一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体元器件加工技术领域中的车间湿度保持的技术范畴，尤其涉及一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置。


背景技术：

2.半导体的生产工厂要在全年四季的气候条件下，生产车间内部要求维持稳定的环境，特别是对于生产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织，压力平衡等多个空调参数都提出了严格的要求。有别于其他的恒温恒湿环境系统的要求，由于电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其品质的影响，其对湿度的精度提出了严格要求，对于空调系统的配置，则要求系统同时具备夏季除湿的功能和冬季加湿的功能。
3.一般的，半导体生产行业的温湿度条件为： t=22
ꢀ±ꢀ2ꢀ°ꢀ
c ， rh=45
ꢀ±ꢀ
5% ；而对于这个温湿度要求，传统上经常采用冷冻除湿 后加热（再热）方式进行处理，并取得了一定成果。
4.而目前的超声波新技术中，对于雾化保温保湿，主要是采用对水加热，然后，超声波加湿器的雾化片就是利用逆压电效应，产生高频电压，高频电压加入到雾化片上，把电能转换为了机械能，是雾化片产生高频振动，使得雾化片把水打散成水雾，这样带有热量的水雾扩散到空间中就起到对车间的保持湿度和温度的作用。
5.但这种方式却存在着一个致命问题，对整个水体进行加热，尤其是大型车间内，使用的水量多，能耗的巨大浪费，特别是由于半导体行业的大新风，大排风系统、生产环境为大空间洁净环境以及目前许多厂主要集中分布在华南和华东地区的特殊情况，使得这个问题十分突出。


