一种空气弹簧及载台系统的制作方法

1.本实用新型属于高精机台领域，涉及隔振技术，具体公开了一种空气弹簧及载台系统。


背景技术：

2.在检测、加工技术中，一般需要一个稳定的工作台，而工作台一般通过机架或地脚支撑于底面上。而工作台，如载台一般会因自身运动及外力产生振动，这是系统或工作台主要的误差来源之一，降低载台的精度和稳定性，需要消除。因此，亟需开发一种能够消除工作台因必要的运动产生的震动的方案。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种空气弹簧及载台系统，其能解决上述问题。
4.一种空气弹簧，空气弹簧包括弹簧支架、气囊、法兰压环、内盖体、阀盖和气阀；其中，所述弹簧支架的支架体被隔板分隔成上腔体和下腔体，并在上腔体的顶端开设弹簧座孔；所述气囊通过弹簧座孔坐设于所述上腔体中；所述内盖体通过所述法兰压环设置在所述气囊内；所述阀盖螺纹连接至所述内盖体，气阀通过阀盖和内盖体与所述气囊的内腔连通设置，用于控制弹簧的膨胀高度。
5.进一步的，在所述内盖体的中部开设下阀孔，在所述阀盖的中部轴向开设上阀孔，并在所述上阀孔内壁的径向连通的开设气道，用于气阀的进排气。
6.本申请还提供了一种载台系统，载台系统包括下机架、侧边梁和底座板；所述下机架包括由多根横杆连接的四根中空支腿，四个空气弹簧安装于所述中空支腿中，四根所述中空支腿的底部由调高地脚支撑；两个侧边梁的端部支撑在所述空气弹簧的顶部；所述底座板的底面四边支撑在所述横杆上，且所述侧边梁的底面与对应处的底座板的顶面抵接；通过四个空气弹簧将两根侧边梁弹性的支撑在下机架的两侧边中空支腿上。
7.进一步的，在两根所述侧边梁的两根中空支腿上端设置两个电涡流传感器，对应的在所述侧边梁上设置电涡流感应片；通过电涡流传感器和电涡流感应片实时监测侧边梁被空气弹簧的支撑高度。
8.相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：通过本实用新型的空气弹簧和载台系统，能够精确的监测和调节横梁高度，提高吸振性能，保证载台系统的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。
附图说明
9.图1为空气弹簧的装配示意图；
10.图2为空气弹簧的分解示意图；
11.图3为空气弹簧的分解剖视图；
12.图4为气囊的剖视图；
13.图5为载台系统的示意图。
14.图中：
15.1、弹簧支架；11、支架体；12、隔板；13、弹簧座孔；14、上腔体；15、下腔体；16、下连接孔；
16.2、气囊；21、弹性囊体；22、弹性凸环；23、法兰端板；24、缓冲槽；
17.3、法兰压环；
18.4、内盖体；41、下阀孔；
19.5、阀盖；51、上阀孔；52、气道；
20.100、下机架；101、中空支腿；102、横杆；103、调高地脚；
21.200、侧边梁；
22.300、底座板；
23.400、电涡流传感器；
24.500、电涡流感应片。
具体实施方式
25.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.空气弹簧
27.一种空气弹簧，参见图1-图4，空气弹簧包括弹簧支架1、气囊2、法兰压环3、内盖体4、阀盖5和气阀(图未示)。
28.布置关系：弹簧支架1的支架体11被隔板12分隔成上腔体14和下腔体15，并在上腔体14的顶端开设弹簧座孔13；所述气囊2通过弹簧座孔13坐设于所述上腔体14中；所述内盖体4通过所述法兰压环3设置在所述气囊2内；所述阀盖5螺纹连接至所述内盖体4，气阀通过阀盖5和内盖体4与所述气囊2的内腔连通设置，用于控制弹簧的膨胀高度。
29.其中，弹簧支架1包括支架体11、隔板12、弹簧座孔13、上腔体14、下腔体15和下连接孔16。下端底板可以封堵也可以开孔连接其他结构，如采用活塞杆方式的，隔板12为活塞，下端底板的开孔用于连接活塞杆。通过活塞和活塞杆控制弹簧支架1内的空腔弹性刚度。
30.其中，气囊2包括一体成型的钟形的弹性囊体21、弹性凸环22和法兰端板23；所述弹性凸环22与法兰端板23的内缘连接处开设缓冲槽24。
