一种压电式喷墨打印机喷头及其制备方法

技术特征：
1.一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，包括相互键合的玻璃基片和硅基片，玻璃基片与硅基片之间构成喷液通路，喷液通路包括沿进液流向依次分布的进液通道、进液储液池、限流通道、喷液储液池和喷嘴，喷液储液池的背面为振动面，振动面之外设有压电层，压电层与一驱动电路连接，用于驱动振动面振动；所述喷嘴两侧分别设有切割驱动件，通过一延时电路控制切割驱动件驱动喷嘴的两侧以切割喷嘴处的墨滴速度达到最大值的墨滴。2.如权利要求1所述的一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，所述喷液通路的进液储液池、限流通道、喷液储液池位于玻璃基片；所述喷液通路的进液通道和喷嘴位于硅基片。3.如权利要求2所述的一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，所述喷液通路的进液储液池、限流通道、喷液储液池沿玻璃基片与硅基片的键合面分布，且各自的开口均朝向键合面。4.如权利要求3所述的一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，所述压电层包括依次叠设的第一电极层、第一pzt压电层和第二电极层，第一电极层设于振动面上。5.如权利要求4所述的一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，所述第一pzt压电层包裹第一电极层的一侧，导线分别从压电层的两侧引出。6.如权利要求4所述的一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，所述硅基片具有分别位于喷嘴两侧的切割驱动件安装槽。7.如权利要求6所述的一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，所述切割驱动件包括沿切割驱动件安装槽由内向外依次叠设的第三电极层、第二pzt压电层和第四电极层，第二pzt压电层包裹第四电极层的两侧。8.如权利要求7所述的一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，其特征在于，所述延时电路包括电阻r1、电阻r2、电阻r3、电阻r4、电容c1、jfetq1、nmos管q2和pmos管q3，电阻r1的一端用于输入脉冲信号，另一端连接jfetq1的栅极和电阻r2，电阻r2的另一端接地；电阻r3一端连接 5v，另一端与nmos管q2的栅极、pmos管q3的栅极和jfetq1的源极相连；电容c1与电阻r4并联，一端连接jfetq1的漏极，另一端接地；pmos管q3的源极和衬底接 5v，其漏极与nmos管q2的衬底以及输出相连；nmos管q2的源极和衬底接地；连接压电层的第二电极层的输入信号同时作为延时电路的输入信号，延时电路的输出信号连接到切割驱动件的第三电极层。9.如权利要求1-8任一项所述的一种压电式喷墨打印机喷头，其特征在于，其特征在于，所述喷液通路有多条且阵列式分布。10.如权利要求7所述的一种压电式喷墨打印机喷头的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：s1、选取一玻璃基片，在玻璃基片正面依次加工第一电极层、第一pzt压电层和第二电极层；之后，采用金属溅射工艺在玻璃基片背面刻蚀出进液储液池、限流通道、喷液储液池；s2、选取一硅基片，采用反应离子刻蚀工艺在硅基片背面刻蚀出切割驱动件安装槽；之后采用高温氧化工艺氧化整个硅基片，接着切割驱动件安装槽内依次加工第三电极层、第二pzt压电层和第四电极层；然后在硅基片背面刻蚀出进液通道和喷嘴口；采用反应离子刻蚀工艺刻蚀硅基片正面的氧化层；
s3、采用boe溶液漂洗硅基片和玻璃基片，之后将玻璃基片与硅基片键合。

技术总结
本发明涉及一种压电式喷墨打印机喷头及其制备方法，压电式喷墨打印机喷头，包括相互键合的玻璃基片和硅基片，玻璃基片与硅基片之间构成喷液通路，喷液通路包括沿进液流向依次分布的进液通道、进液储液池、限流通道、喷液储液池和喷嘴，喷液储液池的背面为振动面，振动面之外设有压电层，压电层与驱动电路连接，用于驱动振动面振动；所述喷嘴两侧分别设有切割驱动件，通过延时电路控制切割驱动件驱动喷嘴的两侧以切割喷嘴处的墨滴速度达到最大值的墨滴。本发明利用延时电路和切割驱动件，在喷嘴处挤出墨滴速度达到最大值时将墨滴切割，得到最大速度的墨滴，避免喷墨过程中长尾柱的形成，使得墨滴不会在喷出过程中发生破碎形成卫星液滴。星液滴。星液滴。


技术研发人员：刘超然 王旭聪 董林玺 王高峰 韩晶晶
受保护的技术使用者：杭州电子科技大学
技术研发日：2022.04.21
技术公布日：2022/7/22