真空阀或真空门的制作方法

1.本发明涉及一种真空阀或真空门，其具有用于封闭布置在壁中的开口的封闭板，该封闭板具有相对的第一和第二纵向边缘以及相比之下较短的相对的第一和第二横向边缘，其中，封闭板可在打开位置与关闭位置之间移调，在打开位置，壁的开口被释放，在关闭位置，壁的开口被封闭板封闭。


背景技术：

2.对于必须在相对较大的、平面的基板例如屏幕面板上进行真空工艺的真空设备，真空腔在壁上具有大的狭槽状开口，以便能够实现将基板引入腔中。相应地，特别是作为转移阀，采用具有大狭缝形开口的真空阀和真空门。真空阀尤其用作在通过该阀连接的相邻真空腔之间的转移阀。真空门用于关闭和打开腔的朝向外室的开口。因此，布置在腔的壁中或真空阀的基体的壁或真空门的基体的壁中的基本上矩形的开口具有相对的纵向边缘和相比之下明显更短的相对的横向边缘。纵向边缘例如可以具有在1.5到3m的范围内的长度。横向边缘例如可以具有在10到20cm的范围内的长度。
3.对于这种真空阀，如果将安装有真空阀或真空门的真空腔内部空间从大气压抽真空，真空腔将由于在真空腔内部空间中形成的负压而变形。结果，狭槽形开口的宽度朝向中心稍微减小，即开口的纵向边缘的中心区段朝向彼此移动，并且相应地在这些区域中与开口连接上的壁区段也朝向彼此移动。开口纵向边缘在其中心的位移例如可以在1.5mm至3mm的范围内。由于其与真空腔的螺旋连接——其存在于具有真空腔开口的壁与具有真空阀或真空门的基体开口的壁之间，与真空腔连接的真空阀或真空门的基体在真空阀或真空门的基体的具有开口的壁的区域中以相同的方式变形。
4.基体的在其纵向边缘的中间区段中连接上开口的壁区段的这些位移导致密封圈的剪切载荷，该密封圈安装在封闭板上并且靠在具有开口的壁上。这会导致密封圈在使用过程中磨损。一方面，这意味着密封圈的额外磨损，因此密封圈必须在相应的维护间歇内更换。此外，这种磨损会导致不希望的颗粒产生，这些颗粒会沉积在要处理的基板上，并对其质量或功能产生负面影响。
5.为了减少真空腔的变形，它可以配备额外的加强部件，但这相对昂贵。
6.wo 2014/086458 a1公开了一种真空阀，其中，具有阀开口的壳体壁由薄金属片制成。该真空阀布置在真空单元例如真空腔之间，这些真空单元具有带有连接法兰的实心壁。通过将真空阀与这些真空单元的连接法兰连接来实现稳定真空阀的阀壳体。为此，真空阀具有实心法兰环，这些法兰环与真空单元的连接法兰拧紧，其中，由金属片构成的壳体壁夹紧在连接法兰和法兰环之间。在这里，在相应的法兰环和相应的壳体壁之间分别设置了弹性体的密封圈。另一个弹性体的密封圈位于法兰环和连接法兰之间。真空阀的这些法兰环中的至少一个同时在与连接法兰相对的一侧形成阀座。用于在真空阀的关闭状态下相对于连接法兰密封封闭构件的弹性体密封圈，在此可以布置在封闭构件上，或者也可以布置在连接法兰上。由于用于在连接法兰与法兰环之间的密封以及在法兰环与由金属片构成的壳
密封件与壁之间的摩擦，壁-密封件在封闭板的关闭位置靠在壁上，这种带动可以克服承载框架的弹性恢复力而发生。然而，由于承载框架具有的弹性回复力，该带动小于壁的与开口纵向边缘连接的区段的总位移。
16.为了确保承载框架的纵向腿的中间区段在规定的区域内被带动，可以在具有开口的壁上设置壁-止挡，用于与承载框架的第一和第二纵向腿的中间区段配合作用，特别是在其纵向中心的区域中；和/或在封闭板上设置封闭板-止挡，用于与承载框架的第一和第二纵向腿的中间区段配合作用，特别是在其纵向中心的区域中。
17.在本发明的有利的实施方式中，固定点——承载框架在这些固定点固定在壁或封闭板上——可以位于承载框架的拐角区域中，这些拐角区域分别形成在承载框架的纵向腿和与其连接的横向腿之间。替代地或附加地，可以在横向腿区域中设置固定点。例如，固定点可以通过穿过在承载框架中的孔的螺钉形成。为了固定承载框架，替代地或附加地例如可以设置卡扣部件。相应的固定点也可以在承载框架的或多或少地延伸的区段上延伸。
