一种芯片自动下料输送装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种芯片自动下料输送装置，适用于半导体芯片制造领域的生产。


背景技术：

2.广义上称呼芯片实际都是经过封装后形成的封装芯片，芯片本体通过放置在载具台上然后进行键合，键合是将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使芯片键合成为一体的技术；芯片键合需要成批生产，因此在准备键合过程中是将芯片放入相应的载具内，再将载具放置到能够键合的载具台上，键合结束后再人工将载具移走至载具容纳盒内，最后装满的载具容纳盒再由工人从工位上移走换上空的载具容纳盒，载具容纳盒包括一个盒体，盒体的一侧面开口且滑动安装有挡板，盒体的上端设置有盒体手柄，盒体内设置有若干各个用于放置载具的放置槽，目前并没有一套自动化装置能够代替人工进行载具的键合上料以及在键合完成后将载具放入载具容纳盒，并且还能进行载具容纳盒的输送


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是：一种芯片自动下料输送装置，该装置能够自动夹持装满未键合载具的载具容纳盒至吸附工位，通过机器将载具从载具容纳盒内逐个取出送至键合工位，待键合完成后再放回载具容纳盒内，再将装满键合完载具的载具容纳盒夹持到输送带上输送至下一工序，减轻劳动力，提高生产效率。
4.为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种芯片自动下料输送装置，包括芯片载具转移输送装置和容纳盒转移输送装置，所述芯片载具转移输送装置包括吸附支撑架，载具台，载具容纳盒和工作台，所述载具台和载具容纳盒分别放置于工作台上的键合工位和吸附工位，所述载具台上设有开口槽，所述开口槽的上料端设置有方便载具抽出的装配口；所述载具容纳盒设有若干个用于插入载具的载具容纳槽，所述吸附支撑架上固定安装有沿水平x方向延伸的x导轨，所述x导轨上沿x方向滑动安装有x滑块，所述x滑块由x动力装置驱动在键合工位和吸附工位之间往复移动；所述x滑块上固定安装有沿竖直z方向延伸的z导轨，所述z导轨上滑动安装有由z动力装置驱动的z滑块，所述z滑块上固定安装有沿水平y方向延伸的第一y导轨，所述第一y 导轨上滑动安装有由第一y动力装置驱动的第一y滑块，所述第一y 滑块上设有移动载具的吸取装置；
5.所述容纳盒转移输送装置包括机架，所述机架上安装有送料装置用于将载具容纳盒输沿x轴方向逐个输送至上料工位，所述送料装置上方设有夹持移动装置，所述工作台上的吸附工位与送料装置上的上料工位对应；所述夹持移动装置包括固定安装于夹持支撑架上一条沿水平y方向延伸的第二y导轨，所述第二y导轨上沿水平y方向滑动安装有第二y滑块，所述第二y滑块由第二y动力装置驱动在吸附工位与上料工位之间往复移动；所述第二y滑块上绕竖直z轴旋转安装有旋转座，所述第二y滑座上安装有驱动旋转座往复偏转的偏转
动力装置，所述旋转座上沿竖直z轴滑动安装有用于夹持载具容纳盒上的盒体手柄的容纳盒夹持机构和用于夹持载具容纳盒上的挡板的挡板夹持机构。
6.作为一种优选的方案，所述吸附支撑架固定连接于工作台上，所述 x滑块包括第一x滑块和第二x滑块，所述x导轨包括第一x导轨和第二x导轨，所述第一x导轨位于吸附支撑架上部，所述第二x导轨位于吸附支撑架下部，所述第一x滑块滑动安装于第一x导轨上，所述第二x滑块滑动安装于第二x导轨上，所述第一x滑块和第二x滑块之间设置有同步杆，所述x动力装置安装于第一x导轨上与第一x滑块传动连接或安装于第二导轨上与第二x滑块之间传动连接，所述z导轨安装于第一x滑块和第二x滑块之间。
7.作为一种优选的方案，所述吸取装置包括吸盘、连接架和导杆，所述导杆固定于第一y滑块上，所述连接架设置于导杆的一端，所述吸盘的数量为多个且设置于连接架上，每个吸盘与载具上表面的空白区域对应。