31.其中，在所述内盖体4的中部开设下阀孔41，在所述阀盖5的中部轴向开设上阀孔51，并在所述上阀孔51内壁的径向连通的开设气道52，用于气阀的进排气。
32.载台系统
33.一种载台系统，参见图5，包括下机架100、侧边梁200和底座板300。
34.布置关系：下机架100包括由多根横杆102连接的四根中空支腿101，四个前述的空
气弹簧安装于所述中空支腿101中，四根所述中空支腿101的底部由调高地脚103支撑。两个侧边梁200的端部支撑在所述空气弹簧的顶部；所述底座板300的底面四边支撑在所述横杆102上，且所述侧边梁200的底面与对应处的底座板300的顶面抵接。通过四个空气弹簧将两根侧边梁200弹性的支撑在下机架100的两侧边中空支腿101上。
35.高度监测：在两根所述侧边梁200的两根中空支腿101上端设置两个电涡流传感器400，对应的在所述侧边梁200上设置电涡流感应片500；通过电涡流传感器400和电涡流感应片500实时监测侧边梁200被空气弹簧的支撑高度。
36.上述的载台系统，不仅可以用于晶圆的支撑载台，还可以用于其他类似的板类产品的高精支撑，载台可应用于高精检测、加工机台上，如半导体晶圆、光伏晶圆的量检测机台，高精测量机构、三坐标测量机等的机台等中，以此提高稳定的支撑、吸振和定位作用。
37.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种空气弹簧，其特征在于：空气弹簧包括弹簧支架(1)、气囊(2)、法兰压环(3)、内盖体(4)、阀盖(5)和气阀；其中，所述弹簧支架(1)的支架体(11)被隔板(12)分隔成上腔体(14)和下腔体(15)，并在上腔体(14)的顶端开设弹簧座孔(13)；所述气囊(2)通过弹簧座孔(13)坐设于所述上腔体(14)中；所述内盖体(4)通过所述法兰压环(3)设置在所述气囊(2)内；所述阀盖(5)螺纹连接至所述内盖体(4)，气阀通过阀盖(5)和内盖体(4)与所述气囊(2)的内腔连通设置，用于控制弹簧的膨胀高度。2.根据权利要求1所述的空气弹簧，其特征在于：所述气囊(2)包括一体成型的钟形的弹性囊体(21)、弹性凸环(22)和法兰端板(23)；所述弹性凸环(22)与法兰端板(23)的内缘连接处开设缓冲槽(24)。3.根据权利要求1所述的空气弹簧，其特征在于：在所述内盖体(4)的中部开设下阀孔(41)，在所述阀盖(5)的中部轴向开设上阀孔(51)，并在所述上阀孔(51)内壁的径向连通的开设气道(52)，用于气阀的进排气。4.一种载台系统，其特征在于：载台系统包括下机架(100)、侧边梁(200)和底座板(300)；所述下机架(100)包括由多根横杆(102)连接的四根中空支腿(101)，四个根据权利要求1-3任一项所述的空气弹簧安装于所述中空支腿(101)中，四根所述中空支腿(101)的底部由调高地脚(103)支撑；两个侧边梁(200)的端部支撑在所述空气弹簧的顶部；所述底座板(300)的底面四边支撑在所述横杆(102)上，且所述侧边梁(200)的底面与对应处的底座板(300)的顶面抵接；通过四个空气弹簧将两根侧边梁(200)弹性的支撑在下机架(100)的两侧边中空支腿(101)上。5.根据权利要求4所述的载台系统，其特征在于：在两根所述侧边梁(200)的两根中空支腿(101)上端设置两个电涡流传感器(400)，对应的在所述侧边梁(200)上设置电涡流感应片(500)；通过电涡流传感器(400)和电涡流感应片(500)实时监测侧边梁(200)被空气弹簧的支撑高度。

技术总结
本实用新型提供了一种空气弹簧及载台系统，属于高精机台领域，空气弹簧包括弹簧支架、气囊、法兰压环、内盖体、阀盖和气阀；载台系统包括下机架、侧边梁和底座板；下机架应用空气弹簧支撑，在空气弹簧的下机架处安装电涡流传感器实时监测侧边梁被空气弹簧的支撑高度；通过本方案，能够精确的监测和调节载台高度，提高吸振性能，保证载台系统的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。中推广应用。中推广应用。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：苏州矽行半导体技术有限公司
技术研发日：2022.03.29
技术公布日：2022/7/11