18.至少在承载框架的第一和第二纵向腿的自由的中间区段的区域中，承载框架的厚度小于具有开口的壁的厚度，最好小于其一半，优选地小于其三分之一(其中，这些厚度是垂直于具有开口的壁的平面、即垂直于承载框架的平面测量的)。
19.至少在承载框架的纵向腿的自由的中间区段的区域中，相应的纵向腿的平行于承载框架的平面并且垂直于相应的纵向腿的纵向延伸测量的宽度，有利地小于具有开口的壁的厚度(其中，壁的厚度是垂直于壁平面测量的)。
20.本发明的优选实施方式规定，承载框架具有在封闭板-密封件旁和壁-密封件旁的支撑部件。如果封闭板在其关闭位置被压靠到具有开口的壁上，则支撑部件可以以接触面一方面靠在壁上，另一方面靠在封闭板上。由此限制了封闭板-密封件和壁-密封件的最大压缩。
21.支撑部件可以由承载框架的基本材料的隆起构成，承载框架由基本材料形成。如果承载框架的基本材料是金属、特别是钢或铝，这是优选的，则承载框架至少在支撑部件的接触面的区域内涂有滑动层，该滑动层有利地具有相对于壁和封闭板的低摩擦。例如可以设置具有ptfe(特氟龙)或pfa的涂层。
22.在一种改型的实施方式中，可以设置由塑料(例如ptfe或pfa或peek)制成的支撑部件，这些支撑部件安装、例如粘接在承载框架的尤其由金属构成的基体上。
23.在本发明的有利实施方式中，基体或真空腔的壁的开口的纵向边缘具有大于1m的长度。横向边缘优选地具有小于30cm的长度。
24.参照垂直于壁平面的观察方向，承载框架有利地不会向内突出超过壁中开口的边缘。因此，承载框架不会减小开口的净宽度。
25.封闭板-密封件可以由设置在承载框架的凹槽中的o形圈形成。例如，封闭板-密封件也可以硫化到承载框架上。
26.壁-密封件可以由布置在承载框架的凹槽中的o形圈形成。例如，壁-密封件也可以硫化到承载框架上。
附图说明
27.下面参照附图解释本发明的其它优点和细节。其中：
28.图1以斜视图示出了根据本发明的真空阀的实施例；
29.图2是分解图；
30.图3是从另一观察方向看的分解图；
31.图4是在封闭板的打开位置的侧视图；
32.图5是沿图4的aa线剖切的剖面图；
33.图6是沿图4的bb线剖切的剖面图；
34.图7示出了在封闭板的中间位置类似于图5的剖面图；
35.图8示出了在封闭板的关闭位置(在基体的松弛状态下)类似于图5的剖面图；
36.图9示出了图8的放大的细节c；
37.图10是密封单元的在第一侧的侧视图；
38.图11是密封单元的在相对的第二侧的侧视图；
39.图12是密封单元的斜视图；
40.图13是本发明的第二实施例的密封单元的在第一侧的侧视图；
41.图14是沿图13的dd线剖切的剖面图；
42.图15示出了图14的放大的细节e；
43.图16是本发明的第三实施例的与图6类似的剖面图；
44.图17和18示出本发明的第四实施例的在基体的松弛和变形状态下的类似于图9的放大的局部；
45.图19示出了根据本发明第五实施例的承载框架的类似于图15的剖面图；
46.图20是根据本发明第一实施例的安装在两个真空腔之间的真空阀和根据本发明的安装在其中一个真空腔上的真空门的斜视图；
47.图21示出了图20的装置在真空阀和真空门的封闭板的打开位置的剖面图(类似于图5的剖面线)；
48.图22是在真空阀和真空门的封闭板的关闭位置的与图21对应的剖面图；
49.图23是根据本发明另一实施例的安装在真空腔上的真空门的斜视图；
50.图24是图23的装置在真空门的封闭板的打开位置的剖面图(类似于图5的剖面线)；
51.图25示出了在真空门的封闭板的中间位置处类似于图24的剖面图；
52.图26示出了类似于图24的在真空门的封闭板的关闭位置的剖面图；
53.图27示出了用于进一步修改的实施方式的类似于图24的剖面图。
54.这些图具有不同的比例，并且是部分简化和示意性的。
具体实施方式
55.根据本发明的真空阀的第一实施例在图1-12中示出。该真空阀具有代表阀壳体的基体1和代表真空阀的真空区域的内部空间2。因此在内部空间2中可以存在真空。
56.基体1具有相对的壁3，在这些壁中分别设置有开口4。