8.作为一种优选的方案，所述送料装置包括转动安装于机架上的第一主动带轮和第一从动带轮，所述第一主动带轮和第一从动带轮之间安装有循环输送带，所述第一主动带轮与送料动力装置传动连接，所述循环输送带上固定有若干套间隔设置的用于卡装载具容纳盒的容纳盒卡具。
9.作为一种优选的方案，所述机架上固定有四根平行且间隔设置的支撑条，所述支撑条支撑载具容纳盒的底面，所述循环输送带的上带面处于支撑条的下方，每个容纳盒卡具均包括四个限位凸起，所述四个限位凸起通过连接结构固定于循环输送带的外侧面，四个限位凸起共同形成了限定载具容纳盒的放置区域，所述连接结构与支撑条之间的间隙位置对应使限位凸起运行到支撑台的上方。
10.作为一种优选的方案，所述容纳盒夹持机构包括固定安装在旋转座上的第一伸缩动力装置，所述第一伸缩动力装置的动力端安装有用于夹持载具容纳盒上的盒体手柄的第一气动夹具；所述挡板夹持机构包括固定安装在旋转座上的第二伸缩动力装置，所述第二伸缩动力装置的动力端安装有用于夹持挡板的提手的第二气动夹具。
11.作为一种优选的方案，所述第一气动夹具包括固定在第一伸缩动力装置的动力端上的第一双轴气缸，所述第一双轴气缸的活塞杆上固定有一对手柄夹爪，盒体手柄所述手柄夹爪夹紧后形成了方便夹取载具容纳盒上的盒体手柄的盒体手柄卡槽。
12.作为一种优选的方案，所述第二气动夹具包括固定在第二伸缩动力装置的动力端的第二双轴气缸和固定在第二双轴气缸活塞杆上的一对挡板夹爪，所述挡板上的提手为拱桥形，所述一对挡板夹爪的下端设置有相互配合的夹板，所述夹板的相对侧均设有相互配合的弧形凸起和弧形限位条，所述弧形限位条位于弧形凸起的上方，所述挡板夹爪在夹持时弧形凸起处于所述提手的孔内且夹板相对的侧面与提手侧面接触，所述弧形限位条与所述提手的上端部定位配合。
13.作为一种优选的方案，所述工作台数量为两个且分别位于送料装置两侧，每个工作台上均设有吸附工位，所述吸附工位上设有方便定位的定位框。
14.作为一种优选的方案，所述载具台上设置有x方向或者y方向的条形孔，所述工作台上对应设置有y方向或者x方向的安装条孔，所述载具台通过约束于条形孔和安装条孔内的螺栓固定于工作台上。
15.采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于芯片自动下料输送装置，包括
芯片载具转移输送装置和容纳盒转移输送装置，所述芯片载具转移输送装置包括吸附支撑架，载具台，载具容纳盒和工作台，所述载具台和载具容纳盒分别放置于工作台上的键合工位和吸附工位，所述载具台上设有开口槽，所述开口槽的上料端设置有方便载具抽出的装配口；所述载具容纳盒设有若干个用于插入载具的载具容纳槽，所述吸附支撑架上固定安装有沿水平x方向延伸的x导轨，所述x导轨上沿x方向滑动安装有x滑块，所述x滑块由x动力装置驱动在键合工位和吸附工位之间往复移动；所述x滑块上固定安装有沿竖直z方向延伸的z导轨，所述z导轨上滑动安装有由z动力装置驱动的z滑块，所述z滑块上固定安装有沿水平y方向延伸的第一y导轨，所述第一y 导轨上滑动安装有由第一y动力装置驱动的第一y滑块，所述第一y 滑块上设有移动载具的吸取装置；
16.所述容纳盒转移输送装置包括机架，所述机架上安装有送料装置用于将载具容纳盒输沿x轴方向逐个输送至上料工位，所述送料装置上方设有夹持移动装置，所述工作台上的吸附工位与送料装置上的上料工位对应；所述夹持移动装置包括固定安装于夹持支撑架上一条沿水平y方向延伸的第二y导轨，所述第二y导轨上沿水平y方向滑动安装有第二y滑块，所述第二y滑块由第二y动力装置驱动在吸附工位与上料工位之间往复移动；所述第二y滑块上绕竖直z轴旋转安装有旋转座，所述第二y滑座上安装有驱动旋转座往复偏转的偏转动力装置，所述旋转座上沿竖直z轴滑动安装有用于夹持载具容纳盒上的盒体手柄的容纳盒夹持机构和用于夹持载具容纳盒上的挡