吹扫力校准工装和吹扫装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体而言，涉及一种吹扫力校准工装和吹扫装置。


背景技术：

2.半导体工件加工过程中，使用压缩气体或其他无色透明气体对工件的目标区域(点)进行吹扫时，若被吹扫表面对气流的响应在视觉上无法显现时，就无法判断目标区域(点)是否有被气流有效地吹扫到，进而影响操作人员对吹扫结果的判断，尤其是当目标区域非常小时，肉眼根本无法看清气流与目标区域，此时操作人员无法确定目标区域是否有被吹扫到。目前的作业方法主要有两种，其一、目标区域(点)通常标记在工件的几何中心，在吹扫时，使用ccd工业相机系统扫描轮廓并找到目标区域(点)，然后使用气流喷射工具进行吹扫；其二、人员手持气流喷射工具遍历包含目标区域(点)的表面。
3.经发明人研究发现，现有的工件吹扫装置存在如下缺点：
4.采用ccd工业相机成本高，且不能判断目标区域是否受到最大吹扫力；采用人工遍扫，费时费力，效率低，误差大。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种吹扫力校准工装和吹扫装置，其能够在降低成本的前提下，还能够确保工件的目标区域被最大吹扫力扫到。
6.本实用新型的实施例是这样实现的：
7.第一方面，本实用新型提供一种吹扫力校准工装，包括：
8.载台，所述载台用于承载工件；
9.测压模组，所述测压模组与所述载台连接，用于检测吹向所述载台上的目标区域的气体的气压；
10.以及固定件，所述固定件与所述载台连接，所述固定件与所述载台配合用于定位工件。
11.在可选的实施方式中，所述测压模组包括气压探针、输气管和压力计，所述输气管同时连通所述气压探针以及所述压力计，所述气压探针与所述载台连接，所述气压探针用于采集吹向目标区域的气体并将其输送至输气管，所述压力计用于显示由所述输气管输送的气体的气压值。
12.在可选的实施方式中，所述载台具有用于承载工件的承载面，所述承载面上设置有通孔，所述气压探针插接于所述通孔内且不凸出所述承载面。
13.在可选的实施方式中，所述承载面的外轮廓形状与工件的外轮廓形状相同。
14.在可选的实施方式中，所述输气管设置为软管。
15.在可选的实施方式中，所述固定件与所述载台通过螺钉固定连接。
16.在可选的实施方式中，所述固定件包括相连的安装环和压紧环，所述安装环套接
于所述载台外，所述螺钉螺接于所述安装环上并能够与所述载台抵持；所述压紧环与所述载台配合用于夹持工件。
17.在可选的实施方式中，所述吹扫力校准工装还包括移动平台，所述载台或所述固定件与所述移动平台连接，所述移动平台用于带动所述载台和所述固定件相对于输气机构移动。
18.在可选的实施方式中，所述移动平台设置为二维移动平台或三维移动平台。
19.第二方面，本实用新型提供一种吹扫装置，所述吹扫装置包括：
20.输气机构以及前述实施方式中任一项所述的吹扫力校准工装，所述输气机构用于向所述载台吹气。
21.本实用新型实施例的有益效果是：
22.综上所述，本实施例提供了一种吹扫力校准工装，使用时，先使载台空载，也就是说载台上先不放置工件，位于载台上的测压模组未被工件遮挡。然后，载台置于输气机构的出气路径上，使载台在设定范围内相对于输气机构移动。当载台在设定范围内移动的过程中，气体会作用于测压模组上，使得测压模组能够检测到在当前位置下载台上目标区域的气压值。载台在设定范围内的每个位置处均能通过测压模组获取到相应位置的气压值，也即，载台所处的每个位置分别对应了一个气压值，如此，当载台遍历设定范围后，将测压模组获取的多个气压值进行对比，气压值最大即为吹扫力最大，根据最大的吹扫力反推载台所处位置，即可得到目标区域受到最大吹扫力时载台所处的位置，再将载台移动至目标区域受到最大吹扫力的位置处，至此，完成了吹扫力的校准。然后，将工件设于载台上，通过载台和固定件固定，并且使工件的目标区域与载台的目标区域重合即可，如此能够有效保证工件的目标区域受到最大吹扫力。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
24.图1为本实用新型实施例的吹扫力校准工装的剖视结构示意图；
25.图2为本实用新型实施例的固定件的结构示意图；
26.图3为本实用新型实施例的吹扫力校准工装的立体结构示意图。
27.图标:
28.100-载台；110-承载面；120-通孔；130-连接凸部；200-测压模组；210-气压探针；220-输气管；230-压力计；300-固定件；310-安装环；320-压紧环；330-螺钉；400-移动平台；410-基体；420-第一移动件；430-第二移动件。
具体实施方式
29.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和
示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
30.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
32.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
33.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
34.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
35.在利用气压吹扫工件表面时，由于气流不易被肉眼发现，作业过程中，工作人员不能确定工件表面的目标区域是否被吹扫过，以及不能确定工件的目标区域是否受到最大的吹扫力。目前，采用ccd工业相机辅助判断，这种方式成本高，且不能够判断目标区域是否有受到最大吹扫力；或者，作业人员手持气流喷射工具遍历工件表面，以保证工件的目标区域有被气流扫过，这种方式效率低，并且误差大。