57.承载单元6安装在阀杆5上，并且在该实施例中承载两个板状的封闭板7。
58.这些封闭板7分别可在打开位置(参见图5和6)、中间位置(参见图7)以及关闭位置(参见图8)之间移调，在该打开位置，相应的被分配的开口4被释放，在该中间位置，封闭板7
与相应的被分配的开口4相对(＝在开口4的轴向方向上看，覆盖开口4)，但封闭板7相对于具有被分配的开口4的壁3没有密封(因此在封闭板和壁之间的区域中存在开放的间隙)，在关闭位置中，封闭板7将相应的被分配的开口4密封。
59.为了在打开位置和中间位置之间移调封闭板7，阀杆5平行于其纵向轴线10(＝轴向地)移动。在该实施例中，活塞-缸单元8用于轴向地移动阀杆5，该单元的活塞杆形成阀杆5。代替活塞-缸单元8，也可以设置另一个致动器作为阀驱动器。
60.相应的活塞-缸单元9用于在中间位置和关闭位置之间移调相应的封闭板7。这些活塞-缸单元9的缸空间由承载单元6的空腔形成，该活塞-缸单元9的活塞布置在这些空腔中。封闭板7安装到这些活塞-缸单元的活塞杆上。
61.相应的封闭板7在其中间位置及其关闭位置之间的移调，与阀杆5的纵向轴线10成直角地进行。
62.在所示的实施例中，活塞-缸单元9的各缸室是分开的，即这些封闭板7可以各自地在它们的中间位置和它们的关闭位置之间移调。如果共同的移调就足够了，活塞-缸单元9的活塞可以布置在共同的、连续的缸室中。
63.两个封闭板7中的一个也可以省略，从而真空阀将仅具有一个封闭板7和一个可密封的开口4。特别是在可密封的开口4的对面，可以在基体中设置不可密封的开口，以便在封闭板7的打开位置形成穿过基体的贯通通道。
64.因此在该实施例中，至少一个封闭板7在其打开位置和其关闭位置之间的移调以l阀的方式进行。可以规定真空阀的至少一个封闭板在打开位置和关闭位置之间的其他的移调方式，特别是以l阀的方式，如已知的那样。例如，也可以设想并且可能的是，真空阀仅具有一个唯一的致动器，通过该致动器将至少一个封闭板从打开位置经由中间位置移调到关闭位置，反之亦然。为了在中间位置和关闭位置之间进行移调，阀杆5在此也可以围绕垂直于阀杆的纵向轴线10并且垂直于至少一个开口的轴线的枢转轴线枢转。这种枢转可以通过滑块以已知方式控制。对于真空阀具有两个封闭板7的情况，这些封闭板可以从中间位置开始，交替地通过使得阀杆5逆向地枢转而移调到相应的关闭位置。
65.为了能够进行维修，该实施例中的基体1具有可拆下的、由密封件(未示出)密封的盖子11(紧固螺钉也未示出)。
66.相应的开口4由相对的第一和第二纵向边缘4a、4b以及相对的第一和第二横向边缘4c、4d限定边界。在视图中(图4)观察，相应的开口4具有基本上矩形的形状，其中，纵向边缘4a、4b明显长于横向边缘4c、4d，特别是超过五倍长，特别优选超过十倍长。开口4因此可以称为狭槽形。
67.纵向边缘4a、4b例如可以具有在1到4m范围内的长度。横向边缘4c、4d例如可以具有在10到30cm范围内的长度。
68.密封单元12相应地用于在各自的封闭板7和具有相应分配的开口4的壁3之间的密封。该密封单元具有位于一个平面中的承载框架13。该承载框架具有彼此间隔开且平行地伸展的第一和第二纵向腿14、15。相对的纵向腿14、15在边缘侧由相对的第一和第二横向腿16、17连接。纵向和横向腿14-17因此包围框架开口。纵向和横向腿14-17位于假想的矩形的边上。纵向腿14、15在此明显长于横向腿16、17，对应于开口4的形状。特别地，纵向腿14、15的长度是横向腿16、17的五倍以上，优选十倍以上。
69.密封单元12的承载框架13的厚度小于具有开口4的壁3的厚度，有利地小于一半，优选小于三分之一(其中，这些厚度垂直于具有开口的壁的相应平面测量，即垂直于相应的承载框架的平面测量)。
70.至少相应承载框架13的纵向腿14、15具有平行于承载框架的平面并且与相应纵向腿14、15的纵向延伸成直角地测量的宽度，小于相应的具有开口4的壁3的厚度，其中，壁的厚度垂直于壁3的平面测量。
