一种基于防震减震的旋转冲洗设备的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基于防震减震的旋转冲洗设备。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。
3.大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
4.伴随着半导体的不断发展，半导体清洗技术也越来越重要；现有半导体清洗设备的防震、减震技术不够完善，在电机高速运转时，会产生极大的震动，而震动则会产生噪音，而电机带来的震动在长时间运作时则容易导致整个设备不稳定，清洗效率低。
5.为此，有必要提出一种基于防震减震的旋转冲洗设备来解决上述问题。


技术实现要素：

6.为了解决上述问题，本发明提出一种基于防震减震的旋转冲洗设备来解决上述问题。
7.本发明通过以下技术方案实现的：
8.本发明提出一种基于防震减震的旋转冲洗设备，包括主体、第一支撑架、第二支撑架、多个抗震组件、固定座，所述第一支撑架一端固定连接于所述主体一侧，所述第一支撑架另一端固定连接于所述固定座上表面，所述第二支撑架一端与所述主体尾部固定连接，所述第二支撑架另一端分别通过多个所述抗震组件与所述固定座上表面形成固定连接，所述抗震组件包括支撑件、两个贴合件、减震环，所述支撑件上对称设有两个支撑柱，所述支撑柱上设有固定槽，两个所述贴合件分别与两个所述固定槽一一对应并收容于所述固定槽内，两个所述支撑柱之间设有环形槽，所述减震环固定收容于所述环形槽内，所述贴合件上设有接触凸台、吸音孔、多个第一抗震槽，所述吸音孔位于所述接触凸台中部，多个所述第一抗震槽围绕所述吸音孔周向均布，所述接触凸台上设有多个周向均布的支撑凸台、多个周向均布的间隔槽，一个所述支撑凸台位于两个所述间隔槽之间。
9.进一步的，所述支撑凸台上设有多个依次排列的吸附孔。
10.进一步的，所述吸音孔的孔壁上设有多个周向均布的吸音槽。
11.进一步的，所述支撑柱一端设有用于吸收震动的吸震环，所述吸震环上设有多个错位且周向均布的摆动条。
12.进一步的，所述固定槽外围设有多个周向均布的第二抗震槽。
13.进一步的，所述减震环内环上设有两个第一缓冲部、挤压槽，两个所述第一缓冲部位于所述挤压槽两侧，所述第一缓冲部包括多个依次排列的第一环形板、多个依次排列的
第一避让槽，所述第一避让槽位于相邻的两个所述第一环形板之间。
14.进一步的，所述减震环外环上设有用于缓冲的第二缓冲部，所述第二缓冲部包括多个依次排列的第二环形板、多个依次排列的第二避让槽，所述第二避让槽位于相邻的两个所述第二环形板之间。
15.进一步的，所述第一支撑架包括四个支撑杆、两个c型支撑板，两个所述c型支撑板的一侧分别固定连接于所述主体的两侧，两个所述支撑杆的一端均固定连接于一个所述c型支撑板上，所述支撑杆另一端固定连接于所述固定座上表面。
16.进一步的，所述基于防震减震的旋转冲洗设备还包括吸音块，所述固定座上设有安装槽，所述吸音块固定收容于所述安装槽内。
17.进一步的，所述吸音块上设有吸音部、吸震部，所述吸音部位于所述吸震部上方，所述吸音部上设有多个依次排列的消音板，所述消音板两侧均设有多个依次排列的消音孔。
18.本发明的有益效果：
19.本发明采用的第一支撑架、第二支撑架将主体进行首尾支撑，同时采用多个抗震组件设置在第二支撑架与固定座之间，使得主体在运行时所产生的震动从首部逐渐传递至尾部，而尾部的震动则由第二支撑架传递至抗震组件上，此时抗震组件则将大部分震动进行吸收，传递到固定座上的震动则少之又少，此时则不会导致固定座发生高频抖动而产生较大的噪音；
20.本发明采用了吸音块对固定座上的小幅震动所产生的小幅噪音进行吸收，有利于本基于防震减震的旋转冲洗设备保持静音运作。
附图说明
21.图1为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的整体示意图；
22.图2为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的固定座示意图；
23.图3为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的吸音块示意图；
24.图4为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的减震环示意图；
25.图5为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的抗震组件爆炸图；
26.图6为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的抗震组件剖视图；
27.图7为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的贴合件示意图；
28.图8为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的贴合件另一角度示意图；
29.图9为本发明的基于防震减震的旋转冲洗设备的支撑件示意图。
具体实施方式
30.为了更加清楚完整的说明本发明的技术方案，下面结合附图对本发明作进一步说明。
31.请参考图1-图9，本发明提出一种基于防震减震的旋转冲洗设备，包括主体1、第一支撑架2、第二支撑架3、多个抗震组件4、固定座5，第一支撑架2一端固定连接于主体1一侧，第一支撑架2另一端固定连接于固定座5上表面，第二支撑架3一端与主体1尾部固定连接，第二支撑架3另一端分别通过多个抗震组件4与固定座5上表面形成固定连接，抗震组件4包