36.鉴于此，设计者设计了一种吹扫力校准工装，能够有效保证工件的目标区域受到最大吹扫力，成本低，准确性高。
37.请参阅图1，本实施例中，吹扫力校准工装包括载台100、测压模组200和固定件300。载台100用于承载工件。测压模组200与载台100连接，用于检测吹向载台100上的目标区域的气体的气压。固定件300与载台100连接，固定件300与载台100配合用于定位工件。
38.本实施例中，可选的，载台100具有承载面110，承载面110上设置有贯穿载台100的通孔120，通孔120位于承载面110上的目标区域中。载台100的承载面110的形状大小与待定位的工件的形状大小匹配。也就是说，例如工件为圆片，且工件的直径为φ1，那么承载面110也设置为圆面，承载面110的直径为φ2，且φ1＝φ2。如此，承载面110的目标区域为承载面110的中部区域，而工件的目标区域为工件自身的中部区域，当工件定位于载台100后，工件的目标区域即与载台100的目标区域重合，工件与载台100的装配更加便捷可靠。显然，在其他实施例中，工件的形状可以不为圆片状，并且工件还可以是非对称结构，载台100的设计与工件的形状匹配即可，使得工件定位于载台100后，工件的目标区域直接于载台100
上的目标区域重合，装配便捷。
39.进一步的，载台100设有连接凸部130，连接凸部130用于与移动平台400连接。通孔120贯穿连接凸部130。可选的，连接凸部130可以设置为螺杆部，与移动平台400螺接固定。
40.请参阅图1，本实施例中，可选的，测压模组200包括气压探针210、输气管220和压力计230，输气管220同时连通气压探针210以及压力计230，气压探针210与载台100连接，并且插接在通孔120中，气压探针210从连接凸部130处插入通孔120中，并且没有凸出承载面110。气压探针210用于采集吹向目标区域的气体并将其输送至输气管220，压力计230用于显示由输气管220输送的气体的气压值。如此，通过压力计230能够准确且实时的反应出目标区域的气压值。可以自动或手动记录载台100处于不同位置下的目标区域的气压值，该气压值的大小直接反映出吹扫力的大小，也就是说，当气压值最大时，能够准确地得到该位置下目标区域受到的吹扫力最大。
41.进一步的，输气管220设置为软管，输气管220的形变能力强，能够在外力作用下弯曲，适应能力强，能够在设定空间范围内移动。
42.请参阅图2，本实施例中，可选的，固定件300包括相连的安装环310和压紧环320，安装环310套接于载台100外，且安装环310能够相对于载台100在载台100的轴线延伸方向上滑动。压紧环320在通孔120的轴线上的正投影的部分落入承载面110内，落入承载面110内的压紧环320的部分与载台100的承载面110配合用于夹持工件。由于安装环310能够相对于载台100滑动，从而调节承载面110与压紧环320之间的距离，从而适应不同厚度的工件的夹持。同时，压紧环320围绕载台100设置，压紧环320的四周均能够压紧在工件上，工件的定位效果好。进一步的，在安装环310上螺接有螺钉330，通过旋拧螺钉330，能够调节安装环310与载台100的松紧度，也就是说，当需要固定安装环310和载台100时，螺钉330的端部抵紧在载台100的套接安装环310的外周面上，此时，安装环310和载台100相对固定，从而使压紧环320与载台100配合实现工件的夹紧定位。当需要拆装工件时，旋松螺钉330，螺钉330的端部与安装环310具有间距，安装环310能够从载台100上取下，从而进行工件安装或更换等作业。
43.请参阅图3，本实施例中，可选的，吹扫力校准工装还包括移动平台400，移动平台400设置为二维移动平台400或三维移动平台400。本实施例中，以移动平台400为二维移动平台400为例进行说明。移动平台400包括基体410、第一移动件420和第二移动件430，第一移动件420与基体410在第一方向上可滑动地连接，第二移动件430与第一移动件420在第二方向上可滑动地连接，第一方向和第二方向垂直，显然，在其他实施例中，第一方向和第二方向可以为其他角度。载体利用其连接凸部130与第二移动件430可拆卸地连接。通过移动平台400能够带动载台100在设定范围内运动。
44.应当理解，移动平台400还可以包括驱动模组，能够使第一移动件420和第二移动件430自动运行。
45.本实施例提供的吹扫力校准工装的工作原理如下：
46.使用时，先使载台100空载，也就是说载台100上先不放置工件，位于载台100上的测压模组200未被工件遮挡。然后，载台100置于输气机构对应的位置处，使载台100在设定范围内相对于输气机构移动。载台100在设定范围内移动的过程中，气体会作用于气压探针210上，气压探针210将气体通过输气管220传输至压力计230，使得压力计230能够检测到在
当前位置下载台100上目标区域的气压值。载台100在设定范围内的每个位置处均能通过压力计230获取到相应位置的气压值，也即，载台100所处的每个位置分别对应了一个气压值，如此，当载台100遍历设定范围后，将测压模组200获取的多个气压值进行对比，气压值最大即为吹扫力最大，根据最大的吹扫力反推载台100所处位置，即可得到目标区域受到最大吹扫力时载台100所处的位置，再将载台100移动至目标区域受到最大吹扫力的位置处，至此，完成了吹扫力的校准。然后，将工件设于载台100上，通过载台100和固定件300固定，并且使工件的目标区域与载台100的目标区域重合即可，如此能够有效保证工件的目标区域受到最大吹扫力。
47.本实施例还提供了一种吹扫装置，包括输气机构和吹扫力校准工装，输气机构用于向载台100吹气，输气机构可以是气流喷枪。该吹扫装置能够确保工件的目标区域受到最大吹扫力。
48.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。