一种蚀刻液用的在线检测仪的制作方法

1.本实用新型属于蚀刻技术领域，具体为一种蚀刻液用的在线检测仪。


背景技术：

2.蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类，最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量(weight reduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工，经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术，但是，蚀刻工作完成后的蚀刻液不能直接排放，常在处理过后，经检测合格后排放或二次利用，但是检测过程中使用的检测装置常存在一定的不足，检测之后对满足要求的蚀刻液和不满足要求的蚀刻液区分收集麻烦，易对工作人员造成伤害，工作安全隐患大，在对不同位置的蚀刻液进行检测时，需要工作人员移动蚀刻液，在对蚀刻液移动的过程中易因意外对工作人员造成伤害，给使用者带来极大的不便。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种蚀刻液用的在线检测仪，安全性好，能快速区分检测后的蚀刻液并对其进行收集，降低工作成本，能够移动装置，对不同位置的蚀刻液进行检测，防止移动蚀刻液过程中对工作人员造成伤害，解决了现有装置工作效率低，安全性低的问题。
5.(二)技术方案
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种蚀刻液用的在线检测仪，包括底座、控制台、第一收集桶、第二收集桶、检测箱、支撑柱、分流组件和移动组件；
7.所述分流组件设置在所述检测箱内部，所述分流组件包括控制结构和分隔板，所述控制结构设置在所述检测箱内底壁，所述分隔板设置在所述检测箱内部。
8.所述支撑柱设置在所述检测箱底部，所述底座固定焊接在所述支撑柱底部，所述控制台、所述第一收集桶和所述第二收集桶设置在所述底座顶部，所述控制台和所述第二收集桶设置在所述支撑柱两侧，所述第一收集桶设置在所述检测箱底部，移动组件设置在所述底座内和底部。
9.优选的，所述检测箱底部开设有废液口，所述废液口一侧开设有第一安装腔和第一安装槽，所述控制结构分为控制液压缸和开合板，所述控制液压缸通过螺栓安装在所述第一安装腔内，所述开合板设置在所述第一安装槽内，所述开合板固定焊接在所述控制液压缸的输出端上，所述开合板和所述废液口对应。
10.通过采用上述方案，控制液压缸、开合板和废液口的配合使用方便控制废液管的闭合，方便对不满足要求的蚀刻液进行收集。
11.优选的，所述分隔板设置在所述废液口一侧，所述检测箱内部通过所述分隔板分为检测腔和排液腔，所述分隔板内部开设有第二安装腔和第二安装槽，所述第二安装腔内通过螺栓安装有分隔液压缸，所述分隔液压缸的输出端固定焊接有挡板，所述挡板卡设在所述第二安装槽内。
12.通过采用上述方案，分隔液压缸和挡板的配合使用方便控制检测腔和排液腔是否连通，方便对满足要求的蚀刻液进行收集。
13.优选的，所述检测箱内壁、所述分隔板外壁和所述开合板顶部设置有防腐层，所述检测箱顶部一侧设置有进液管，所述检测箱底部中间设置有废液管，所述检测箱底部一侧设置有出液管，所述进液管设置在所述检测腔顶部一侧，所述废液管卡设在所述废液口上，所述出液管设置在所述排液腔底部一侧。
14.通过采用上述方案，防腐层防止蚀刻液对装置造成损坏。
15.优选的，所述检测箱外壁上设置有观察窗，所述控制台上设置有显示屏和开关组，所述第一收集桶设置在所述废液口底部，所述第二收集桶设置在所述出液管底部。
16.通过采用上述方案，观察窗、显示屏和开关组的配合使用方便对检测工作进行把控，第一收集桶和第二收集桶的配合使用方便对检测过后的蚀刻液进行区分收集。
17.优选的，所述移动组件包括安全液压缸、安全板和移动轮，所述安全液压缸设置在所述底座内，所述安全板固定焊接在所述安全液压缸的输出端上，所述移动轮安装在所述底座底部。
18.通过采用上述方案，安全液压缸、安全板和移动轮的配合使用方便了装置的移动。
19.优选的，所述底座内部开设有安全槽，所述安全液压缸通过螺栓安装在所述安全槽内，所述安全板底部设置有安全齿。
20.通过采用上述方案，安全板和安全齿的配合使用保证了装置移动后的稳定。
21.(三)有益效果
22.与现有技术相比，本实用新型提供了一种蚀刻液用的在线检测仪，具备以下有益效果：
23.1、通过设置的控制液压缸带动开合板从第一安装槽内伸出，控制废液管的闭合，通过设置的防腐层对装置进行保护，通过设置的分隔液压缸带动挡板上升进入第二安装槽，控制检测腔和排液腔是否连通，通过控制液压缸和分隔液压缸的配合使用进行对蚀刻液是否合格时快速区分排出检测箱，然后进行收集，提高工作效率、降低工作成本和保护工作时工作人员的安全。
24.2、通过设置的安全液压缸带动安全板向下移动，安全板上的安全齿与地面接触，装置停放平稳，通过设置的移动轮使装置移动方便，方便在检测不同位置的蚀刻液时，移动装置，防止移动蚀刻液时对工作人员造成伤害。
