一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构的制作方法

技术特征：
1.一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于，包括石英管(1)和与石英管(1)螺纹连接的石英帽(2)，所述石英帽(2)内壁设有内螺纹且与石英管(1)螺纹连接；所述石英帽(2)靠近石英管(1)一侧沿其周面开设有容纳槽(21)，容纳槽(21)处于石英帽(2)顶部与内螺纹之间，所述容纳槽(21)内填充有膨胀石墨-玄武岩纤维复合布(3)，所述膨胀石墨-玄武岩纤维复合布(3)由玄武岩纤维布在分散有膨胀石墨的溶剂中浸渍后烘干得到。2.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于：分散有膨胀石墨的溶剂选用水，且膨胀石墨与水的质量比为（15-20）：1。3.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于：分散有膨胀石墨的溶剂中还添加有聚乙烯醇，聚乙烯醇与溶剂的质量比为1：（5-6）。4.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于：玄武岩纤维布浸渍后烘干参数为：烘干温度为60-80℃，烘干时间为30-40min。5.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于：所述容纳槽(21)内还设置有金属包覆垫片(4)，金属包覆垫片(4)一侧与所述石英管(1)抵接，另一侧与所述膨胀石墨-玄武岩纤维复合布(3)贴合。6.根据权利要求5所述的一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于：所述金属包覆垫片(4)外层靠近石英管(1)一侧还依次喷涂形成有mcraly粘结层(5)和陶瓷面层(6)以及无机高温涂层(7)，所述无机高温涂层(7)由无机高温涂料喷涂得到，所述无机高温涂料由包括以下重量份的原料制得：8-15份石英粉、30-50份耐热树脂、10-20份纳米α-氧化铝、6-10份纳米二氧化锆和15-25份勃姆石溶胶。7.根据权利要求6所述的一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于：所述耐热树脂选用耐高温有机硅改性树脂；所述勃姆石溶胶由勃姆石固体在3-5体积倍数的强酸溶液中溶解得到。8.根据权利要求6所述的一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于：所述金属垫片外层喷涂有mcraly粘结层(5)和陶瓷面层(6)后进行真空高温固溶热处理和真空析出热处理操作；然后喷涂无机高温涂料后烘干得到无机高温涂层(7)。9.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于：喷涂无机高温涂料后烘干参数为：烘干温度170-190℃，烘干时间20-40min。

技术总结
本申请涉及半导体技术领域，具体公开了一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，包括石英管和与石英管螺纹连接的石英帽，所述石英帽内壁设有内螺纹且与石英管螺纹连接；所述石英帽靠近石英管一侧沿其周面开设有容纳槽，容纳槽处于石英帽顶部与内螺纹之间，所述容纳槽内填充有膨胀石墨-玄武岩纤维复合布，所述膨胀石墨-玄武岩纤维复合布由玄武岩纤维布在分散有膨胀石墨的溶剂中浸渍后烘干得到。本申请具有实现石英管和石英帽之间的密封操作更为方便，而且密封效果优异的特点。而且密封效果优异的特点。


技术研发人员：张满
受保护的技术使用者：北京通美晶体技术股份有限公司
技术研发日：2022.04.19
技术公布日：2022/7/1