5还可以是电子测角器。电子测角器通过红外感应,实时测量相邻两个连接柱之间的夹角,以将测量角度传输到电子测角器的显示屏上,使工人可以直观地看到该夹角的角度数值。
41.以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式,但是,本公开并不限于上述实施方式中的具体细节,在本公开的技术构思范围内,可以对本公开的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本公开的保护范围。
42.另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
43.此外,本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本公开的思想,其同样应当视为本公开所公开的内容。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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