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一种铸造单晶炉的对称性加热器结构及单晶铸造炉的制作方法

2022-06-29 18:06:27 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,包括第一加热器(1)、第二加热器(2)以及第三加热器(3),第一加热器(1)、第二加热器(2)以及第三加热器(3)沿着圆形区域分别布置在2π/3范围内,在所述圆形区域内形成三个独立区域;所述圆形区域为一个正圆本身或一个正多边形的外接圆;第二加热器(2)以及第三加热器(3)关于其分界线对称,第一加热器(1)关于其自身中心线对称,所述分界线和中心线重合;第一加热器(1)、第二加热器(2)以及第三加热器(3)相邻的端部分别设置三个顶部电极,所述三个顶部电极沿一圆周均匀分布且位于三个独立区域的分界线上。2.根据权利要求1所述的铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,整个独立区域内布置蜿蜒状加热带,所述蜿蜒状加热带在对应设置有侧电极部位降低布置密度,用于容置侧电极;蜿蜒状加热带的边缘均位于所述圆形区域内侧。3.根据权利要求1所述的铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,三个独立区域内的蜿蜒状加热带首尾处分别连接顶部的石墨电极,石墨电极与加热带之间采用碳碳螺杆和碳碳螺母通过螺纹紧固连接。4.根据权利要求1所述的铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,第一加热器(1)所在区域的蜿蜒状加热带从电极处沿着所述圆形区域设置一弧形段,弧形段的终止处布置蜿蜒状加热带沿平行于圆的第一直径向圆心处延伸的第一直段,第一直段的终止处弯折,蜿蜒状加热带沿着平行于圆的第一直径向背离圆心方向延伸形成第二直段,蜿蜒状加热带在第二直段的终止处弯折,沿平行于圆的第一直径向圆心处延伸形成第三直段,第三直段终止处弯折,并延伸至所述圆形区域的第一直径处,此处第一直径为第一加热器(1)的中心线,关于所述中心线对称设置弧形段、第一直段、第二直段、第三直段以及每一段终止处的弯折,即形成第一加热器(1)的蜿蜒状加热带。5.根据权利要求4所述的铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,当所述圆形区域为一个正多边形的外接圆时,用直段代替所述弧形段。6.根据权利要求1所述的铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,当所述圆形区域为正圆本身时,第二加热器(2)的蜿蜒状加热带与第三加热器(3)的蜿蜒状加热带关于圆形区域的第一直径对称;第二加热器(2)的蜿蜒状加热带从连接电极处沿着圆形区域内侧,向远离第一加热器(1)的方向延伸形成一弧形段a,弧形段a的终止处弯折并向圆形区域中心延伸一弧形段b,弧形段b终止处弯折沿着平行于圆形区域的第一直径向靠近第一加热器(1)的方向延伸一直段c,直段c的终止处弯折,并沿着平行于圆形区域的第一直径向远离第一加热器(1)的方向延伸一直段d,直段d的终止处弯折,并沿着平行于圆形区域的第一直径向靠近第一加热器(1)的方向延伸一直段e,直段e的终止处弯折,并沿着平行于圆形区域的第一直径向远离第一加热器(1)的方向延伸一直段f,直段f的终止处弯折,并沿着与第一直径呈一斜角的方向延伸一直段g,直段g的终止处弯折,并沿着圆形区域内侧延伸一弧形段h,弧形段h在靠近第一直径处终止并弯折,同时延伸一弧形段i,弧形段i向远离第一直径的方向突出。7.根据权利要求6所述的铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,当所述圆形区域为一个正多边形的外接圆时,用多个连接的直段弯折代替所述弧形段a和弧形段h。8.根据权利要求1所述的铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,第一加热器(1)、
第二加热器(2)以及第三加热器(3)展开的线性长度相等。9.根据权利要求1所述的铸造单晶的对称性加热器结构,其特征在于,第一加热器(1)、第二加热器(2)以及第三加热器(3)均采用多段拼接成形。10.一种单晶铸造炉,其特征在于,顶部加热器采用权利要求1至9任一项所述的对称性加热器结构。

技术总结
本发明公开一种铸造单晶炉的对称性加热器结构及单晶铸造炉,包括第一加热器、第二加热器以及第三加热器,第一加热器、第二加热器以及第三加热器沿着圆形区域分别布置在2π/3范围内,在所述圆形区域内形成三个独立区域;第二加热器以及第三加热器关于其分界线对称,第一加热器关于其自身中心线对称,所述分界线和中心线重合;第一加热器、第二加热器以及第三加热器相邻的端部分别设置三个顶部电极,所述三个顶部电极沿一圆周均匀分布且位于三个独立区域的分界线上;提高加热器相互间蛇形间的横纵交叉密度,提高加热器面积上的辐射强度,使得三相加热器片上热量分布更加均匀;将顶部加热设计成圆形结构,使得加热器整体结构圆和炉体保持同心。圆和炉体保持同心。圆和炉体保持同心。


技术研发人员:唐珊珊 唐青岗 常传波 刘立军 张亮 陈志军 李建铖 李早阳
受保护的技术使用者:佛山市石金科技有限公司 金阳硅业科技(徐州)有限公司
技术研发日:2022.03.21
技术公布日:2022/6/28
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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