载片装置的制作方法

1.本实用新型实施例涉及半导体结构制造技术领域，尤其涉及一种载片装置。


背景技术：

2.在半导体结构的制作过程中，常常需要在基片上沉积膜层结构。在制作过程中，需要将基片放置在载片装置中，将基片固定在载片装置上，并将载片装置搬送至溅射设备的反应腔体内，使基片正对溅射设备的溅射源，从而在反应腔体内完成镀膜制程。
3.相关技术中，载片装置包括夹具，夹具包括载板和压板，基片夹持于载板与压板之间，部分基片还通过载板上设置的通孔暴露出来，以便在暴露出的基片表面进行镀膜。然而，在搬送的过程中，基片容易从载板和压板之间掉落。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例提供一种载片装置，用以解决相关技术中基片容易从载板和压板之间掉落的问题。
5.本实用新型实施例提供一种载片装置，包括：载板和盖板，所述盖板与所述载板可拆卸地盖合在一起，所述载板背离所述盖板的一侧具有安装平面，所述载板设置有安装孔，所述安装孔内用于放置基片，位于所述安装平面上且沿所述安装孔的边缘设置有多个承接部；
6.所述盖板朝向所述载板的一侧设置有正对所述安装孔的弹性件，所述盖板与所述载板连接时，所述弹性件与所述基片的一侧抵接，且所述弹性件发生弹性形变，以使所述基片的另一侧压紧在所述承接部上。
7.在一种可能的实现方式中，所述承接部包括固定板和设置在所述固定板上的抵顶件，所述固定板与所述安装平面可拆卸连接，所述抵顶件具有与所述基片抵顶的承接平面，所述承接平面与所述安装平面之间具有预设距离。
8.在一种可能的实现方式中，所述抵顶件包括第一立柱和第二立柱，所述第一立柱的一端与所述固定板连接，所述第一立柱的另一端与所述第二立柱连接，所述第一立柱的延伸方向垂直于所述安装平面，所述第二立柱的延伸方向平行于所述安装平面，所述承接平面位于所述第二立柱靠近所述安装平面的一侧。
9.在一种可能的实现方式中，所述固定板、所述第一立柱以及所述第二立柱一体成型。
10.在一种可能的实现方式中，所述承接部的数量至少为三个，且沿所述安装孔边缘的周向均匀设置。
11.在一种可能的实现方式中，所述弹性件为金属片，所述金属片的第一端与所述盖板螺纹连接，所述金属片的第二端朝远离所述盖板的方向弯折。
12.在一种可能的实现方式中，所述弹性件的数量为多个，多个所述弹性件构成弹性组件。
13.在一种可能的实现方式中，所述载板设置有多个所述安装孔，在所述盖板上对应每个所述安装孔均设置有一个所述弹性组件。
14.在一种可能的实现方式中，在与所述盖板平行的平面内，所述盖板的截面面积小于或者等于所述载板的截面面积。
15.在一种可能的实现方式中，所述载板设置有螺纹孔，所述盖板设置有正对所述螺纹孔的固定孔，所述盖板和所述载板通过螺纹紧固件连接。
16.本实用新型实施例提供了一种载片装置，盖板与载板可拆卸地盖合在一起，载板背离盖板的一侧具有安装平面，载板设置有贯穿其的安装孔，安装孔内用于放置基片，位于安装平面上且沿安装孔的周缘向其中心线延伸地设置有多个承接部；盖板朝向载板的一侧设置有正对安装孔的弹性件，弹性件用于向载板抵顶基片，以使基片抵靠在承接部上。盖板与载板连接时，弹性件与基片的一侧抵接，且弹性件发生弹性形变，以使基片的另一侧压紧在承接部上，从而将基片固定在载板和盖板之间，避免基片发生掉落。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本实用新型实施例提供的载片装置的第一视角的结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例提供的载片装置的第二视角的结构示意图；
20.图3为一种基片的结构示意图；
21.图4为本实用新型实施例提供的载片装置中载板的正视图；
22.图5为本实用新型实施例提供的载片装置中盖板的正视图；
23.图6为图4中a-a处剖面图；
24.图7为本实用新型实施例提供的载片装置中承接部的结构示意图；
25.图8为图7中b-b处剖面图。
26.附图标记说明：
27.10、载板；
28.11、安装孔；
29.111、安装平面；
30.12、螺纹孔；
31.13、连接孔；
32.14、承接部；
33.141、固定板；
34.142、抵顶件；
35.1421、第一立柱；
36.1422、第二立柱；
37.143、承接平面；
38.20、盖板；
39.21、弹性组件；
40.211、弹性件；
41.22、固定孔；
42.30、基片。
具体实施方式
43.为了清楚理解本技术的技术方案，首先对相关技术的方案进行详细介绍。
