金属氧化物单晶制造装置

技术特征：
1.一种金属氧化物单晶制造装置，其是在氧化气氛下以1500℃以上的温度将炉内加热的金属氧化物单晶制造装置，其特征在于，该制造装置具备：发热体，对炉内进行加热；吸气管，设置在所述炉中的下部侧，将所述炉的内外连通；排气管，设置在所述炉中的上部侧，将所述炉的内外连通；管道，设置在比所述炉靠上方的位置；以及排气扇和有害物质除去装置，设置在所述管道的中途。2.如权利要求1所述的金属氧化物单晶制造装置，其特征在于，所述排气管的上端部与所述管道的下端部分离且相向地设置。3.如权利要求1或2所述的金属氧化物单晶制造装置，其特征在于，该制造装置进一步具备包围所述炉的上方和侧方的包围部，所述管道的下端部连结于设置在所述包围部的上部的开口部。4.如权利要求1～3中任一项所述的金属氧化物单晶制造装置，其特征在于，所述发热体是电阻加热发热体或利用高频感应加热的发热体。5.如权利要求1～4中任一项所述的金属氧化物单晶制造装置，其特征在于，所述炉为垂直布里奇曼炉。6.如权利要求1～5中任一项所述的金属氧化物单晶制造装置，其特征在于，所述金属氧化物为氧化镓。

技术总结
本发明的课题在于提供一种金属氧化物单晶制造装置，其能够防止在氧化气氛的高温炉内生成的以氮氧化物为例的有害物质向炉周围的扩散。本发明的金属氧化物单晶制造装置(10)是在氧化气氛下以1500℃以上的温度将炉(14)内加热的金属氧化物单晶制造装置(10)，其具备：对炉(14)内进行加热的发热体(34)；设置在上述炉(14)中的下部侧、将上述炉(14)的内外连通的吸气管(24)；设置在上述炉(14)中的上部侧、将上述炉(14)的内外连通的排气管(26)；设置在比上述炉(14)靠上方的位置的管道(36)；以及设置在上述管道(36)的中途的排气扇(38)和有害物质除去装置(40)。质除去装置(40)。质除去装置(40)。


技术研发人员：干川圭吾 太子敏则 小林拓实 大塚美雄 大叶悦子
受保护的技术使用者：国立大学法人信州大学
技术研发日：2022.01.26
技术公布日：2022/7/29