一种光刻胶管道清洗液回收利用系统的制作方法

1.本实用新型涉及半导体光刻胶技术领域，尤其是涉及一种光刻胶管道清洗液回收利用系统。


背景技术：

2.因光刻胶的粘度较大，在光刻胶生产过程中会在管道及设备的内壁上残留部分胶液，导致产率无法进一步提升。另外由于光刻胶的需求量限制，使光刻胶的生产属于间歇性生产，所以在每批次光刻胶生产后需要将整条光刻胶产线的管道和设备清洗干净，以保证下一批次胶液不被上一批次的产品污染。
3.目前，管道及设备中残留的光刻胶一般采用有机溶剂长时间浸泡来去除。但此处理方式有两大缺点：一是浸泡时间长，耗时；二是有机溶剂需求量太大，不经济。因此，开发一种能够实现光刻胶管道循环清洗及较少溶剂浪费的生产系统极为迫切。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，减少了有机溶剂的消耗，降低了成本，解决了浸泡时间长、耗时的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，包括溶剂罐、反应釜、成品罐、废液罐、精馏塔、冷凝器和溶剂回收罐，所述溶剂回收罐与所述精馏塔及所述冷凝器连接，所述冷凝器与所述精馏塔连接，所述精馏塔与所述废液罐连接，所述废液罐与所述反应釜及所述成品罐连接，所述成品罐与所述反应釜连接，所述反应釜与所述溶剂罐连接；
6.所述溶剂回收罐的出料口与所述成品罐及所述反应釜通过循环管路连接，所述循环管路与所述反应釜及成品罐连接，所述成品罐和所述反应釜内均设置有喷淋清洗球，所述喷淋清洗球与所述循环管路连接；
7.所述废液罐设置在所述反应釜及所述成品罐的下方。
8.优选的，所述溶剂罐和所述反应釜之间设置有溶剂打料泵。
9.优选的，所述反应釜和所述成品罐之间设置有胶液打料管，所述成品罐的底部设置有成品灌装口。
10.优选的，所述废液罐和所述精馏塔之间设置有废液泵。
11.优选的，所述循环管路上连接有循环泵。
12.优选的，所述反应釜的侧壁上设置有温控夹套，所述反应釜的内部设置有搅拌桨。
13.因此，本实用新型采用上述结构的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，减少了有机溶剂的消耗，降低了成本，解决了浸泡时间长、耗时的问题。
14.下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
15.图1为本实用新型一种光刻胶管道清洗液回收利用系统实施例的流程示意图。
具体实施方式
16.以下通过附图和实施例对本实用新型的技术方案作进一步说明。
17.除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
18.实施例
19.图1为本实用新型一种光刻胶管道清洗液回收利用系统实施例的流程示意图，如图所示，本实用新型提供了一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，包括溶剂罐1、反应釜2、成品罐3、废液罐4、精馏塔5、冷凝器6和溶剂回收罐7，溶剂回收罐7与精馏塔5及冷凝器6连接，冷凝器6与精馏塔5连接，精馏塔5与废液罐4连接，废液罐4与反应釜2及成品罐3连接，成品罐3的底部设置有成品灌装口12。成品罐3与反应釜2连接，反应釜2和成品罐3之间设置有胶液打料管11，反应釜2与溶剂罐1连接，溶剂罐1和反应釜2之间设置有溶剂打料泵10。反应釜2的侧壁上设置有温控夹套15，反应釜15的内部设置有搅拌桨16。制胶过程结束以后进行涉笔管道清洗，将溶剂罐中的有机溶剂经溶剂打料泵加入到反应釜中，用胶液打料泵将管道和产品罐中充满溶剂，浸泡12小时，清洗后的废溶剂通过重力排入废液罐，完成第一遍清洗，废液罐中的废溶剂经废液泵打入精馏塔进行提纯，提纯后的清洗液进入溶剂回收罐，完成废溶剂的净化与存储。通过循环泵将溶剂回收罐中的清洗液打回反应釜和成品罐，然后通过喷淋清洗球对反应釜及成品罐进行360度清洗，清洗后的废液再由重力进入到废液罐，依次循环。
20.溶剂回收罐7的出料口与成品罐3及反应釜2通过循环管路8连接，循环管路8与反应釜2及成品罐3连接，循环管路8上连接有循环泵14。成品罐3和反应釜2内均设置有喷淋清洗球9，喷淋清洗球9与循环管路8连接，能够实现360度旋转清洗；废液罐4设置在反应釜2及成品罐3的下方，使得废液靠重力流入到废液罐中。废液罐4和精馏塔5之间设置有废液泵13。
21.因此，本实用新型采用上述结构的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，减少了有机溶剂的消耗，降低了成本，解决了浸泡时间长、耗时的问题。
22.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：包括溶剂罐、反应釜、成品罐、废液罐、精馏塔、冷凝器和溶剂回收罐，所述溶剂回收罐与所述精馏塔及所述冷凝器连接，所述冷凝器与所述精馏塔连接，所述精馏塔与所述废液罐连接，所述废液罐与所述反应釜及所述成品罐连接，所述成品罐与所述反应釜连接，所述反应釜与所述溶剂罐连接；所述溶剂回收罐的出料口与所述成品罐及所述反应釜通过循环管路连接，所述循环管路与所述反应釜及成品罐连接，所述成品罐和所述反应釜内均设置有喷淋清洗球，所述喷淋清洗球与所述循环管路连接；所述废液罐设置在所述反应釜及所述成品罐的下方。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述溶剂罐和所述反应釜之间设置有溶剂打料泵。3.根据权利要求2所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述反应釜和所述成品罐之间设置有胶液打料管，所述成品罐的底部设置有成品灌装口。4.根据权利要求3所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述废液罐和所述精馏塔之间设置有废液泵。5.根据权利要求4所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述循环管路上连接有循环泵。6.根据权利要求5所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述反应釜的侧壁上设置有温控夹套，所述反应釜的内部设置有搅拌桨。

技术总结
本实用新型公开了一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，包括溶剂罐、反应釜、成品罐、废液罐、精馏塔、冷凝器和溶剂回收罐，溶剂回收罐与精馏塔及冷凝器连接，冷凝器与精馏塔连接，精馏塔与废液罐连接，废液罐与反应釜及成品罐连接，成品罐与反应釜连接，反应釜与溶剂罐连接；溶剂回收罐的出料口与成品罐及反应釜通过循环管路连接，循环管路与反应釜及成品罐连接，成品罐和反应釜内均设置有喷淋清洗球，喷淋清洗球与循环管路连接；废液罐设置在反应釜及成品罐的下方。本实用新型采用上述结构的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，减少了有机溶剂的消耗，降低了成本，解决了浸泡时间长、耗时的问题。时的问题。时的问题。


技术研发人员：范莹莹 康楠楠
受保护的技术使用者：明士新材料有限公司
技术研发日：2022.03.15
技术公布日：2022/8/11