44.相关技术中，溅射设备具有反应腔体，反应腔体为真空腔，反应腔体内设置有用于向基片沉积溅射颗粒的溅射源，将基片固定在载片装置上，并将载片装置搬送至溅射设备的反应腔体内，使基片正对溅射设备的溅射源，从而在反应腔体内完成镀膜制程。载片装置包括夹具，夹具包括载板和压板，基板夹持于压板和载板之间，部分基片还通过载板上设置的通孔暴露出来，以便在暴露出的基片表面进行镀膜。然而。在搬送的过程中，基片容易从载板和压板之间掉落，导致基片破损。
45.有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种载片装置，包括载板和盖板，盖板与载板可拆卸连接，载板背离盖板的一侧具有安装平面，载板设置有安装孔，安装孔内用于放置基片，位于安装平面上且沿安装孔的边缘设置有多个承接部；盖板朝向载板的一侧设置有弹性件，盖板与载板连接时，弹性件与基片的一侧抵接，且弹性件发生弹性形变，以使基片的另一侧压紧在承接部上，从而将基片固定在载板和盖板之间，避免基片发生掉落。
46.下面结合附图对本实用新型的几种可选地实现方式进行介绍。
47.请参照图1、图2以及图3，载片装置包括可拆卸连接的载板10和盖板 20，载板10用于承装基片30，盖板20用于与载板10盖合在一起，以便盖板20与载板10配合从而将基片30固定。
48.如图4所示，载板10可以大致呈矩形平板结构，载板10背离盖板20的一侧具有安装平面111。载板10上设置有安装孔11，安装孔11内用于放置基片30。安装孔11的形状应根据基片30的形状进行相应的设置，示例性的，基片30的形状可以大致为具有割线的圆形，相应地，安装孔11的形状与基片30的形状相同。
49.进一步地，基片30所对应的圆形直径可以小于安装孔11所对应的圆形直径，本实施例中，基片30所对应的圆形直径与安装孔11所对应的圆形直径之间的差值可以包括1mm-2mm，例如，差值可以为1mm、1.5mm以及2mm，从而提高基片30与安装孔11的对位准确性，便于基片30顺利放置在安装孔 11内。进一步地，载板10的厚度也应该依照基片30的厚度进行相应的设置，本实施例中，载板10的厚度可以包括5mm-10mm，例如厚度可以为5mm、7.5mm 以及10mm，以使安装孔11内能够放置基片30。
50.安装平面111上设置有多个承接部14，且多个承接部14还围绕安装孔 11的周缘向其中心线延伸地设置，以便承接部14承接安装孔11内的基片30。值得说明的是，相关技术中的溅射设备通常需要将基片30垂直于水平面放置并搬送，以便基片30正对反应腔体内的溅射源。也即，载片装置也需垂直于水平面放置，在安装平面111设置多个承接部14有利于固定基片30，防止基片30在搬送过程中从盖板20和载板10中掉落。
51.如图5所示，盖板20可以大致呈矩形平板结构，盖板20朝向载板10的一侧设置有弹性件211。示例性地，弹性件211正对安装孔11，盖板20与载板10连接时，弹性件211与安装孔
11内的基片30的一侧抵接，且弹性件 211发生弹性形变，在弹性件211的弹性力的作用下，基片30的另一侧被压紧在承接部14上，从而使得基片30固定在盖板20和载板10之间。进一步地，盖板20的厚度可以包括2mm-5mm，例如厚度可以为2mm、3.5mm以及5mm，以便在减小载片装置的占用空间的同时，保证盖板20的强度。
52.可选地，在与盖板20平行的平面内，盖板20的截面面积小于或者等于载板10的截面面积。示例性的，盖板20的截面面积大于安装孔11的截面面积，以使盖板20能够封堵安装孔11的一端，以便盖板20上的弹性件211与基片30具有足够的接触面积；盖板20的截面面接小于或者等于载板10的截面面积，以便盖板20盖和在载板10上，有利于进一步减小载片装置的占用空间，有利于进一步提高载片装置的轻便性。
53.值得说明的是，为保证载片装置的强度，提高载片装置的轻量性，载板 10和盖板20可以采用铝或者铝合金材质。当然，载板10和盖板20还可以为其他材质，本实施例对此不作限定。
54.本实用新型实施例提供了一种载片装置，包括载板10和盖板20，盖板 20与载板10可拆卸连接，载板10背离盖板20的一侧具有安装平面111，载板10设置有安装孔11，安装孔11内用于放置基片30，位于安装平面111上且沿安装孔11的周缘向其中心线延伸地设置有多个承接部14；盖板20朝向载板10的一侧设置有正对安装孔11的弹性件211，弹性件211用于向载板 10抵顶基片30，以使基片30抵靠在承接部14上，从而将基片30固定在载板10和盖板20之间，避免基片30发生掉落。