板的挡板夹持机构；首先通过人工将准备键合芯片放入载具内，再将载具放入载具容纳盒内直至放满，将载具容纳盒放置在送料装置上逐个输送，当输送至上料工位时，送料装置停止移动，第二y动力装置驱动第二y滑块沿y导轨向上料工位移动，通过偏转动力装置将容纳盒夹持机构和挡板夹持机构对准载具容纳盒的盒体手柄和挡板，夹取后向吸附工位移动，先由偏转动力装置将夹持的载具容纳盒偏转至所需朝向，再通过容纳盒夹持机构和挡板夹持机构将载具容纳盒放置在吸附工位上，接着由挡板夹持机构将挡板提起；这时芯片载具转移输送装置开始工作，首先通过x动力装置驱动x滑块滑动至吸附工位，接着z动力装置驱动z滑块调整高度使第一y动力装置驱动第一y滑块带动吸取装置伸入载具容纳槽的间隔之中，z滑块再缓慢下降，使吸取装置与载具表面贴合，吸取装置将载具吸附，接着使 y滑块缓缓缩回，x滑块开始向键合工位移动，待移动至键合工位后，通过z滑块调整高度，y滑块带动吸取装置使载具从载具台的装配口放入开口槽，y滑块带动吸取装置缩回，键合装置开始工作，键合完成后，吸取装置伸出，吸附键合好的载具，从装配口抽出，x滑块返回吸附工位，吸取装置带动载具放回相信的载具容纳槽，重复上述操作直至载具容纳盒内的载具完成键合，夹持装置将挡板放下，并夹持工作台上的载具容纳盒至上料工位，送料装置开始输送，键合完成的载具容纳盒向下一道工序输送，未键合的载具容纳盒输送至上料工位继续进行上述操作；该装置能够输送装满未键合载具的载具容纳盒，通过机器完成载具的键合并输送至下一工序，并且通过偏转动力装置驱动旋转座旋转，从而可以改变载具容纳盒的摆放角度，使载具容纳盒的开口朝向指定位置，有效减少劳动力，减小人工操作可能出现的问题，实现芯片键合的自动化，提高生产效率。
17.又由于所述吸附支撑架固定连接于工作台上，所述x滑块包括第一 x滑块和第二x滑块，所述x导轨包括第一x导轨和第二x导轨，所述第一x导轨位于吸附支撑架上部，所述第二x导轨位于吸附支撑架下部，所述第一x滑块滑动安装于第一x导轨上，所述第二x滑块滑动安装于第二x导轨上，所述第一x滑块和第二x滑块之间设置有同步杆，所述x动力装置安
装于第一x导轨上与第一x滑块传动连接或安装于第二导轨上与第二x滑块之间传动连接，所述z导轨安装于第一x 滑块和第二x滑块之间，将第一x滑块和第二x滑块设在吸附支撑架上，同步杆保持了第一x滑块和第二x滑块在滑动过程中的同步性，使 z导轨在沿x方向移动过程中连接更稳固。
18.又由于所述吸取装置包括吸盘、连接架和导杆，所述导杆固定于第一y滑块上，所述连接架设置于导杆的一端，所述吸盘的数量为多个且设置于连接架上，每个吸盘与载具上表面的空白区域对应，连接架连接多个吸盘，固定了吸盘的位置，方便与导杆固定进行吸附。
19.又由于所述送料装置包括转动安装于机架上的第一主动带轮和第一从动带轮，所述第一主动带轮和第一从动带轮之间安装有循环输送带，所述第一主动带轮与送料动力装置传动连接，所述循环输送带上固定有若干套间隔设置的用于卡装载具容纳盒的容纳盒卡具，利用循环输送带具有连续性好，高效率的优点，容纳盒卡具能够循环运输载具容纳盒。
20.又由于所述机架上固定有四根平行且间隔设置的支撑条，所述支撑条支撑载具容纳盒的底面，所述循环输送带的上带面处于支撑条的下方，每个容纳盒卡具均包括四个限位凸起，所述四个限位凸起通过连接结构固定于循环输送带的外侧面，四个限位凸起共同形成了限定载具容纳盒的放置区域，所述连接结构与支撑条之间的间隙位置对应使限位凸起运行到支撑台的上方，这样通过支撑条支撑载具容纳盒再由限位凸起来限定载具容纳盒位置并输送，使得送料装置输送稳定准确，限位凸起在放置载具容纳盒时也方便快捷。
21.又由于所述第一气动夹具包括固定在第一伸缩动力装置的动力端上的第一双轴气缸，所述第一双轴气缸的活塞杆上固定有一对手柄夹爪，盒体手柄所述手柄夹爪夹紧后形成了方便夹取载具容纳盒上的盒体手柄的盒体手柄卡槽，这样在夹取时能有效避免载具容纳盒的晃动，并且夹持牢固。
