一种TIN薄膜制备均匀度在线监测装置的制作方法

一种tin薄膜制备均匀度在线监测装置
技术领域
1.本实用新型涉及监测装置领域，尤其涉及一种tin薄膜制备均匀度在线监测装置。


背景技术：

2.硬膜材料一般是用于提高基体表面的耐磨、耐腐蚀性能的膜层，包括氮化物、碳化物、硼化物等薄膜材料。tin薄膜具有高的硬度、耐磨损和抗腐蚀性能，是硬质合金刀具、模具表面的理想薄膜材料,tin薄膜制备成型过程中需要对薄膜的厚度均匀进行监测，达到筛选的效果。
3.但现有的tin薄膜均匀度监测装置不具有标记的功能，当设备监测出薄膜某处不合格时，无法标记，影响工作人员监检测，降低了工作效率。因此，为了解决上述问题，我们提出了一种tin薄膜制备均匀度在线监测装置。


技术实现要素：

4.本实用新型提出的一种tin薄膜制备均匀度在线监测装置，解决了现有的tin薄膜均匀度监测装置不具有标记功能的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种tin薄膜制备均匀度在线监测装置，包括底座、安装块和防护盒，所述底座底端四角均安装有自锁万向轮，且所述底座一侧固定安装有控制器，所述底座顶端设有安装块，且所述安装块底端与底座顶端之间设有升降结构，所述安装块一侧固定安装有监测仪，且所述安装块一侧固定安装有支撑块，且所述支撑块一侧设有防护盒，所述防护盒和支撑块之间设有伸缩结构，且所述防护盒顶端固定安装有安装盒，所述安装盒内固定安装有减速电机，且所述减速电机输出轴连接有标记结构。
7.优选的，所述升降结构包括气缸，所述底座内开设有安装槽，且所述安装槽底端内壁固定安装有气缸，所述气缸活塞杆滑动贯穿底座顶端，且所述气缸活塞杆贯穿底座一端与安装块底端固定连接。
8.优选的，所述伸缩结构包括电动伸缩杆，所述支撑块靠近防护盒一侧开设有收纳槽，且所述收纳槽远离防护盒一侧内壁固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆远离支撑块一端与防护盒相对的一侧固定连接。
9.优选的，所述标记结构包括双牙螺杆、移动块、支块和记号笔，所述防护盒内转动安装有双牙螺杆，且所述双牙螺杆两段侧壁均螺纹套设有移动块，两个所述移动块均呈凸字状，且两个所述移动块远离支撑块一端均贯穿防护盒，两个所述移动块贯穿防护盒一端相对的一侧均固定安装有支块，且两个所述支块相对的一侧均安装有记号笔。
10.优选的，两个所述移动块两侧均固定安装有限位块，且所述防护盒两侧内壁均开设有与同侧所述限位块相匹配的限位槽。
11.优选的，两个所述支块相对的一侧均开设有凹槽，且两个所述记号笔分别位于同侧所述凹槽，两个所述凹槽内壁均固定安装有橡胶垫。
12.本实用新型的有益效果为：
13.1、通过监测仪的设置，达到实时监测薄膜厚度均匀的效果，通过升降装置的设置，利用气缸驱动安装块上升或下降，达到调节设备高度的效果，且通过伸缩结构的设置，利用电动伸缩杆驱动防护盒移动，达到调节防护盒位置的效果，提高了设备的实用性。
14.2、通过标记结构的设置，利用减速电机驱动双牙螺杆转动，促使两个移动块带着同侧记号笔相对移动，进而促使记号笔与薄膜表面接触，达到标记不合格薄膜地点的效果，便于工作人员后续检测，提高了设备的实用性。
15.总上所述，该设备结构新颖，通过标记结构的设置，促使设备具有标记薄膜不合格地点的功能，便于工作人员后续检测，提高了设备的实用性，且提高了薄膜的加工质量。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为本实用新型底座的剖视图；
18.图3为本实用新型防护盒和安装盒的剖视图；
19.图4为本实用新型图3中a的放大图；
20.图5为本实用新型标记结构的爆炸图。
21.图中标号：1、底座；2、控制器；3、气缸；4、安装块；5、监测仪；6、支撑块；7、安装盒；8、防护盒；9、移动块；10、支块；11、记号笔；12、双牙螺杆；13、电动伸缩杆；14、收纳槽；15、安装槽；16、减速电机；17、限位块；18、凹槽。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
23.参照图1-3，一种tin薄膜制备均匀度在线监测装置，包括底座 1、安装块4和防护盒8，底座1底端四角均安装有自锁万向轮，该设备使用时，工作人员可通过自锁万向轮驱动设备移动，达到更换设备安放地点的效果，提高了设备的便捷性，且底座1一侧固定安装有控制器2，底座1顶端设有安装块4，安装块4一侧固定安装有监测仪5，且安装块4底端与底座1顶端之间设有升降结构，升降结构包括气缸3，底座1内开设有安装槽15，且安装槽15底端内壁固定安装有气缸3，气缸3活塞杆滑动贯穿底座1顶端，且气缸3活塞杆贯穿底座1一端与安装块4底端固定连接，当设备移动时相应的位置后，通过气缸3驱动安装块4上升或者下降，达到调节监测仪5高度的效果，便于设备监测薄膜的均匀度，提高了设备的实用性。
24.参照图1和图3，且安装块4一侧固定安装有支撑块6，且支撑块6一侧设有防护盒8，防护盒8和支撑块6之间设有伸缩结构，伸缩结构包括电动伸缩杆13，支撑块6靠近防护盒8一侧开设有收纳槽14，且收纳槽14远离防护盒8一侧内壁固定安装有电动伸缩杆13，电动伸缩杆13远离支撑块6一端与防护盒8相对的一侧固定连接，当设备调节到合适的位置后，通过电动伸缩杆13驱动防护盒8移动，促使防护盒8位于薄膜侧边，以便后续标记。
25.参照图3-5，且防护盒8顶端固定安装有安装盒7，安装盒7内固定安装有减速电机16，且减速电机16输出轴连接有标记结构，标记结构包括双牙螺杆12、移动块9、支块10和记
号笔11，防护盒8 内转动安装有双牙螺杆12，且双牙螺杆12两段侧壁均螺纹套设有移动块9，两个移动块9均呈凸字状，且两个移动块9远离支撑块6一端均贯穿防护盒8，两个移动块9贯穿防护盒8一端相对的一侧均固定安装有支块10，且两个支块10相对的一侧均安装有记号笔11，当设备监测出薄膜某处不均匀时，通过减速电机16驱动双牙螺杆12转动，双牙螺杆12转动，促使两个移动块9带着同组记号笔11相对移动，促使记号笔11与薄膜表面接触，达到标记的效果，便于工作人员后续检测，提高了设备的使用性，两个支块10相对的一侧均开设有凹槽18，且两个记号笔11分别位于同侧凹槽18，两个凹槽18内壁均固定安装有橡胶垫，且记号笔11安装于同组凹槽18内，凹槽 18内均设有橡胶垫，起到增强记号笔11与同组凹槽18之间摩擦力的作用，提高了记号笔11安装的稳定性，且便于工作人员更换损坏的记号笔11，提高了设备的实用性。
26.两个移动块9两侧均固定安装有限位块17，且防护盒8两侧内壁均开设有与同侧限位块17相匹配的限位槽，且当移动块9位于防护盒8内滑动时，移动块9带着同组限位块17位于同侧限位槽内滑动，通过限位块17与限位槽的配合，有助于避免移动块9随着双牙螺杆12同步转动，提高了移动块9移动的稳定性。
27.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。