55.本实施例中，参照图6至图8，承接部14包括固定板141和设置在固定板141上的抵顶件142，固定板141与安装平面111可拆卸连接，抵顶件142 具有与基片30抵顶的承接平面143。示例性的，固定板141可以为矩形平板，且固定板141的侧边与安装孔11相切，固定板141上可以设置有通孔，相应地，安装平面111上可以设置有正对通孔的配合孔，配合孔内具有内螺纹，以便通过螺栓等螺纹紧固件穿过通孔与配合孔配合，从而将固定板141安装在安装平面111上。由于抵顶件142设置在固定板141上，抵顶件142也位于安装孔11边缘，且抵顶件142能够与安装孔11内的基片30抵接。在盖板 20与载板10连接时，盖板20将基片30压紧在抵顶件142的承接平面143 上，从而实现基片30的固定，防止基片30掉落。
56.通过固定板141与安装平面111可拆卸连接，以便于承接部14在安装平面111上拆卸，有利于随时对承接部14进行更换，进而提高载片装置的使用寿命。当然，在一些其他的实施例中，固定板141还可以焊接在安装平面111 上，以便提高固定板141和安装平面111之间的连接强度。
57.值得说明的是，安装孔11内的基片30的一侧与盖板20的弹性件211抵接，而另一侧与抵顶件142的承接平面143抵接，且与承接平面143抵接的一侧即为基片30的待镀膜表面。进一步地，承接平面143与安装平面111之间可以具有预设距离，以使部分基片30能够从安装孔11内伸出，以使基片 30的待镀膜表面与安装平面111之间具有一定距离，避免了安装平面111污染基片30的待镀膜表面。
58.当然，在一些其他的实施例中，安装平面111与承接平面143也可以共面，此时基片30的待镀膜表面与安装平面111也共面。
59.本实施例中，抵顶件142可以包括第一立柱1421和第二立柱1422。示例性地，第一立柱1421和第二立柱1422的结构可以大致为矩形柱，且第一立柱1421和第二立柱1422大致
构成“l”型结构。具体来说，第一立柱1421 的一端可以与固定板141连接，第一立柱1421的另一端可以与第二立柱1422 连接，且第一立柱1421的延伸方向垂直于安装平面111，第二立柱1422的延伸方向平行于安装平面111。承接平面143可以位于第二立柱1422靠近安装平面111的一侧，以便通过第二立柱1422承接基片30。
60.本实施例中，第一立柱1421在其延伸方向上的长度为第一距离h1，第一距离h1可以包括0.5mm-2mm，例如可以为0.5mm、1mm以及2mm，以便进一步避免了安装平面111污染基片30的待镀膜表面。第二立柱1422在其延伸方向上的长度为第二距离h2，第二距离h2可以包括1mm-5mm，例如可以为 1mm、3mm以及5mm，以便保证第二立柱1422上的承接平面143与基片30的接触面积，进而保证基片30的稳定性，进一步避免基片30从载板10和盖板 20中掉落。
61.在一种具体的实现方式中，固定板141、第一立柱1421以及第二立柱1422 可以为一体成型。例如固定板141、第一立柱1421以及第二立柱1422可以通过金属板冲压并且折弯制作而成，从而有利于提高承接部14的结构强度，进而提高承接部14的使用寿命。
62.在一些其他的实施例中，抵顶件142还可以为圆弧形平板，圆弧形平板所对应的圆心位于抵顶件142靠近安装平面111的一侧，则抵顶件142背离固定板141的一端具有与基片30的待镀膜表面接触的承接部14，且承接部 14与安装平面111之间具有一定距离。且承接部14与基片30的待镀膜表面之间为线接触。当然，抵顶件142还可以能够抵接基片30的其他结构。
63.本实施例中，承接部14的数量至少为三个，且沿安装孔11边缘的周向均匀设置。值得说明的是，在需要基片30垂直水平面放置并且搬送的情况下，设置至少三个承接部14，且承接部14沿安装孔11边缘的周向均匀设置，能够保证基片30多处受力，且沿安装孔11周向的受力均匀，有利于进一步提高基片30的稳定性，进一步避免基片30从盖板20和载板10之间掉落。如图所示，图中设置有四个承接部14，且四个承接部14均匀设置在安装孔11 的边缘。值得说明的是，可以通过调节承接部14的数量从而进一步调节基片 30的稳定性。
64.本实施例中，弹性件211为金属片，金属片的第一端与盖板20螺纹连接，金属片的第二端朝远离盖板20的方向弯折。金属片的第二端用于与基片30 接触，盖板20与载板10连接时，金属片的第二端与基片30接触，且在接触力的作用下，金属片的第二端向靠近盖板20的方向发生弹性形变，以使基片 30被压紧在承接部14上；将盖板20从载板10上拆卸下时，盖板20脱离载板10，金属片的第二端脱离基片30，且金属片在弹性恢复力的作用下恢复到原始状态。本实施例中，金属片可以为铝、铜等金属，通过金属片与盖板20 可拆卸的连接在一起，可以随时对金属片进行替换，有利于延长盖板20的使用寿命。