22.又由于所述第二气动夹具包括固定在第二伸缩动力装置的动力端的第二双轴气缸和固定在第二双轴气缸活塞杆上的一对挡板夹爪，所述挡板上的提手为拱桥形，所述一对挡板夹爪的下端设置有相互配合的夹板，所述夹板的相对侧均设有相互配合的弧形凸起和弧形限位条，所述弧形限位条位于弧形凸起的上方，所述挡板夹爪在夹持时弧形凸起处于所述提手的孔内且夹板相对的侧面与提手侧面接触，所述弧形限位条与所述提手的上端部定位配合，通过弧形凸起能够与提手孔内配合能使挡板在夹起时不发生晃动，确保了下落时的精确度，弧形限位条能够在挡板插入载具容纳盒时固定挡板位置并给一个适当的下压力使挡板能准确插入载具容纳盒内。
23.又由于所述工作台数量为两个且分别位于送料装置两侧，每个工作台上均设有吸附工位，所述吸附工位上设有方便定位的定位框，设有两个工作台能够有效增大工作效率，设置定位框在每次放置载具容纳盒时能准确摆放。
24.又由于所述载具台上设置有x方向或者y方向的条形孔，所述工作台上对应设置有y方向或者x方向的安装条孔，所述载具台通过约束于条形孔和安装条孔内的螺栓固定于工作台上，使得载具台能够沿x方向或y方向调节位置，大大的提高了灵活性。
附图说明
25.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
26.图1是本实用新型实施例的立体图；
27.图2是本实用新型实施例的主视图；
28.图3是本实用新型实施例的左视图
29.图4是本实用新型实施例的送料装置的立体图；
30.图5是单侧芯片载具转移输送装置的俯视图；
31.图6是载具容纳盒挡板开启时的示意图；
32.图7是第一气动夹具和第二气动夹具的局部视图；
33.附图中：1、吸附支撑架；2、a工作台；3、b工作台；4、第一ax 滑块；5、第二ax滑块；6、第一ax导轨；7、第二ax导轨；8、ax 伺服电机；9、ax丝杠螺母机构；10、az导轨；11、az伺服电机；12、 az丝杠螺母机构；13、az滑块；14、第一ay导轨；15、第一ay滑块；16、a直线模组；17、第一bx滑块；18、第二bx滑块；19、第一bx导轨；20、第二bx导轨；21、bx伺服电机；22、bx丝杠螺母机构；23、bz导轨；24、bz伺服电机；25、bz丝杠螺母机构；26、 bz滑块；27、第一by导轨；28、第一by滑块；29、b直线模组；30、载具台；301、开口槽；302、装配口；31、载具容纳盒；311、载具容纳槽；32、盒体手柄；33、挡板；331、提手；34、键合工位；35、吸附工位；36、a同步杆；37、b同步杆；38、a吸盘；39、b吸盘；40、 a连接架；41、b连接架；42、a导杆；43、b导杆；44、定位框；441、 y定位板；442、x定位板；45、条形孔；46、安装条孔；
34.47、机架；48、夹持支撑架；49、上料工位；50、第一主动带轮； 51、第一从动带轮；52、循环输送带；53、无刷电机；54、容纳盒卡具； 541、限位凸起；55、y伺服电机；56、y丝杠螺母机构；57、第二y 导轨；58、第二y滑块；59、第一连接板；60、回转气缸；61、旋转座； 62、第二连接板；63、第一单轴气缸；64、第二单轴气缸；65、第一双轴气缸；66、手柄夹爪；67、第二双轴气缸；68、挡板夹爪；681、弧形凸起；682、弧形限位条；69、支撑条。
具体实施方式
35.下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。
