用于划片机的工件冲洗装置及划片机的制作方法

1.本发明涉及半导体切割技术领域，尤其是涉及一种用于划片机的工件冲洗装置及划片机。


背景技术：

2.在半导体器件加工工序中，在长方形或圆形的表面上，通过横竖垂直分布的网格(切割道)划分出多个部分，每个部分为一个ic（integrated circuit）或lsi（large scale integration）器件，然后沿着切割道切割将每个部分分离开，从而制成一个个芯片，这种划切加工设备也称为精密砂轮切割机（简称划片机）。
3.划片机在切割的过程中会在工件表面残留切割粉末，为清洗该粉末需要设置相应的工件冲洗装置。现有划片机的清洗主要是内置或外置一种可旋转的切割工作台装置，通过上方悬挂的喷嘴喷洗冲刷工件，从而得到清洗效果。但是该清洗装置的各个喷嘴之间的压力差较大，冲洗效果有待提高；而且占用空间大，维护成本较高。


技术实现要素：

4.本发明实施例的目的在于提供一种用于划片机的工件冲洗装置及划片机，以解决现有划片机的清洗装置冲洗效果不佳且占用空间大的问题。
5.第一个方面，本发明实施例提供了一种用于划片机的工件冲洗装置，包括：至少一个水帘管组件；所述水帘管组件包括：水帘管、第一进水接头以及第二进水接头；所述第一进水接头与所述水帘管的一端连通，用于与外部水管连接；所述第二进水接头与所述水帘管的另一端连通，用于与外部水管连接；所述水帘管包括管套和嵌套在所述管套内的通水管组件，所述管套上设有沿轴向排布的多个第一喷水孔和多个第二喷水孔；多个所述第一喷水孔靠近所述第一进水接头设置，多个所述第二喷水孔靠近所述第二进水接头设置；所述通水管组件内包括多个长度不同的第一流道以及多个长度不同的第二流道，所述第一流道的一端与所述第一进水接头连通，另一端与所述第一喷水孔密封连通；所述第二流道的一端与所述第二进水接头连通，另一端与所述第二喷水孔密封连通。
6.可选地，所述通水管组件包括：通水管套、以及嵌套在所述通水管套内长度不同的多根第一通水管和长度不同的多根第二通水管；所述第一通水管的一端与所述第一进水接头对接，所述第一通水管的另一端的端部封堵、且在靠近所述端部的位置设有沿轴向排布的多个第一出水孔；所述通水管套上设有与所述第一出水孔一一对应的第一开孔，所述第一开孔与所述第一喷水孔密封连通，使得所述第一通水管形成所述第一流道；所述第二通水管的一端与所述第二进水接头对接，所述第二通水管的另一端的端部封堵、且在靠近所述端部的位置设有沿轴向排布的多个第二出水孔；所述通水管套上设有与所述第二出水孔一一对应的第二开孔，所述第二开孔与所述第二喷水孔密封连通，使得所述第二通水管形成所述第二流道。
7.可选地，所述通水管套的外表面沿轴向设有多个环形密封槽，所述第一开孔和所述第二开孔均位于相邻的所述环形密封槽之间；所述环形密封槽内套设有密封圈，所述密封圈的外圈与所述管套的内壁密封贴合，所述第一喷水孔和所述第二喷水孔均位于相邻的所述密封圈之间。
8.可选地，对于不同长度的多根所述第一通水管，不同所述第一通水管上的所述第一出水孔沿着所述通水管套的周向错位布置；和/或，对于不同长度的多根所述第二通水管，不同所述第二通水管上的所述第二出水孔沿着所述通水管套的周向错位布置。
9.可选地，对于不同长度的多根所述第一通水管，所述第一通水管上的第一出水孔的孔径与所述第一通水管的长度成反比；和/或，对于不同长度的多根所述第二通水管，所述第二通水管上的第二出水孔的孔径与所述第二通水管的长度成反比。
10.可选地，多根所述第一通水管的长度依次递增且长度差相等；多根所述第二通水管的长度依次递增且长度差相等；多根所述第一通水管与多根所述第二通水管在所述通水管套的两端对称设置。
11.可选地，所述第一喷水孔和第二喷水孔为梯形孔，所述梯形孔朝向所述管套外部一端的面积大于朝向所述管套内部一端的面积，所述梯形孔侧壁的倾斜角度为15
°
~25
°
。
12.可选地，所述水帘管组件的数量为两个，两个所述水帘管组件的所述第二进水接头相对设置且固定连接为一个整体。
13.第二个方面，本发明实施例还提供了一种划片机，包括：主轴、切割工作台和第一个方面所述的工件冲洗装置；所述工件冲洗装置用于对所述切割工作台上经所述主轴切割后的工件进行清洗。
14.可选地，所述第一喷水孔和所述第二喷水孔的喷射方向与所述切割工作台所在的平面之间的夹角为40
°
~50
°
。
15.本发明实施例至少具有以下技术效果：本发明实施例提供的用于划片机的工件冲洗装置，通过在水帘管的两端分别设置进水接头，可以缩短水流行程，从而减小水帘管长度方向上的压力差；同时通过设置长度不同的流道与不同喷水孔密封连通，从而为不同区域的喷水孔提供压力均衡的独立封闭流道，进而确保各喷水孔的出水压力均衡，提升冲洗效果的同时还可以有效保护工件不受损坏，并且该工件冲洗装置的整体结构更为紧凑，占用空间小，有利于划片机上的零部件合理布局；且通过管套以及其内设置的具有不同流道的通水管组件的三层嵌套结构形成特定独立密封流道，嵌套结构之间易于拆卸，更换或清洗，结构紧凑耐用，使用寿命长，也便于设备维护。