65.在一些其他的实施例中，弹性件211还可以为橡胶弹性柱，橡胶弹性柱的一端可以粘接在盖板20靠近载板10的一侧，橡胶弹性柱的另一端正对安装孔11，以便于安装孔11内的基片30抵接，以使基片30的另一侧压紧在承接部14上。在另一些其他的实施例中，弹性件211还可以为弹簧，弹簧的一端可以粘接在盖板20靠近载板10的一侧，弹簧的另一端正对安装孔11，以便于安装孔11内的基片30抵接，以使基片30的另一侧压紧在承接部14 上。
66.本实施例中，弹性件211的数量为多个，多个弹性件211构成弹性组件 21。如图所示，本实施例中，弹性组件21中可以包括4个弹性件211，其中，弹性件211均正对载板10的安装孔11，且弹性件211沿安装孔11的周向方向均匀设置，以便基片30与弹性件211接触的一
侧多处受力，且沿安装孔 11周向的受力均匀，有利于进一步提高基片30的稳定性，进一步避免基片 30从盖板20和载板10之间掉落。值得说明的是，可以通过调节弹性组件21 中弹性件211的数量从而进一步调节基片30的稳定性。
67.当然，在一些其他的示例中，弹性组件21中的多个弹性件211还可以阵列分布，在此不进行具体的限定。
68.本实施例中，载板10设置有多个安装孔11，在盖板20上对应每个安装孔11均设置有一个弹性组件21。如图所示，载板10上可以设置有11个安装孔11，盖板20上设置有11个弹性组件21，每个弹性组件21均正对应一个安装孔11。通过设置多个安装孔11，能够在载板10上同时安装多个基片 30，并且通过在盖板20上设置多个对应的弹性组件21，可以保证每个安装孔11内的基片30固定在盖板20和载板10内，进而有利于在溅射设备的反应腔体内同时加工多个基片30，提高了制作效率，降低了制作成本。
69.示例性地，多个安装孔11可以在载板10上阵列分布，相应地，多个弹性组件21也可以在盖板20上阵列分布，从而进一步提高载板10上单位面积内安装孔11的数量。值得说明的是，可以通过调节安装孔11和弹性组件21 的数量，进一步调节载片装置内可安装的基片30的数量。
70.本实施例中，载板10设置有螺纹孔12，盖板20设置有正对螺纹孔12 的固定孔22，盖板20和载板10通过螺纹紧固件连接。示例性的，载板10 可以设置有4个螺纹孔12，且4个螺纹孔12呈阵列排布，值得说明的是，所有安装孔11均位于4个螺纹孔12围设成的四边形内；相应地，盖板20上设置有4个正对螺纹孔12的固定孔22，当使用螺栓紧固件将螺纹孔12与固定孔22连接在一起时，盖板20与载板10也盖合在一起，且弹性组件21与安装孔11上的承接部14配合，使得基片30被固定。
71.通过设置螺纹孔12和固定孔22，使得载板10和盖板20进行螺纹连接，有利于随时对将盖板20与载板10进行拆装，螺纹连接还有利于提高载板10 与盖板20的连接可靠性。
72.本实施例中，载板10的一侧还设置有多个连接孔13，连接孔13内具有内螺纹，以便通过与内螺纹配合的螺栓将载板10和溅射设备的转移基座连接在一起，转移基座用于带动载片装置移动，以便将载片装置搬送至溅射设备的反应腔体内，或者，将载片装置从溅射设备的反应腔体内搬送出来。
73.下面简要描述本实用新型实施例提供的载片装置的使用过程：
74.首先，将载板10水平放置，并使其安装平面111朝下放置；然后，将基片30放置进安装孔11内，再将盖板20与载板10连接，使得基片30被压紧在承接部14和弹性件211之间。然后，将安装有基片30的载片装置垂直于水平面放置，并将载板10于转移基座连接在一起，以便将载片装置搬送至溅射设备的反应腔体内进行镀膜。
75.在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
76.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型实施例的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
77.在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
78.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
79.最后应说明的是：以上实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其进行限制；尽管参照前述实施方式对本实用新型已经进行了详细的说明，但本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施方式技术方案的范围。