附图说明
25.图1为本实用新型的立体示意图；
26.图2为本实用新型检测箱的主视剖面示意图；
27.图3为本实用新型图2中的a处放大示意图；
28.图4为本实用新型图2中的b处放大示意图；
29.图5为本实用新型移动组件的剖面示意图；
30.图中：
31.1、底座；
32.2、控制台；
33.3、第一收集桶；
34.4、第二收集桶；
35.5、检测箱；
36.6、支撑柱；
37.7、分流组件；71、控制结构；711、控制液压缸；712、开合板；72、分隔板；
38.8、移动组件；81、安全液压缸；82、安全板；83、移动轮；
39.9、废液口；10、检测腔；11、排液腔；12、分隔液压缸；13、挡板；14、防腐层；15、进液管；16、废液管；17、出液管；18、观察窗；19、显示屏；20、开关组；21、安全齿。
具体实施方式
40.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
41.实施例一
42.一种蚀刻液用的在线检测仪，包括底座1、控制台2、第一收集桶3、第二收集桶4、检测箱5、支撑柱6、分流组件7和移动组件8；
43.分流组件7设置在检测箱5内部，分流组件7包括控制结构71和分隔板72，控制结构71设置在检测箱5内底壁，分隔板72设置在检测箱5内部。
44.支撑柱6设置在检测箱5底部，底座1固定焊接在支撑柱6底部，控制台2、第一收集桶3和第二收集桶4设置在底座1顶部，控制台2和第二收集桶4设置在支撑柱6两侧，第一收集桶3设置在检测箱5底部，移动组件8设置在底座1 内和底部。
45.检测箱5底部开设有废液口9，废液口9一侧开设有第一安装腔和第一安装槽，控制结构71分为控制液压缸711和开合板712，控制液压缸711通过螺栓安装在第一安装腔内，开合板712设置在第一安装槽内，开合板712固定焊接在控制液压缸711的输出端上，开合板712和废液口9对应。
46.分隔板72设置在废液口9一侧，检测箱5内部通过分隔板72分为检测腔10 和排液腔11，分隔板72内部开设有第二安装腔和第二安装槽，第二安装腔内通过螺栓安装有分隔液压缸12，分隔液压缸12的输出端固定焊接有挡板13，挡板13 卡设在第二安装槽内。
47.检测箱5内壁、分隔板72外壁和开合板712顶部设置有防腐层14，检测箱5 顶部一侧设置有进液管15，检测箱5底部中间设置有废液管16，检测箱5底部一侧设置有出液管17，进液管15设置在检测腔10顶部一侧，废液管16卡设在废液口9上，出液管17设置在排液腔11底部一侧。
48.检测箱5外壁上设置有观察窗18，控制台2上设置有显示屏19和开关组20，第一收集桶3设置在废液口9底部，第二收集桶4设置在出液管17底部。
49.参阅图1-5，工作人员打开装置电源，通过控制台2上的开关组20打开控制液压缸711，控制液压缸711带动开合板712从第一安装槽内伸出，当开合板712 一端触碰到废液口9侧壁时关闭控制液压缸711，此时开合板712密封废液口9，通过进液管15输入蚀刻液，蚀刻液进入检测腔10，检测箱5内壁上的防腐层14 对装置进行保护，对蚀刻液进行检测，通过控制台2上的显示屏19上显示的元素含量数值分析蚀刻液是否满足要求，如果检测满足要求，通过开关组20打开分隔板72内的分隔液压缸12，分隔液压缸12带动挡板13上升进入第二安装槽，关闭分隔液压缸12，此时在检测腔10内经检测满足要求的蚀刻液流经排液腔11进入出液管17，蚀刻液从出液管17进入第二收集桶4，工作人员对第二收集桶4内的蚀刻液进行使用，如果检测不满足要求，通过开关组20调节控制液压缸711使开合板712回到第一安装槽，此时废液口9打开，不满足要求的蚀刻液从废液口9 经废液管16进入第一收集桶3，工作人员对第一收集桶3内的蚀刻液再处理，如此往复，当所有的蚀刻液检测完毕后，关闭装置电源。
50.实施例二
51.在实施例一的基础上增加了对装置进行移动的方式。
52.移动组件8包括安全液压缸81、安全板82和移动轮83，安全液压缸81设置在底座1内，安全板82固定焊接在安全液压缸81的输出端上，移动轮83安装在底座1底部。
53.底座1内部开设有安全槽，安全液压缸81通过螺栓安装在安全槽内，安全板 82底部设置有安全齿21。
54.参阅图1-5，在要进行蚀刻液检测工作时，通过开关组20打开安全液压缸 81，安全液压缸81带动安全板82向下移动，安全板82离开安全槽，当安全板82 接触到地面时关闭安全液压缸81，安全齿21与地面接触，装置停放平稳，开始检测工作，当检测工作结束后，通过调节安全液压缸81收起安全板82，通过移动轮83移动到下一个放置蚀刻液的位置，防止在移动蚀刻液时对工作人员造成伤害，当所需要检测的蚀刻液全部检测完成后，通过移动轮83把装置停在安全位置上，通过调节安全液压缸81使装置停放安稳，关闭装置电源，方便下一次的使用。
55.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。