71.在承载框架13的相反朝向的、平行于承载框架13的中间平面的侧面上分别设置了密封件。在一个侧面上，该密封件是环绕的(＝环形的)密封板-密封件18，在另一侧面上，该密封件是环绕的(＝环形的)壁-密封件19。密封件18、19各自由弹性体材料例如fkm(氟橡胶)或ffkm构成。
72.在该实施例中，封闭板-密封件18和壁-密封件19构造成o形环的形式，它们布置在承载框架13的凹槽中并且由此保持在承载框架13上。在改型的实施方式中，封闭板-密封件18和/或壁-密封件19也可以硫化在承载框架13上。
73.在承载框架13的安装了封闭板-密封件18和壁-密封件19的侧面上，承载框架13分别具有位于密封件18、19旁边的隆起，这些隆起形成了支撑部件20。这些隆起限制了封闭板-密封件18和壁-密封件19在相应封闭板7的关闭位置中的压紧。
74.在该实施例中，支撑部件20由承载框架13的基本材料形成，该基本材料优选为金属，特别是钢或铝。承载框架13的这种基本材料涂有滑动层，以便至少在支撑部件20的接触面的区域中减少相对于封闭板7和壁3的摩擦，这些接触面用于靠置在封闭板7或壁3上，该滑动层具有相比于封闭板7或壁3较低的摩擦系数。滑动层的材料例如塑料相对于封闭板7或壁的摩擦系数在任何情况下都低于承载框架13的基本材料相对于封闭板7或壁3的摩擦系数。为了给承载框架13涂层，例如可以设置ptfe或pfa。
75.也可以设想并且可能的是，承载框架13的整个构造由塑料材料、特别是由热固性塑料制成。
76.壁3和封闭板7优选地由金属特别是钢制成。
77.在该实施例中，多个彼此间隔开的支撑部件20分别布置在第一和第二纵向腿14、15旁边。例如，连续的条状支撑部件也可以靠近第一纵向腿14和第二纵向腿15伸展。例如，如下设计方式也是可行的，作为相应的支撑部件，环形条在相应的密封件18、19旁边伸展。
78.在该实施例中，支撑部件20还径向地布置在密封件18、19之外。替代地或附加地，支撑部件可以径向地布置在密封件18、19之内。
79.在该实施例中，相应的承载框架13仅固定在相应的壁3上，使得框架开口围绕相应的开口4。在这里，以这样的方式进行固定，即承载框架13的纵向腿14、15至少在中间区段中相对于壁3保持自由，这些中间区段优选地占据纵向腿14、15长度的至少一半，特别优选地至少三分之二。在该实施例中，在纵向腿14、15和横向腿16、17之间的四个拐角区域中进行固定。为此，承载框架13在这些拐角区域中具有孔21。螺钉22通过这些孔被拧入相应壁3的螺纹孔中。
80.由于纵向腿14、15至少在中间区段保持自由，可弹性变形的承载框架13的纵向腿14、15可以随着承载框架的变形而弯曲，使得这些纵向腿朝向它们的纵向中心逐渐彼此接近，参见图10中的虚线，其示意性地夸大地示出纵向腿之一的这种可能的弯曲。
81.根据本发明的真空阀例如可以用作用于布置在两个真空腔之间的转移阀。真空腔于是具有与开口4对齐的开口，并且通过螺旋连接和密封件与壁3连接，如已知的，并且未在图中详细示出。
82.现在介绍真空阀布置在它所连接的两个真空腔之间的情况。该连接分别通过布置在相应开口4周围的区域中的多个螺钉进行，其中，具有开口4的壁3和阀腔的具有与开口4对齐的对应开口的壁彼此拧紧。
83.当以这种方式与真空阀连接的真空腔从大气压被抽空时，真空腔的与真空阀的壁3连接的壁就会变形，使得壁中的狭槽形开口的宽度朝向中间略微减小，即开口的纵向边缘的各中间区段彼此相向地移动，并且壁的在这些区域中连接到开口的区段相应地也彼此相向地移动。由于其与真空阀的壁3螺旋连接，壁3在开口周围的区域中以相同的方式变形。于是，在基体的壁3中的开口4的宽度朝向中间稍微减小，即开口4的纵向边缘4a、4b的各中间区段以及壁3的在这些区域中连接到开口4的各区段相应地移动，使得这些区段彼此相向地移动，即相互接近。
84.在纵向边缘4a、4b的纵向中心的区域中，该接近例如可以在1.5mm至6mm的范围内。在图9中，在壁3的变形状态下，开口4的纵向边缘4a的位置由虚线表示。相对于壁3的松弛状态的移动由a表示。