36.如图1至图7所示，一种芯片自动下料输送装置，包括芯片载具转移输送装置和容纳盒转移输送装置，所述芯片载具转移输送装置包括吸附支撑架1，载具台30，载具容纳盒31和工作台，所述载具台30和载具容纳盒31分别放置于工作台上的键合工位34和吸附工位35，所述载具台30上设有开口槽301，所述开口槽301的上料端设置有方便载具抽出的装配口302；所述载具容纳盒31设有若干个用于插入载具的载具容纳槽311，所述吸附支撑架1上固定安装有沿水平x方向延伸的x导轨，所述x导轨上沿x方向滑动安装有x滑块，所述x滑块由x动力装置驱动在键合工位34和吸附工位35之间往复移动；所述x滑块上固定安装有沿竖直z方向延伸的z导轨，所述z导轨上滑动安装有由z动力装置驱动的z滑块，所述z滑块上固定安装有沿水平y方向延伸的第一y 导轨，所述第一y导轨上滑动安装有由第一y动力装置驱动的第一y 滑块，所述第一y滑块上设有移动载具的吸取装置；
37.所述容纳盒转移输送装置包括机架47，所述机架47上安装有送料装置用于将载具容纳盒31输沿x轴方向逐个输送至上料工位49，所述送料装置上方设有夹持移动装置，所述工作台上的吸附工位35与送料装置上的上料工位49对应；所述夹持移动装置包括固定安装于夹持支撑架48上一条沿水平y方向延伸的第二y导轨57，所述第二y导轨 57上沿水平y方向滑动安装有第二y滑块58，所述第二y滑块58由第二y动力装置驱动在吸附工位35与上料
工位49之间往复移动；所述第二y滑块58上绕竖直z轴旋转安装有旋转座61，所述第二y滑座上安装有驱动旋转座61往复偏转的偏转动力装置，所述旋转座61上沿竖直z轴滑动安装有用于夹持载具容纳盒31上的盒体手柄32的容纳盒夹持机构和用于夹持载具容纳盒31上的挡板33的挡板夹持机构。
38.在本实施例中，所述芯片载具转移输送装置数量为两组，所述机架 47沿x方向放置，所述工作台包括a工作台2和b工作台3，分别位于送料装置两侧，所述每个工作台上均设有吸附工位35，所述两个吸附工位35上的载具容纳盒31开口均朝外打开，因此吸附支撑架1为a吸附支撑架和b吸附支撑架；所述吸附支撑架1固定连接于工作台上，所述a工作台2上包括第一ax滑块4和第二ax滑块5，所述第一ax 滑块4和第二ax滑块5分别沿x方向滑动安装在第一ax导轨6和第二ax导轨7，所述第一ax导轨6位于a吸附支撑架上部，所述第二ax导轨7位于a吸附支撑架下部，所述第一ax滑块4和第二ax滑块5之间设置有a同步杆36，所述第一ax滑块4和第二ax滑块5 由ax动力装置驱动，所述ax动力装置驱动安装于第一ax导轨6上与第一ax滑块4传动连接或安装于第二ax导轨7上与第二ax滑块 5之间传动连接，所述第一ax滑块4和第二ax滑块5之间固定安装有az导轨10，所述采用第一ax导轨6和第二ax导轨7与单个ax 导轨相比，能够将单个ax导轨上所承受的压力分摊到两个ax导轨上，大大提高了装置的安全性，同时a同步杆36保持了第一ax滑块4和第二ax滑块5在滑动过程中的同步性，使第一ax滑块4和第二ax 滑块5在沿x方向移动过程中连接更稳固，因此所述第一ax滑块4或第二ax滑块5由ax动力装置驱动，再通过a同步杆36带动第二ax 滑块5或第一ax滑块4一起移动，这样az导轨10固定安装于第一 ax滑块4和第二ax滑块5之间使得与第一ax滑块4和第二ax滑块5同时沿x方向移动。
39.进一步的，所述az导轨10固定安装在a同步杆36上，使装置结构紧凑并且az导轨10能够与a同步杆36同时移动，所述az导轨10 上滑动安装的az滑块13由az动力装置驱动，能够沿z方向往复滑动，所述az滑块13上固定安装有第一ay导轨14，所述第一ay导轨14 上滑动安装有第一ay滑块15，所述第一ay滑块15由第一ay动力装置驱动沿y方向往复滑动；进一步的，所述az动力装置包括az伺服电机11和az丝杠螺母机构12，所述az伺服电机11固定在az导轨 10的一端，az丝杠螺母机构12的az丝杠与az伺服电机11的输出轴连接，所述az丝杠螺母机构12的螺母与az滑块13固定连接，所述ax动力装置与az动力装置相同，包括ax伺服电机8和ax丝杠螺母机构9，所述az伺服电机11和ax伺服电机8在驱动第一ax滑块4、第二ax滑块5和az滑块13时能运转平稳，具有较强的过载能力，提高安全性，并且与ax丝杠螺母机构9和az丝杠螺母机构12配合能使移动更精确；所述第一ay动力装置采用a直线模组16，因此能有效减小装置体积，运动更方便；当然第一ay动力装置也可以与上述 ax动力装置与az动力装置相同。