技术实现要素：

6.本实用新型实施例的目的在于提供一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置，旨在解决半导体元器件加工车间湿度保持对整个水体进行加热造成能耗过大的问题。
7.本实用新型实施例是这样实现的：
8.一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置，包括雾化器，所述雾化器连接有加热装置：
9.所述加热装置设有中心管，中心管的一端设有若干中空的扩散盘，扩散的侧壁设有扩散孔和第一加热线圈，所述雾化器雾化后的水雾通过加热线圈加热后经扩散孔扩散到雾化器外部空间中。
10.采用这样的设计，雾化器雾化后的水雾通过加热线圈加热后经扩散孔扩散到雾化器外部空间中，与传统的加湿器加热水后雾化相比，本实用新型通过雾化后加热的方式，使得水在单位时间内的受热面积更大，在相同的加热条件下，提升相同的温度，所用时间更短，节省了加热的电能，起到节能的作用。中心管的一端设有若干中空的扩散盘，扩散的侧壁设有扩散孔和第一加热线圈，使得加热在水雾的输送过程中进行，节约了设备空间，输送
时间和加热时间，而多个扩散盘同时加热和扩散，提高了扩散和加热的效率。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述扩散盘成直线排列。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述扩散盘在中心管的末端呈非线排列。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述扩散盘以中心管为中心成圆周均布。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述中心管的外壁缠绕有第二加热线圈。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述第一加热线圈与第二加热线圈并联，并连接到加热装置的控制器中。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述加热装置的非雾气扩散一侧设有叶片，在所述控制器的控制下转动。
17.作为本实用新型的进一步改进，所述中心管的上设有固定座，将所述加热装置固定在车间立柱或横梁上。
18.作为本实用新型的进一步改进，所述中心管通过软管与所述雾化器连接。
19.作为本实用新型的进一步改进，所述雾化器设于车间的一端，并与多个加热装置相连接。
20.作为本实用新型的进一步改进，所述加热装置设有湿度传感器，湿度传感器的测量值反馈到所述控制器，控制加热装置的启停。
21.本实用新型的积极效果是：
22.1.雾化器雾化后的水雾通过加热线圈加热后经扩散孔扩散到雾化器外部空间中，与传统的加湿器加热水后雾化相比，本实用新型通过雾化后加热的方式，使得水在单位时间内的受热面积更大，在相同的加热条件下，提升相同的温度，所用时间更短，节省了加热的电能，起到节能的作用。
23.2.中心管的一端设有若干中空的扩散盘，扩散的侧壁设有扩散孔和第一加热线圈，使得加热在水雾的输送过程中进行，节约了设备空间，输送时间和加热时间，而多个扩散盘同时加热和扩散，提高了扩散和加热的效率。
附图说明
24.图1是本实用新型一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置的三维结构示意图；
25.图2是图1中所示本实用新型一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置的正视图；
26.图3是图2中所示本实用新型一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置a-a处剖视图；
27.图4是图3中所示本实用新型一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置e处放大图；
28.图5是本实用新型一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置中加热装置第二种实现方式；
29.图例说明：1—加热装置， 2—横梁， 3—连接软管，4—雾化器，5—固定座，6—水箱， 7—叶片， 8—扩散盘组，9—电动机，10—芯轴，11—轴承， 12—叶片转轴， 13—中心管，14—第二加热线圈，16—第一加热线圈，17—扩散盘， 18—扩散孔， 19—小扩散盘。
具体实施方式
30.下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述：
31.具体实施例：
32.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底
”ꢀ“
内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
33.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
34.具体实施例一：
35.一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置，包括雾化器4和加热装置1，其中雾化器4的作用仅仅是将水在常温下雾化，具体可以使用超声波雾化，或者文丘里管的方式实现，雾化的具体方式不是本实用新型的创新点，只要能够实现常温下雾化的方式均可以用于本案，在此不在深究，本领局技术人员可以任意采用相关的雾化方式来实现，雾化器4和加热装置1分体设计，雾化器放置于车间的地面上，加热装置设有固定座5，通过固定座5固定在车间的横梁2上，加热装置1通过连接软管3与雾化器4的水雾出口相连，雾化器4产生的水雾通过连接软管3输送到加热装置，其中连接软管3的外侧包裹有保温层，防止水雾冷凝成水回流到雾化器4中，如图3所示，家人装置包括芯轴10，芯轴10的中心设有中心管13，芯轴10的外侧套设有叶片转轴12，叶片转轴12通过轴承11连接在芯轴10的外侧，叶片转轴12还与电动机9连接在一起，由电动机9驱动叶片转轴12转动，叶片转轴12的圆周固定有四个叶片7，中心管13与连接软管3连接，中心管13的另一端与扩散盘组8连接，扩散盘组8由10片扩散盘17按轴线重合的方式直线排布而成，扩散盘组8的中心设有一空腔，便有设有导流片，导流片的背侧设有第一加热线圈16。
36.具体使用时：
37.雾化器4产生的水雾通过连接软管3输送到加热装置1，通过中心管13进入扩散盘组8的中心设的空腔，空腔的圆周上设有扩散孔18，水雾通过扩散孔18散出，在导流片的导流下，按预设的流道扩散出去，由于导流片的背侧设有第一加热线圈16，因此当水雾通过该区域时，被第一加热线圈16加热，而扩散出去，而此时加热后的水雾遇到叶片7，电动机9驱动叶片转轴12转动，叶片转轴12的圆周固定有四个叶片7，四个叶片7的传动，将被加热好的水雾吹散到车间中去。
38.具体实施例二：
39.在具体实施例一的基础上，中心管13的外壁缠绕有第二加热线圈14，水雾在通过中心管13时被预加热，提高加热效率。
40.具体实施例三：
41.在具体实施例二的基础上，第一加热线圈16与第二加热线圈14并联，并连接到加热装置的控制器中，由控制器分别控制第一加热线圈16与第二加热线圈14，当第一加热线
圈16与第二加热线圈14其中的一个出现故障是，还可以保证本案装置能正常运行，并将通过的电流和加热的温度以及加热时间记录，通知车间管理中心，为维护保养提供缓冲时间，保证车间生产的持续进行。
42.具体实施例四：
43.在具体实施例三的基础上，雾化器4设于车间的一端，并与多个加热装置1相连接。通过集中雾化的方式，实现电能的集中供应，节省电能，同时多个多个加热装置1，可是根据车间的具体位置的温度和湿度需求而适时的开启或者关闭，便于控制车间局部的温度和湿度。
44.具体实施例五：
45.在具体实施例四的基础上，加热装置1设有湿度传感器，湿度传感器的测量值反馈到所述控制器，控制加热装置的启停，提供了具体实施四的一种根据车间的具体位置的温度和湿度需求而适时的开启或者关闭的方法，便于控制车间局部的温度和湿度。
46.前述内容已经宽泛地概述出各个实施例的一些方面和特征，其应该被解释为仅是各个潜在应用的说明。其他有益结果可以通过以不同方式应用公开的信息或通过组合公开的实施例的各个方面来获得。在由权利要求限定的范围的基础上，结合附图地参考对示例性实施例的具体描述可获得其他方面和更全面的理解。
47.上述实施例对本实用新型做了详细说明。当然，上述说明并非对本实用新型的限制，本实用新型也不仅限于上述例子，相关技术人员在本实用新型的实质范围内所作出的变化、改型、添加或减少、替换，也属于本实用新型的保护范围。