85.如果封闭板在壁3变形时处于其关闭位置，即密封单元12被压靠到壁3上，则在壁3的连接到相应的纵向边缘4a、4b上的区段移动时，承载框架的相应纵向腿14、15通过作用到其上的摩擦力至少部分地被带动。这种带动在此是在克服承载框架13的弹性恢复力情况下发生的。该带动因此小于壁4的连接到相应纵向边缘4a、4b上的区段的移动a。在壁3的变形状态下承载框架13的纵向腿14的位置在图9中用虚线表示，相对于壁3的松弛状态的位移(用实线表示)用b表示。
86.相应支撑臂13的相应纵向腿14、15的中心的位移b的大小优选是被分配的壁3的位移a的大小的三分之一到三分之二，其中，约为1/2的值是特别优选的。与在壁3和封闭板7之间起作用的单个密封件相比，两个密封件18、19中的每一个因而受到较小的剪切载荷。由此减小了在使用过程中的磨损，从而也减少了颗粒的产生。这里应该注意的是，磨损的密封件比未磨损的密封件产生的颗粒要多得多。因此，在密封件的使用期间，通过本发明实现的减少颗粒产生越来越明显。因此，维护间歇也可以延长，在此仍然保持低于传统阀门的颗粒产生量。
87.密封单元12的第二实施例在图13至15中示出。下面解释与第一实施例的不同之处，其中，该设计的其余部分对应于第一实施例的设计。在本实施例中，支撑部件20由安装在承载框架13的基本材料上的塑料部件形成。这些塑料部件相对于壁3和封闭板7的摩擦系数低于承载框架的基本材料。
88.图16中示出了第三实施例。下面解释与第一实施例的不同之处，其中，该设计其余部分对应于第一实施例的设计。相应的承载框架13在此不固定在相应的壁3上，而仅固定在相应的封闭板7上。在此，安置在封闭板7上以与第一实施例中安置在壁3上类似的方式进行。特别地，承载框架13因此在拐角区域中具有孔，拧入封闭板7的螺纹孔中的螺钉22穿过这些孔。承载框架13的纵向腿14、15的至少中间的区段，优选地是纵向腿14、15长度的至少一半、特别优选地至少三分之二，因此相对于封闭板7是自由的。
89.在相应封闭板7的关闭位置，框架开口围绕壁3中的开口4，并且纵向腿14、15的中间区段可以在壁3、进而开口4变形时，通过对与壁3连接的真空腔抽空而以与第一实施例中完全类似的方式弯曲。
90.本发明的第四实施例示于图17和18中。下面解释与第一实施例的不同之处，该设计的其他部分对应于第一实施例的设计。
91.在该实施例中，设置了壁-止挡23和封闭板-止挡24，以确保当壁3的连接到相应开口上的相应区段变形时，相应纵向腿14、15的带动量处在期望的范围内，特别是在相应纵向腿14、15的纵向中心处，在相应开口4的相应纵向边缘4a、4b的纵向中心的位移大小的三分之一与三分之二之间。
92.壁-止挡23和封闭板-止挡24与承载框架13的纵向腿14、15的中间区段特别是在它们的纵向中心区域内相互作用。
93.图17中示出了当封闭板7处于关闭位置并且基体1松弛时存在的状态。图18中示出了当通过抽空与壁3连接的真空腔而使壁3变形时产生的状态。
94.在图17中，开口4的纵向边缘4a的位移大小a在其纵向中心处被标出。壁-止挡23在图17和18的状态之间也移动了a值。此外标出了在壁-止挡23和承载框架13的纵向腿14之间的初始的(＝在基体1的松弛状态下存在的)距离，以及标出了在承载框架13的封闭板-止挡24与承载框架13的纵向腿14之间的初始距离d。止挡23、24因此位于承载框架13的相关纵向腿14、15的两侧，其中，距离c、d小于位移的大小a。距离c、d优选地各自在a的大小的三分之一到三分之二的范围内。距离c和d的总和至少为a，优选地稍大一些(以便避免纵向腿14、15在值的a容差情况下卡住)。优选地，c和d之和小于a大小的三分之四。
95.如果当壁3在其连接到相应纵向边缘4a、4b的区段中移动时在基体1被抽空情况下相对于纵向腿14、15的摩擦很小，以至于它未被带动或仅被带动很少，则止挡23在壁3的位移过程中(最早在位移距离c之后)与相关的纵向腿14、15接触，并且随着壁3的进一步移动而使纵向腿14、15移位。这种情况的最终状态在图18中示出。