附图说明
16.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本发明实施例提供的一种划片机的部分结构示意图；图2为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置的整体结构示意图；
图3为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置的水帘管的管套的结构示意图；图4为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置的水帘管的通水管组件（不带密封圈）的结构示意图；图5为本发明实施例提供的图4的部分结构示意图；图6为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置的水帘管的通水管组件（带密封圈）的结构示意图；图7为本发明实施例提供的图6的部分结构示意图；图8为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置的水帘管组件的部分装配结构示意图；图9为本发明实施例提供的图3中a的放大图；图10为本发明实施例提供的图9中沿b-b的剖面示意图；图11为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置的水帘管组件的喷水示意图；图12为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置的相邻水帘管组件的第二进水接头的连接结构示意图；图13为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置的喷射角度示意图；图14为本发明实施例提供的一种用于划片机的工件冲洗装置对切割工作台上的工件进行冲洗时的示意图。
18.图标：1-工件冲洗装置；110-水帘管组件；111-水帘管；112-第一进水接头；113-第二进水接头；1111-管套；1111a-第一喷水孔；1111b-第二喷水孔；1112-通水管组件；1112a-通水管套；1112a1-第一开孔；1112a2-第二开孔；1112b-第一通水管；1112b1-第一出水孔；1112c-第二通水管；1112c1-第二出水孔；1112d-密封圈；1112e-环形密封槽；2-主轴；3-切割工作台；4-显微镜。
具体实施方式
19.下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语（包括技术术语和科学术语），具有与本发明所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
21.本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本发明的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组合。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
22.结合图1至图8所示，本发明实施例提供了一种用于划片机的工件冲洗装置，包括：至少一个水帘管组件110。
23.具体地，水帘管组件110包括：水帘管111、第一进水接头112（图中位于水帘管111靠外的端部）以及第二进水接头113（图中位于水帘管111靠内的端部）。其中，第一进水接头112与水帘管111的一端连通，用于与外部水管连接；第二进水接头113与水帘管111的另一端连通，用于与外部水管连接，这样外部水管可以同时从水帘管111的两端进水，与一端进水相比，减少了整个长度方向的压差。
24.进一步地，水帘管111包括管套1111和嵌套在管套1111内的通水管组件1112，管套1111上设有沿轴向排布的多个第一喷水孔1111a和多个第二喷水孔1111b；多个第一喷水孔1111a靠近第一进水接头112设置，多个第二喷水孔1111b靠近第二进水接头113设置。
25.本实施例中的通水管组件1112内包括多个第一流道（图中未示出）和多个第二流道（图中未示出），多个第一流道的长度各不相同，可以理解为多个第一流道的长度依次增加，第一流道的一端与第一进水接头112连通，另一端与第一喷水孔1111a密封连通；同样地，多个第二流道的长度各不相同，可以理解为多个第二流道的长度依次增加，第二流道的一端与第二进水接头113连通，另一端与第二喷水孔1111b密封连通。