括支撑件41、两个贴合件42、减震环43，支撑件41上对称设有两个支撑柱411，支撑柱411上设有固定槽4111，两个贴合件42分别与两个固定槽4111一一对应并收容于固定槽4111内，两个支撑柱411之间设有环形槽4112，减震环43固定收容于环形槽4112内，贴合件42上设有接触凸台421、吸音孔422、多个第一抗震槽423，吸音孔422位于接触凸台421中部，多个第一抗震槽423围绕吸音孔422周向均布，接触凸台421上设有多个周向均布的支撑凸台4211、多个周向均布的间隔槽4212，一个支撑凸台4211位于两个间隔槽4212之间。
32.在本实施方式中：
33.主体1为旋转冲洗设备本体，用于对半导体进行清洗；
34.第一支撑架2用于为主体1提供一个首部支撑的结构；
35.第二支撑架3用于为主体1的尾部提供一个支撑结构；
36.抗震组件4共有4个，用于吸收第二支撑架3的震动；
37.支撑件41为橡胶材料所制，用于为贴合件42以及减震环43提供一个稳固的固定结构；
38.支撑柱411用于为贴合件42提供一个稳固的固定结构；
39.固定槽4111用于为贴合件42提供一个放置的空间；
40.环形槽4112用于为减震环43提供一个放置的空间；
41.贴合件42为软性橡胶材料所制，共有2个，一个用于与第二支撑架3接触减震，另一个用于与固定座5接触减震；
42.接触凸台421用于为贴合件42提供一个与外部结构接触吸音减震的结构；
43.支撑凸台4211用于与外部结构进行接触；
44.间隔槽4212用于为支撑凸台4211在受到挤压外撑时提供一个进入的空间；
45.吸音孔422用于吸收与贴合件42接触的结构在震动时所产生的噪音；
46.第一抗震槽423用于为贴合件42在接收震动时内部结构摆动的空间；
47.减震环43用于为两个支撑柱411在受到挤压时提供一个支撑以及缓冲的结构；
48.固定座5用于为第一支撑架2、抗震组件4提供一个稳固的支撑结构；
49.具体的，第一支撑架2、第二支撑架3将主体1进行首尾支撑，同时采用多个抗震组件4设置在第二支撑架3与固定座5之间，在主体1进行运作时，主体1在运行时所产生的震动从首部逐渐传递至尾部，而尾部的震动则由第二支撑架3传递至抗震组件4上，此时抗震组件4则将大部分震动进行吸收，能够传递到固定座5上的震动则少之又少，此时则不会导致固定座5发生高频抖动而产生较大的噪音。
50.进一步的，支撑凸台4211上设有多个依次排列的吸附孔42111。
51.进一步的，吸音孔422的孔壁上设有多个周向均布的吸音槽4221。
52.进一步的，支撑柱411一端设有用于吸收震动的吸震环4113，吸震环4113上设有多个错位且周向均布的摆动条41131。
53.在本实施方式中：
54.吸震环4113用于吸收与支撑柱411衔接的外部结构所产生的震动；
55.摆动条41131用于将吸震环4113所产生的震动进行消耗。
56.进一步的，固定槽4111外围设有多个周向均布的第二抗震槽4114。
57.在本实施方式中：
58.第二抗震槽4114用于为贴合件42在吸收震动后所产生的左右摇动提供一个空间。
59.进一步的，减震环43内环上设有两个第一缓冲部431、挤压槽432，两个第一缓冲部431位于挤压槽432两侧，第一缓冲部431包括多个依次排列的第一环形板4311、多个依次排列的第一避让槽4312，第一避让槽4312位于相邻的两个第一环形板4311之间；减震环43外环上设有用于缓冲的第二缓冲部433，第二缓冲部433包括多个依次排列的第二环形板4331、多个依次排列的第二避让槽4332，第二避让槽4332位于相邻的两个第二环形板4331之间。
60.在本实施方式中：
61.第一缓冲部431用于为减震环43的内环在受到挤压时提供一个缓冲的结构；
62.第一环形板4311用于提供支撑；
63.第一避让槽4312用于为第一环形板4311在受到挤压时提供一个移动的空间；
64.挤压槽432用于为第一缓冲部431受到挤压时提供一个避让的空间；
65.第二缓冲部433用于为减震环43的外环在受到挤压时提供一个缓冲的结构；
66.第二环形板4331用于提供支撑；
67.第二避让槽4332用于为第二环形板4331在受到挤压时提供一个移动的空间；
68.具体的，在减震环43受到上下两个支撑柱411的挤压时，第一缓冲部431与第二缓冲部433则能够承受支撑柱411的挤压，同时将靠近第二支撑架3的支撑柱411所传递的震动进行阻隔。
69.进一步的，第一支撑架2包括四个支撑杆21、两个c型支撑板22，两个c型支撑板22的一侧分别固定连接于主体1的两侧，两个支撑杆21的一端均固定连接于一个c型支撑板22上，支撑杆21另一端固定连接于固定座5上表面。
70.在本实施方式中：
71.支撑杆21共有4个，用于为c型支撑板22提供支撑结构；
72.c型支撑板22用于与主体1形成固定连接；
73.具体的，在主体1运行时，所产生的震动由c型支撑板22传递至4个支撑杆21上，4个支撑杆21与主体1和固定座5形成四方体支撑结构，在接收到震动后则容易形成左右摆动的趋势，即类似鱼尾的摆动，此时震动则逐步传递至主体1的尾部。
74.进一步的，基于防震减震的旋转冲洗设备还包括吸音块6，固定座5上设有安装槽51，吸音块6固定收容于安装槽51内；吸音块6上设有吸音部61、吸震部62，吸音部61位于吸震部62上方，吸音部61上设有多个依次排列的消音板611，消音板611两侧均设有多个依次排列的消音孔6111。
75.在本实施方式中：
76.吸音块6用于吸收主体1在震动时所发出的噪音，以及吸收固定座5在震动时所发出的噪音；
77.吸音部61用于吸收主体1在震动时所发出的噪音；
78.消音板611用于吸收噪音；
79.消音孔6111用于吸收噪音；
80.吸震部62用于吸收固定座5的震动；
81.安装槽51用于为吸音块6提供一个放置的空间；
82.具体的，本发明采用了吸音块6对固定座5上的小幅震动所产生的小幅噪音进行吸收，有利于本基于防震减震的旋转冲洗设备保持静音运作。
83.当然，本发明还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本发明所保护的范围。