96.如果在壁3移动时相对于相关的纵向腿14、15的摩擦如此之大以至于该纵向腿至少在很大程度上相应于壁3的移动而被带动，则在壁3移动期间相关的纵向腿14、15与封闭板-止挡24接触(最早在位移距离d之后)，并且在壁3进一步位移时，则被阻挡以防止进一步位移。在这种情况下，在最终状态中，相关的纵向腿14、15靠在封闭板-止挡24上(图中未示出)。
97.纵向腿14在其纵向中心区域内的位移b也示于图17中。如已述，位移b的大小在大小a的三分之一到三分之二的范围内。
98.另一个改型的实施例示意性地在图19中示出。在这里，密封材料被硫化到承载框架13上，该密封材料从承载框架的一侧连续地延伸到另一侧，并且在此在承载框架的窄侧上延伸。该密封材料的位于承载框架13的相对侧的区段在此形成密封板-密封件18和壁-密封件19。
99.图20至22示出了安装在两个真空腔25之间的真空阀50。真空阀50是相应于本发明的第一实施例设计的，并且在图20和21的示图中，封闭板7处于打开位置，而在图22中处于关闭位置。真空阀50的基体1利用具有开口4的壁3安装在真空腔25的相邻壁27上。在此，在真空阀50的基体1的壁3中的开口4与在真空腔25的壁27中的开口28对齐，也就是说，基体1
的开口4和真空腔25的壁27的开口28具有相同的形状和尺寸，并且它们的边缘彼此齐平地对接。为了在真空阀50的壁3和真空腔25的壁27之间的真空密封的连接，采用了在图20中未示出的螺钉和在图20中同样未示出的、围绕开口4、28的密封圈。螺钉例如可以从相应真空腔25的内部空间26开始，穿过在壁27中的开口，旋入到在真空阀50的基体1的壁3中的螺纹孔内。这里存在环状地(在密封圈的内部或外部)围绕开口4、28的多个螺钉。也可以规定反向旋拧，从基体1的内部空间2开始，穿过在壁3中的开口，旋入到在壁27中的螺纹孔内。
100.当真空腔25之一从大气压被抽空(到小于大气压的十分之一的压力)时，开口28变形，其中，开口28的纵向边缘在中间区段中朝向彼此移动。壁27的在这些区域中连接到开口28上的区段在此朝向彼此移动，并且通过与基体1的相关壁3的拧紧而带动壁3的相应区段，从而使开口4也与已述类似地变形。
101.图20右侧所示的真空腔25在壁32中具有另一个开口29，该开口29可由根据本发明的真空门51封闭。在真空门51的打开状态下，该真空腔25因此通过开口29与周围空间连通。待处理的基板可以穿过开口29引入到真空设备中。
102.真空门51在很大程度上类似于真空阀的前面描述的第一实施例来设计。下面特别地说明与该真空阀的不同之处。对于真空门51，至少部分地使用与真空阀相同的附图标记。
103.在根据本发明的真空门51的该实施例中，与真空阀相比，基体30不设计为具有封闭内部空间的壳体。然而，以与真空阀完全类似的方式，该基体具有带有开口4的壁3，该壁以与结合真空阀描述的相同的方式设计。为了释放和封闭在基体30的壁3中的开口4，又使用了封闭板7，该封闭板可在开口4被释放的打开位置和开口4被真空密封地封闭的关闭位置之间移调。该移调可以与结合真空阀所述的相同方式通过中间位置进行，为此在此使用活塞-缸单元8、9。移调也可以以改型的方式进行，并且对此同样参考与真空阀相关的描述。
104.为了在封闭板7的关闭位置在封闭板7和壁3之间进行密封，采用了密封单元12，其以与结合真空阀描述的密封单元12相同的方式设计。
105.在该实施例中，密封单元12安装在壁3上，如结合真空阀的第一实施例所述。在真空门51的情况下，也可以替代地规定，密封单元12安装在封闭板7上，如结合真空阀的第三实施例所描述的(参见图16)。
106.结合真空阀描述的其他改型在真空门51上同样是可行的。于是，例如为了确保承载框架13的纵向腿14、15的弯曲处在期望的范围内，可以存在与真空阀的壁-止挡23和阀盘-止挡24类似的壁-止挡和阀盘-止挡。支撑部件20也可以由单独的部件形成。
