一种用于平面电机冷却的预制金属管路的制作方法

1.本实用新型涉及一种电机用冷却装置，特别是涉及一种用于平面电机冷却的预制金属管路。


背景技术：

2.随着半导体行业的发展，光刻机工件台的工作环境由大气转入真空环境中，对光刻机共件台上的各个部件提出了新的要求，首先零部件不得有较大的释气，同时，零部件自身在真空环境中不会产生颗粒来污染环境。通常，光刻机工件台上使用的为粗动部件平面电机提供冷却水的管材材质为pu(聚氨酯)或其它有一定柔韧性的高分子材料，通过管路接头与平面电机相连，为平面电机持续提供冷却水，达到带走电机内部热量以使平面电机持续工作的目的。但在真空中，pu管的释气率较大，对于有真空度要求的环境，很难满足使用要求，个别高分子材料管材虽然释气率较小，但其渗透率较大，同时现用pu管在安装时多为现场安装，采用高分子材料的管路，其在有真空度要求的安装和工作条件下，容易向环境中释放颗粒，污染环境。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是提供在真空环境中使用的低释气、低渗透率且有利于增加管路可靠性的一种用于平面电机冷却的预制金属管路。
4.为了解决上述技术问题，本技术提供了如下技术方案：
5.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，包括主安装板，还包括布置于所述主安装板上的金属材质的冷却水管，所述主安装板底部固定安装有若干个设进水口、出水口的平面电机，顶部固定有与所述进水口、出水口数量一致且一一对应密封连接的密封阀块，所述密封阀块通过冷却水管连接分水阀块，所述分水阀块固定于所述主安装板上。
6.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中所述进水口、出水口在所述平面电机上沿对角线布置，所述密封阀块与进水口、出水口通过螺钉连接且连接面通过端面密封圈密封。
7.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中所述冷却水管两端端部均配置有卡套接头，所述密封阀块、分水阀块上分别焊接有与两个所述卡套接头连接的公头一、公头二。
8.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中单根所述冷却水管通过设置于其上的若干个单管夹定位在所述主安装板上，多根相邻冷却水管通过组合管夹定位在所述主安装板上。
9.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中所述单管夹包括通过螺钉一固定连接的上半部分一、下半部分一且该上半部分一、下半部分一之间设置有与所述冷却水管适配的通孔一。
10.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中所述组合管夹包括通过螺钉二固定连接的上半部分二、下半部分二且该上半部分二、下半部分二之间设置有若干个与所述冷却水管适配的通孔二。
11.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中所述下半部分一、下半部分二通过内六角圆柱头螺钉固定安装在所述主安装板上。
12.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中所述分水阀块上预留有连接检测仪器用的端口，所述检测仪器用于氦气检漏或者通水试验。
13.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中所述冷却水管的材质为ta2工业纯钛。
14.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，其中所述主安装板底部四角处设置有支撑底脚。
15.与现有技术相比，本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路至少具有以下有益效果：
16.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路中冷却水管采用金属材质管，如ta2工业纯钛，光刻机工件台是在有磁性的环境中进行工作，采用工业纯钛ta2等无磁性材料，目的在于减少周围磁场环境对工件台的电磁影响，金属管释气很小，同时不会释放污染真空环境的颗粒，相比于可以在真空环境中使用的高分材料管，本技术的冷却水管弯曲半径更小，刚度更大，因而更加节省布局空间，同时，冷却水管可预制出后直接使用，在使用预制工装预制金属管路时，还可以对预制的金属管路进行检测及测试，增加冷却管路的可靠性。
17.下面结合附图对本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路作进一步说明。
附图说明
