一种光刻装置及其应用的制作方法

技术特征：
1.一种光刻装置，其特征在于，包括led光源，所述led光源包括多个led芯片和与所述led芯片一一对应的透镜，每个所述led芯片与对应的所述透镜共光轴；多个所述led芯片包括中央led芯片、第一类led芯片和第二类led芯片，所述第一类led芯片的中心位于以所述中央led芯片的中心为圆心的第一圆周上，所述第二类led芯片的中心位于以所述中央led芯片的中心为圆心的第二圆周上，且所述第一圆周的半径小于所述第二圆周的半径。2.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于，所述第一类led芯片的出光平面和所述第二类led芯片的出光平面均与所述中央led芯片的出光平面呈第一夹角，且所述第一类led芯片和所述第二类led芯片以所述中央led芯片为中心向靠近所述透镜一侧倾斜。3.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于，所述透镜包括中央透镜和边缘透镜；所述中央透镜与所述中央led芯片共光轴；所述边缘透镜包括第一边缘透镜和第二边缘透镜，第一边缘透镜与所述第一类led芯片一一对应共光轴，所述第二边缘透镜与所述第二类led芯片一一对应共光轴。4.根据权利要求3所述的光刻装置，其特征在于，所述第一类led芯片包括三个led芯片，所述第二类led芯片包括三个led芯片。5.根据权利要求4所述的光刻装置，其特征在于，所述透镜包括一个中央透镜和围绕所述中央透镜设置的六个所述边缘透镜；所述中央透镜在第一平面的投影为六边形，所述边缘透镜围绕所述中央透镜紧密排列；所述第一平面为垂直于所述中央透镜的光轴的平面。6.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于，所述第一夹角大于或等于5
°
，小于或等于15
°
。7.根据权利要求6所述的光刻装置，其特征在于，所述第一夹角为10
°
。8.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于，还包括散热模块，所述散热模块设置于所述led芯片背离所述透镜的一侧，并与所述led芯片接触；所述散热模块包括进液口、出液口以及连接所述进液口和所述出液口且回旋设置的冷却液流通管路。9.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于，还包括控制器、光源驱动器和电子快门，所述光源驱动器和所述led芯片电连接，所述光源驱动器和所述电子快门均与所述控制器电连接；所述光源驱动器用于在所述控制器的控制下驱动所述led芯片发光；所述电子快门位于所述透镜背离所述led芯片的一侧，所述电子快门用于在所述控制器的控制下，在所述led芯片发光稳定后打开，以使所述led光源输出稳定光线。10.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于，所述led芯片的功率为20w，出射光线的发散角为6
°
。11.一种基于权利要求1～10任一所述的光刻装置的应用，其特征在于，所述光刻装置用于对基板进行边缘曝光。

技术总结
本发明实施例公开了一种光刻装置及其应用。光刻装置包括LED光源，LED光源包括多个LED芯片和透镜，每个LED芯片与对应的透镜共光轴；第一类LED芯片的中心位于以中央LED芯片的中心为圆心的第一圆周上，第二类LED芯片的中心位于以中央LED芯片的中心为圆心的第二圆周上，且第一圆周的半径小于第二圆周的半径。本发明实施例的技术方案，可以实现在9.4mm


技术研发人员：田翠侠
受保护的技术使用者：上海微电子装备(集团)股份有限公司
技术研发日：2021.01.04
技术公布日：2022/7/8