107.然而，在真空门的情况下，也可想到并且可行的是，使用外壳形式的基体1。与由阀盘和封闭单元密封的开口相对的开口，在此可以保持自由，或者该开口也可以由阀盘密封。真空阀的前述实施方式因此也可以用作真空门。
108.图23-26示出了真空门51的另一个改型的实施方式。在这里，与真空门的前述实施方式的区别在于，密封单元12直接与真空腔25的壁32配合作用。真空门51通过基体31固定在真空腔51上。然而，基体31没有壁3，该壁具有与真空腔25的壁32的开口29对齐的开口4。
109.当真空腔25从大气压被抽真空时，开口变形，其中，第一和第二纵向边缘29a、29b的中间区段彼此接近。密封单元12的壁-密封件19在此直接贴靠在壁32上。工作方式与结合真空阀描述的完全类似。
110.在图23至26所示的实施例中，又以与上述相同的方式设计的密封单元12被安装在
封闭板7上(同样如已经描述的)。
111.图27示出了进一步的改型。在这里，密封单元安置在真空腔25的壁32上，确切地说，以与在安置于基体1的壁3上的情况完全类似的方式。因此，承载框架13以其框架开口围绕真空腔25的壁32的开口29，并且承载框架的第一和第二纵向腿14、15的至少中间的区段相对于壁32保持自由。因此，壁32上的固定点也特别是位于纵向腿和横向腿之间的拐角区域中，和/或位于横向腿的区域中。
112.结合真空阀描述的其他改型在此也可以以类似的方式应用。
113.附图标记清单
114.1基体
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24封闭板-止挡
115.2内部空间
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25阀体
116.3壁
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26内部空间
117.4开口
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27壁
118.4a第一纵向边缘
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28开口
119.4b第二纵向边缘
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29开口
120.4c第一横向边缘
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29a第一纵向边缘
121.4d第二横向边缘
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29b第二纵向边缘
122.5阀杆
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30基体
123.6承载单元
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31基体
124.7封闭板
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32壁
125.8活塞-缸单元
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50真空阀
126.9活塞-缸单元
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51真空门
127.10纵向轴线
128.11盖子
129.12密封单元
130.13承载框架
131.14第一纵腿
132.15第二纵腿
133.16第一横腿
134.17第二横腿
135.18封闭板-密封件
136.19壁-密封件
137.20支撑部件
138.21孔
139.22螺钉
140.23壁-止挡