40.同理，所述b工作台3上固定安装有b吸附支撑架，所述b吸附支撑架上固定安装有第一bx导轨19和第二bx导轨20，第一bx滑块 17和第二bx滑块18分别滑动安装于第一bx导轨19和第二bx导轨 20上，由bx动力机构驱动往复滑动，所述第一bx滑块17和第二bx 滑块18上固定安装有b同步杆37，bz导轨23固定安装于b同步杆37 上，所述bz导轨23上滑动安装有bz滑块26，bz动力机构驱动bz 滑块26在bz导轨23上往复滑动，所述bx动力机构和bz动力机构相同，所述bx动机构包括bx伺服电机21和bx丝杠螺母机构22，所述 bz动力机构包括bz伺服电机24和bz丝杠螺母机构25，所述bz滑块26上固定安装有第一by导轨27，第一by动力
机构驱动第一by滑块28在第一by导轨27上往复滑动，所述第一by动力机构采用b直线模组29。
41.如图4所示，所述第一ay滑块15和第一by滑块28均设置有吸取装置，包括a吸取装置和b吸取装置，所述a吸取装置包括a吸盘 38、a连接架40和a导杆42，所述a导杆42固定于第一ay滑块15 上，所述a连接架40设置于a导杆42的一端，所述a吸盘38的数量为多个且设置于a连接架40上，每个a吸盘38与载具上表面的空白区域对应；所述b吸取装置与a吸取装置相同，不在过多描述。
42.进一步的，所述第一ay导轨14和第二by导轨上设有两块y滑块，两条导杆分别固定安装在两侧的两块y滑块上，如图4所示，载具台30的开口槽301和载具容纳盒31的载具容纳槽311具有一定的x向深度，因此只有一个y滑块驱动单个导杆移动时可能会发固定不牢，从而使载具不能快速下料，并且在吸盘吸附时，需要一个适当的下压力，采用两块y滑块能减小力臂，大大减少了单y滑块所承受的压力，因此通过两个y滑块能很好的改善上述问题。
43.在本实施例中，以b吸取装置为例，所述多个b吸盘39处于矩形的四个顶点上，所述对个b吸盘由b连接架41连接，所述b连接架41 与b导杆43连接，所述b吸盘39为四个，载具为矩形状，中间设有若干个间隔排列的芯片放置槽，所述空白区域在载具表面四周，这样b吸盘39就能通过空白区域将载具吸住；当然，b吸盘39可以有若干个并且能组成任意形状，只需保持吸附时，载具在移动过程中能够保持平衡，不发生晃动，例如采用三个b吸盘39可以组成三角形，吸住空白区域三个点也能将载具吸取。
44.如图2所示，所述第二y滑块58滑动安装于第二y导轨57上由第二y动力装置驱动，所述第二y动力装置包括y伺服电机55和y丝杠螺母机构56，所述y伺服电机55固定在第二y导轨57的一端，y丝杠螺母机构56的丝杠与y伺服电机55的输出轴连接，所述y丝杠螺母机构56的螺母与第二y滑块58固定连接；所述偏转动力装置包括回转气缸60，所述回转气缸60通过第一连接板59与第二y滑块58侧面连接，所述回转气缸60驱动旋转座61往复偏转任意角度，所述容纳盒夹持机构和挡板夹持机构通过第二连接板62固定安装在旋转座61上，与旋转座61同步转动。
45.如图3所示，所述送料装置包括转动安装于机架47上的第一主动带轮50和第一从动带轮51，所述第一主动带轮50和第一从动带轮51 之间安装有循环输送带52，所述第一主动带轮50与送料动力装置传动连接，所述循环输送带52上固定有若干套间隔设置的用于卡装载具容纳盒31的容纳盒卡具54；所述送料动力装置包括无刷电机53，这样能使循环输送带52在输送过程中可控性强，运动稳定性好并且无刷电机 53寿命长，成本低，大大提高了生产效率，使效益最大化，当然送料动力装置还可以采用步进电机或其他动力装置。