26.本实施例提供的工件冲洗装置1，通过在水帘管111的两端分别设置进水接头，可以缩短水流行程，从而减小水帘管111长度方向上的压力差；同时通过设置长度不同的流道与不同喷水孔密封连通，从而为不同区域的喷水孔提供压力均衡的独立封闭流道，进而确保各喷水孔的出水压力均衡，提升冲洗效果的同时还可以有效保护工件不受损坏，并且该工件冲洗装置的整体结构更为紧凑，占用空间小，有利于划片机上的零部件合理布局。
27.可选地，如图3所示，多个第一喷水孔1111a与多个第二喷水孔1111b沿着同一直线排布，这样能够保证所有喷水孔的出水方向一致。
28.可选地，相邻的两个第一喷水孔1111a之间沿轴向的间距相等；或者，相邻的两个第二喷水孔1111b之间沿轴向的间距相等。
29.可选地，所有喷水孔的间距均相等，即包括第一喷水孔1111a之间的间距、第二喷水孔1111b之间的间距以及相邻的第一喷水孔1111a与第二喷水孔1111b之间的间距均相等，进一步提升出水均匀性，提升清洗效果。
30.在一些实施例中，继续参阅图3至图8，本实施例中对通水管组件1112的具体结构进一步限定，该通水管组件1112包括：通水管套1112a、以及嵌套在通水管套1112a内长度不同的多根第一通水管1112b和长度不同的多根第二通水管1112c。其中，多根第一通水管1112b的长度不同，可以理解为多根第一通水管1112b按照长度递增或者递减的方式进行设置；多根第二通水管1112c的长度不同，可以理解为多根第二通水管1112c按照长度递增或者递减的方式进行设置。
31.具体地，第一通水管1112b的一端与第一进水接头112对接，第一通水管1112b的另
一端的端部封堵，端部封堵的结构可以在第一通水管1112b制作时成型。第一通水管1112b在靠近端部的位置设有沿轴向排布的多个第一出水孔1112b1，通水管套1112a上设有与第一出水孔1112b1一一对应的第一开孔1112a1，第一开孔1112a1与管套1111上的第一喷水孔1111a密封连通，使得第一通水管1112b形成第一流道。
32.可选地，各第一通水管1112b用于与第一进水接头112对接的一端平齐设置，并且第一通水管1112b之间形成一定的间隙，这部分间隙同样可用于水流通过，从而有利于缩小第一通水管1112b内部与外部的压力差，进而提升通水管组件1112使用寿命。
33.进一步地，第二通水管1112c的一端与第二进水接头113对接，第二通水管1112c的另一端的端部封堵、且在靠近端部的位置设有沿轴向排布的多个第二出水孔1112c1；通水管套1112a上设有与第二出水孔1112c1一一对应的第二开孔1112a2，第二开孔1112a2与第二喷水孔1111b密封连通，使得第二通水管1112c形成第二流道。
34.可选地，各第二通水管1112c用于与第二进水接头113对接的一端平齐设置，并且各第二通水管1112c之间形成一定的间隙，这部分间隙同样可用于水流通过，而有利于缩小第二通水管1112c内部与外部的压力差，进而提升通水管组件1112使用寿命。
35.本实施例提供的工件冲洗装置，通过管套以及其内设置的具有不同流道的通水管组件的三层嵌套结构形成特定独立密封流道，嵌套结构之间易于拆卸，更换或清洗，结构紧凑耐用，使用寿命长，也便于设备维护。
36.在一些实施例中，继续参阅图6至图8，通水管套1112a的外表面沿轴向设有多个环形密封槽1112e，第一开孔1112a1和第二开孔1112a2均位于相邻的环形密封槽1112e之间，相当于靠近第一进水接头112一端的相邻环形密封槽1112e之间设置有第一开孔1112a1，靠近第二进水接头113一端的相邻环形密封槽1112e之间设置有第二开孔1112a2。
37.进一步地，环形密封槽1112e内套设有密封圈1112d，密封圈1112d的内圈与环形密封槽1112e的槽底密封贴合，密封圈1112d的外圈与管套1111的内壁密封贴合，第一喷水孔1111a和第二喷水孔1111b均位于相邻的密封圈1112d之间，这样靠近第一进水接头112一端且相邻的两个密封圈1112d之间的区域形成第一密封区间，并且第一开孔1112a1和第一喷水孔1111a均与该第一密封区间连通；同样地，靠近第二进水接头113一端且相邻的两个密封圈1112d之间的区域形成第二密封区间，并且第二开孔1112a2和第二喷水孔1111b均与该第二密封区间连通。
38.可以理解的是，第一通水管1112b上的第一出水孔1112b1与通水管套1112a上的第一开孔1112a1一一对应，并且第一出水孔1112b1都开设在第一通水管1112b上与通水管套1112a的内侧壁相贴合的区域，并且第一出水孔1112b1都设置在远离第一进水接头112一端。