18.图1为本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路的结构示意图一；
19.图2为本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路的结构示意图二；
20.图3为本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路中平面电机在主安装板上的布置状态图；
21.图4为本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路中密封阀块的结构示意图；
22.图5为本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路中平面电机的结构示意图。
具体实施方式
23.如图1至图3所示，本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路，包括主安装板9及布置于其上的金属材质的冷却水管8，优选的，冷却水管8的材质为ta2工业纯钛。主安装板9底部四角处通过内六角圆柱头螺钉连接有支撑底脚10，支撑底脚10的作用是支撑主安装板9，使其下方有一定的高度来容纳平面电机5。若干个平面电机5固定安装在主安装板9底部，本实施例中平面电机5的数量为四个，该数量可根据实际需求增减，此处不一一列
举。
24.如图5所示，每个平面电机5的对角线两端分别设进水口51、出水口52。结合图2所示，主安装板9的顶部固定有8个密封阀块1，8个密封阀块1分别与四个平面电机5的进水口51、出水口52一一对应且密封连接，优选的，密封阀块1与进水口51、出水口52通过螺钉连接且连接面通过端面密封圈密封，有效地防止了连接处漏水。
25.如图2、图4所示，冷却水管8两端端部均配置有卡套接头2，密封阀块1上焊接有公头一11，分水阀块7上焊接有公头二71，公头一11、公头二71分别与冷却水管8两端的卡套接头2连接，由此将密封阀块1、冷却水管8、分水阀块7连接在一起。其中，分水阀块7通过螺钉固定于主安装板9上。优选的，分水阀块7上预留有连接检测仪器用的端口，检测仪器用于氦气检漏或者通水试验。作为一种变形，本技术也可省略卡套接头2而采用焊接的方式实现冷却水管8的连接，该手段为常规技术，此处不赘述。
26.再如图2所示，本实施例中，为了固定冷却水管8的位置防止其移位，单根冷却水管8在其长度方向上设置若干个单管夹3，单管夹3包括通过螺钉一固定连接在一起的上半部分一、下半部分一，该上半部分一、下半部分一对接后中间形成有与冷却水管8适配的通孔一，冷却水管8穿入在该通孔一内，下半部分一通过内六角圆柱头螺钉固定安装在主安装板9上，由此将单根的冷却水管8定位在主安装板9上。同理，为了将多根相邻的冷却水管8也统一定位在主安装板9上，本实施例还设置有组合管夹4，组合管夹4也包括通过螺钉二固定连接的上半部分二、下半部分二，该上半部分二、下半部分二之间设置有若干个与冷却水管8适配的通孔二，多根冷却水管8有序地穿入各自对应的通孔二内，同时，下半部分二也通过内六角圆柱头螺钉固定安装在主安装板9上。
27.本实用新型一种用于平面电机冷却的预制金属管路的预制及安装过程如下：
28.首先将支撑底脚10通过内六角圆柱头螺钉连接在主安装板9底部，然后安装平面电机5，平面电机5与主安装板9通过内六角圆柱头螺钉连接在一起，同时，主安装板9上加工有平面电机5电源线的过孔，待上述冷却管路8安装完毕且无问题时，可对平面电机5进行在通水通电的情况下进行相关的测试及试验。平面电机5安装完毕后，将密封阀块1与上述进水口51、出水口52一一密封连接，完毕后，在主安装板9上固定安装分水阀块7。上述工作准备完成后，将一定长度的冷却水管8一头与卡套接头2装配在一起，然后通过密封阀块1使卡套接头2与冷却水管8完全紧固在一起，完成后，按照预定的管路布局图，在预制工装上通过弯折冷却水管8使其按照预定的走向进行布局，并使冷却水管8穿过单管夹3、组合管夹4进行定位，然后再通过另一端的卡套接头2将冷却水管8与分水阀块7连接，重复上述过程，完成各个平面电机5进出水路的预制，使各个平面电机5进水或回水合并为一路，待各个进出水路完成后，将单管夹3、组合管夹4通过螺钉固定，然后即可通过分水阀块7另外一侧预留的端口连接检测仪器，对预制的上述金属管路进行氦气检漏或者通水试验，来检验预制管路是否符合真空环境下的使用要求。
29.本技术在真空环境中对平面电机5的冷却管路采用金属管路，避免了管路自身的释气、渗漏及颗粒对环境的污染，同时，金属管路不同于普通高分子材质管路，高分子材质冷却水管路可根据装配情况现场进行管路的裁剪，而采用金属材质的管路需预制冷却管路，预制冷却管路的同时做检测和试验，以保证其可以在大气及真空环境中正常使用，有利于提高管路实际应用时的可靠性。
30.以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。