46.在本实施例中，所述机架47上固定有四根平行且间隔设置的支撑条69，所述支撑条69支撑载具容纳盒31的底面，所述循环输送带52 的上带面处于支撑条69的下方，每个容纳盒卡具54均包括四个限位凸起541，所述四个限位凸起541通过连接结构固定于循环输送带52的外侧面，四个限位凸起541共同形成了限定载具容纳盒31的放置区域，所述连接结构与支撑条69之间的间隙位置对应使限位凸起541运行到支撑台的上方，通过连接结构使循环输送带52能驱动限位凸起541，并且通过支撑条69代替循环输送带52支撑载具容纳盒31能提高循环输送带52的使用寿命并且能使在输送过程平稳性更好，所述连接结构采用螺钉连接或其他能够连接两端的装置。
47.如图1和图2所示，所述容纳盒夹持机构包括固定安装在旋转座61 上的第一伸缩动力装置，所述第一伸缩动力装置的动力端安装有用于夹持载具容纳盒31上的盒体手柄32的第一气动夹具；所述挡板夹持机构包括固定安装在旋转座61上的第二伸缩动力装置，所述第二伸缩动力装置的动力端安装有用于夹持挡板33的提手331的第二气动夹具。
48.在本实施例中，所述第一伸缩动力装置包括第一单轴气缸63，所述第一单轴气缸63通过第二连接固定安装于旋转座61中心，这样在回转时能保证载具容纳盒31的中心与回转气缸60同轴，并且载具容纳盒31 在移动时不需要上升过多，只需大于限位凸起541高度，因此第一单轴气缸63行程不需要过大；所述第二伸缩动力装置包括第二单轴气缸64，如图2和图4所示，所述载具容纳盒31在进行载具的放置时，挡板33 需要提起至不阻碍载具的放置，因此第二单轴气缸64的行程为载具容纳盒31的最大高度，所以第二单轴气缸64通过连接板连接于旋转座61 上且高于第一单轴气缸63；并且第一气动夹具和第二气动夹具之间的距离与盒体手柄32和提手331之间的距离相同，这样通过第一气动夹具和第二气动夹具夹持相应的载具容纳盒31的盒体手柄32和提手331，在通过y伺服电机55驱动y丝杠螺母机构56带动第二y滑块58向吸附工位35移动，并且回转气缸60能够调整载具容纳盒31开口方向，方便工作台开口方向的要求。
49.如图6所示，所述第一气动夹具包括固定在第一伸缩动力装置的动力端上的第一双轴气缸65，所述第一双轴气缸65的活塞杆上固定有一对手柄夹爪66，盒体手柄32所述手柄夹爪66夹紧后形成了方便夹取载具容纳盒31上的盒体手柄32的盒体手柄32卡槽，这样通过双轴气缸带动手柄夹爪66收缩，使手柄夹爪66的卡槽与盒体手柄32接触，这样牢牢夹住了载具容纳盒31，提起时不会发生发动，保证了在放置载具容纳盒31时的准确度；
50.所述第二气动夹具包括固定在第二伸缩动力装置的动力端的第二双轴气缸67和固定在第二双轴气缸67活塞杆上的一对挡板夹爪68，所述挡板33上的提手331为拱桥形，所述一对挡板夹爪68的下端设置有相互配合的夹板，所述夹板的相对侧均设有相互配合的弧形凸起681和弧形限位条682，所述弧形限位条682位于弧形凸起681的上方，所述挡板夹爪68在夹持时弧形凸起681处于所述提手331的孔内且夹板相对的侧面与提手331侧面接触，所述弧形限位条682与所述提手331的上端部定位配合，所述夹板上的弧形凸起681与提手331的内孔半径相同，并且夹持后夹板侧面与提手331侧面接触，使得在夹起后，挡板33 不会发生晃动，与载具容纳盒31保持平稳移动，在将挡板33插入载具容纳盒31内时，通过弧形限位条682能够限制挡板33沿轴上下晃动，使挡板33能顺利插入载具容纳盒31内。
51.在本实施例中，所述吸附工位35上设有方便定位的定位框44，所述载具容纳盒31放置于定位框44内，所述定位框44包括一块y定位板441和两块x定位板442，所述两块x定位板442之间的距离与载具容纳盒31宽度相同，再由y定位板441限定载具容纳盒31y方向的位置，就完成了定位，大大提高生产时换载具容纳盒31的精确度。