39.第二通水管1112c上的第二出水孔1112c1与通水管套1112a上的第二开孔1112a2一一对应，并且第二出水孔1112c1都开设在第二通水管1112c上与通水管套1112a的内侧壁相贴合的区域，并且第二出水孔1112c1都设置在远离第二进水接头113一端。
40.可选地，继续参阅图4和图5，对于不同长度的多根第一通水管1112b，由于不同的第一通水管1112b与通水管套1112a内侧壁的接触位置不同，因而不同第一通水管1112b上的第一出水孔1112b1沿着通水管套1112a的周向错位布置，保证第一出水孔1112b1与对应的第一开孔1112a1重叠对位。
41.可选地，对于不同长度的多根第二通水管1112c，由于不同的第二通水管1112c与通水管套1112a内侧壁的接触位置不同，因而不同第二通水管1112c上的第二出水孔1112c1沿着通水管套1112a的周向错位布置，保证第二出水孔1112c1与对应的第二开孔1112a2重叠对位。
42.可选地，不同第一通水管1112b上的第一出水孔1112b1沿着通水管套1112a的周向错位布置，同时不同第二通水管1112c上的第二出水孔1112c1沿着通水管套1112a的周向错位布置。
43.本实施例提供的工件冲洗装置1，通过在水帘管111的两端分别设置进水接头，设置长度不同的流道与不同喷水孔密封连通，通过管套以及其内设置的具有不同流道的通水管组件的三层嵌套结构形成特定独立密封流道，从而为不同区域的喷水孔提供压力均衡的独立封闭流道，进而确保各喷水孔的出水压力均衡参见实施例1，提升冲洗效果。
44.在一个具体的实施例中，测试方式为喷水管长度方向均匀设置至少6个喷嘴压力检测装置监测获得各处压力，喷嘴的水压最大偏差为:各处压力两两之间差值最大值/压力平均值，对比例1为喷水单管带喷头。
45.表1喷嘴水压最大偏差对比对比例1实施例1实施例2实施例3水压最大偏差11%1%0.6%0.4%在一些实施例中，对于不同长度的多根第一通水管1112b，第一通水管1112b上的第一出水孔1112b1的孔径与第一通水管1112b的长度成反比，即第一通水管1112b越短对应的第一出水孔1112b1的孔径也就越大，第一通水管1112b越长对应的第一出水孔1112b1的孔径也就越小，相当于增大了远离第一进水接头112的出水端压力，进一步更优的保证各个第一喷水孔1111a出水压力的一致性。
46.可选地，对于不同长度的多根第二通水管1112c，第二通水管1112c上的第二出水孔1112c1的孔径与第二通水管1112c的长度成反比，即第二通水管1112c越短对应的第二出水孔1112c1的孔径也就越大，第二通水管1112c越长对应的第二出水孔1112c1的孔径也就越小，相当于增大了远离第二进水接头113的出水端压力，进一步更优的保证各个第二喷水孔1111b出水压力的一致性。
47.可以理解的是，为了保证良好的喷水效果，第一开孔1112a1的孔径与第一出水孔1112b1的孔径匹配，第二开孔1112a2的孔径与第二出水孔1112c1的孔径匹配。
48.本实施例中，通过将出水孔的孔径与通水管的长度设置成反比例关系，使得长度越大的通水管上的出水孔的孔径减小，这样可以保证各个出水孔的出水压力的一致性，参见表1实施例2，从而提升工件冲洗时的喷水均匀性，进而有利于提升冲洗效果。
49.在一些实施例中，继续参阅图4和图5，多根第一通水管1112b的长度依次递增，长度最短的第一通水管1112b的多个第一出水孔1112b1与靠近第一进水接头112的多个第一喷水孔1111a密封连通，长度最长的第一通水管1112b的多个第一出水孔1112b1与靠近第二喷水孔1111b的多个第一喷水孔1111a密封连通。
50.具体地，依次递增的多根第一通水管1112b之间的长度差相等，例如：最短的一根第一通水管1112b的长度为5cm，依次按照2cm的长度差递增，例如：7cm，9cm，11cm，13cm
……
；这样预留相同的长度差有利于在每根第一通水管1112b上设置孔径和数量相同
的第一出水孔1112b1，保证出水均匀性。
51.可选地，每根第一通水管1112b上的第一出水孔1112b1的数量为6~8个。
52.可选地，继续参阅图4，多根第二通水管1112c的长度依次递增，长度最短的第二通水管1112c的多个第二出水孔1112c1与靠近第二进水接头113的多个第二喷水孔1111b密封连通，长度最长的第二通水管1112c的多个第二出水孔1112c1与靠近第一喷水孔1111a的多个第二喷水孔1111b密封连通。
53.具体地，依次递增的多根第二通水管1112c之间的长度差相等，例如：最短的一根第二通水管1112c的长度为5cm，依次按照2cm的长度差递增，例如：7cm，9cm，11cm，13cm；这样预留相同的长度差有利于在每根第二通水管1112c上设置孔径和数量相同的第二出水孔1112c1，保证出水均匀性。