52.如图1和图4所示，所述载具台30上设置有x方向或者y方向的条形孔45，所述工作台上对应设置有y方向或者x方向的安装条孔46，所述载具台30通过约束于条形孔45和安装条孔46内的螺栓固定于工作台上，通过条形孔45与安装条孔46的配合能将载具台30在x方向或y方向任意移动，使载具能适应多种不同的场合。
53.实用新型的工作原理：首先送料装置上的容纳盒卡具54放置若干个装满未键合载具的载具容纳盒31，接着在a工作台2上也放置一个装满未键合载具的载具容纳盒31，人工
将挡板33抽出，接着送料装置开始输送，同时a工作台2上的载具容纳盒31开始键合操作，ax伺服电机8驱动ax丝杠螺母机构9带动第一ax滑块4向吸附工位35滑动，通过a同步杆36与第二ax滑块5连接，使它们同步移动，接着安装于a同步杆36上的az导轨10也移动至吸附工位35，接着az伺服电机11驱动az丝杆螺母机构带动az滑块13上升，通过az滑块13使 a吸取装置对准任意载具容纳槽311的间隙，再通过第一ay滑块15带动a导杆42，使吸盘移动位于载具的吸附区域上方，接着az滑块13 下降，待a吸盘38与载具空白区域贴合，再适当下降，使a吸盘38 吸附牢固，再由第一ay滑块15缩回将载具抽出，接着由第一ax滑块4带动第二ax滑块5向键合工位34移动，到达键合工位34后，调整 az滑块13的高度，使吸附的载具对准载具台30的装配口302，第一 ay滑块15伸出使载具送入载具台30的开口槽301内，az滑块13升起，使a吸盘38脱离载具表面，再由第一ay滑块15缩回，待载具键合完毕，第一ay滑块15再伸出吸取载具，缩回后滑动回吸附工位35，放回至相应载具容纳槽311内，直至该载具容纳盒31内的载具均键合完毕；
54.这时送料装置将未键合载具的载具容纳盒31输送置上料工位49， y伺服机构驱动y丝杠螺母机构56向上料装置滑动，接着通过回转电机使第一单轴气缸63和第二单轴气缸64沿y方向排列并且手柄夹爪 66和挡板夹爪68与盒体手柄32和挡板33上部一一对应，接着第一单轴气缸63和第二单轴气缸64驱动手柄夹爪66和挡板夹爪68下降，到达位置，第一双轴气缸65驱动手柄夹爪66夹紧，第二双轴气缸67驱动挡板夹爪68夹紧，这时第一单轴气缸63和第二单轴气缸64升起，向b工作台3的吸附工位35移动，当第二y滑块58移动至b工作台3 的吸附工位35时，由回转气缸60驱动旋转座61带动第一单轴气缸63 和第二单轴气缸64顺时针回转90
°
，接着第一单轴气缸63和第二单轴气缸64驱动手柄夹爪66和挡板夹爪68下降，待载具容纳盒31底部落入工作台定位框44内后，松开手柄夹爪66并升起，挡板夹爪68夹持挡板33升起，第二y滑块58带动挡板夹爪68夹持挡板33移动至a 工作台2的吸附工位35，这时回转气缸60驱动旋转座61逆时针回转 180
°
，接着手柄夹爪66和挡板夹爪68下降，挡板夹爪68夹持的挡板 33落入载具容纳盒31内，再通过手柄夹爪66和挡板夹爪68将载具容纳盒31和挡板33同时夹起移动至上料工位49，将键合完成的载具容纳盒31放置到上料工位49后，送料装置将键合完的载具容纳盒31向下一工序输送；
55.又一个装有未键合载具的载具容纳盒31输送至上料工位49，接着与上述操作步骤相反，将上料工位49上的载具容纳盒31夹取，回转气缸60逆时针回转90
°
，再移至a工作台2的吸附工位35，同时b工作台3上的载具容纳盒31内载具开始键合，b工作台3上载具键合装置操作与a工作台2上相同，接着将a工作台2上载具容纳盒31的挡板33 抽出，并通过回转气缸60顺时针回转180
°
落入b工作台3上的载具容纳盒31内，再夹起移动至上料工位49输送至下一工序，上述步骤交替操作就能完成载具容纳盒31的转移。
56.以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。