54.可选地，每根第通水管1112c上的第二出水孔1112c1的数量为6~8个。
55.可选地，继续参阅图4，多根第一通水管1112b与多根第二通水管1112c在通水管套1112a的两端对称设置，即第一通水管1112b的数量和第二通水管1112c的数量相同，并且长度也都一一匹配，这样通水管组件1112或管套1111均可以看作长度相等的两部分，对应的第一喷水孔1111a和第二喷水孔1111b的数量和孔径也都相同，这样可以保证各个喷水孔的出水压力均衡，从而进一步提升冲洗效果。
56.可选地，参阅9和图10，第一喷水孔1111a和第二喷水孔1111b均为梯形孔，梯形孔的两端均为矩形结构，并且梯形孔朝向管套1111外部一端的面积大于朝向管套1111内部一端的面积。
57.可选地，梯形孔侧壁的倾斜角度一般控制在15
°
~25
°
，倾斜角度过小会缩小喷射范围，倾斜角度过大可能会导致喷射压力不足。
58.可选地，梯形孔朝向管套1111外部一端的长度为0.8mm~1.2mm，宽度为0.1mm~0.3mm。
59.需要说明的是，图9和图10中仅以第一喷水孔1111a进行示意，第二喷水孔1111b的结构可参照第一喷水孔1111a的结构，二者为相同的梯形孔。此外，图11中示意出了梯形孔的水流喷水效果示意图，梯形孔喷射出的水流呈发散的扇形水帘，并且相邻的梯形孔喷射的水帘连续，冲洗效果更佳。
60.在一个具体的实施例中，参阅图2和图12，图中示意的工件冲洗装置1的水帘管组件110的数量为两个，两个水帘管组件110的第二进水接头113相对设置且固定连接为一个整体，这样可以进一步减小每个水帘管组件110内的喷水流道长度，进一步减小压力损失，参见表1实施例3，从而有利于提升冲洗效果；此外，通过设置两个或者两个以上的水帘管组件110可以同时分别对多个工件清洗，进而提升对工件的冲洗效率。
61.可选地，两个水帘管组件110的第二进水接头113可以通过焊接或者一体成型的方式实现连接。
62.进一步地，为了方便两个第二进水接头113的连接，本实施例中的第二进水结构均为弯头进水管，弯头进水管的一端为大头，用于与水帘管111连接，弯头进水管的一端为小头，用于与外部水管连接。
63.基于同一发明构思，如图1所示，本发明实施例还提供了一种划片机，包括：主轴2、切割工作台3和各实施例中前述的工件冲洗装置1，该工件冲洗装置1用于对切割工作台3上
经主轴2切割后的工件进行清洗。
64.本实施例提供的划片机，包括了前述实施例中的工件冲洗装置1，该工件冲洗装置1通过在水帘管111的两端分别设置进水接头，可以缩短水流行程，从而减小水帘管111长度方向上的压力差；同时通过设置长度不同的流道与不同喷水孔密封连通，从而为不同区域的喷水孔提供压力均衡的独立封闭流道，进而确保各喷水孔的出水压力均衡，提升冲洗效果的同时还可以有效保护工件不受损坏，并且该冲洗装置的整体结构更为紧凑，占用空间小，有利于划片机上的零部件合理布局。
65.可选地，切割工作台3的一侧还设置有显微镜4，显微镜4用于观察工件表面的切割残余粉末是否被冲洗干净。
66.在一些实施例中，继续参阅图13和图14，为了提升对工件表面的切割残余粉末的冲洗效果，第一喷水孔1111a和第二喷水孔1111b的喷射方向与切割工作台3所在的平面之间的夹角a为40
°
~50
°
。
67.可选地，第二喷水孔1111b的喷射方向与切割工作台3所在的平面之间的夹角a为45
°
。
68.本技术领域技术人员可以理解，本发明中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地，具有本发明中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。进一步地，现有技术中的具有与本发明中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。
69.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
70.术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
71.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体状况理解上述术语在本发明中的具体含义。
72.在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
73.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。