一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆测量装置技术领域，具体为一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
3.大尺寸晶圆在进行表面三维形貌测量时，不能够稳固将晶圆固定，以至于在测量时，影响测量进度与精度，且在测量时不能调节，为此我们提出一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置用于解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，包括底座，所述底座的顶部中心通过固定连接有立柱，所述立柱的顶部通过轴承转动连接有承接台，所述承接台的底顶部中心固定连接有放置座，所述承接台的顶部四周位置均设有夹持组件，所述承接台的一侧底端设有调节组件。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹持组件包括固定柱，所述承接台的顶部四边均位置均固定连接有固定柱，四个所述固定柱的内部均套结有齿柱，四个所述固定柱的一侧偏上方均固定安装有第一电机，四个所述第一电机的输出端均固定连接有第一齿轮，四个所述齿柱的一端均固定连接有连接板，四个所述连接板的一侧均固定连接有一组弹簧，四组所述弹簧的一端均固定连接有夹板。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，四个所述固定柱上均开设有与四个所述齿柱的外部大小相互适配的通孔。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，四个所述第一齿轮均与四个所述齿柱之间构成啮合连接。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，四个所述夹板均设置为圆弧形。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述调节组件包括支撑板，所述底座的顶部一侧固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有第二齿轮，所述承接台的底端有齿子。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二齿轮与承接台底端的齿子之间构成啮合连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
13.该大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置通过设置夹持组件，在使用时，将大尺寸
晶圆放置在放置座上，同时启动四个第一电机，四个第一电机均带动四个第一齿轮驱使四个齿柱在四个固定柱内部移动，进而使四个夹板对大尺寸晶圆的四个方位进行固定，进一步提高了测量的精度，四组弹簧的设置，可在夹持时起到较好的缓冲作用，避免对大尺寸晶圆的表面造成损坏，夹持稳定；
14.该大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置通过设置调节组件，第二电机带动第二齿轮驱使承接台底端的齿子，进而使承接台旋转，可测量大尺寸晶圆表面的不同位置，操作简单，使用便捷。
附图说明
15.图1为本实用新型第一视角示意图，
16.图2为本实用新型第二视角示意图，
17.图3为本实用新型整体俯视图，
18.图4为本实用新型图1中a处放大图。
19.图中：1、底座；2、立柱；3、承接台；4、放置座；5、夹持组件；501、固定柱；502、齿柱；503、第一电机；504、第一齿轮；505、连接板；506、弹簧；507、夹板；6、调节组件；601、支撑板；602、第二电机；603、第二齿轮；604、齿子。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-4，本实用新型提供以下方案：
22.一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，包括底座1，底座1的顶部中心通过固定连接有立柱2，立柱2的顶部通过轴承转动连接有承接台3，承接台3的底顶部中心固定连接有放置座4，承接台3的顶部四周位置均设有夹持组件5，承接台3的一侧底端设有调节组件6，该大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置便于将大尺寸晶圆有效固定，便于测量操作，同时还可对大尺寸晶圆不同位置调节测量。
23.夹持组件5包括固定柱501，承接台3的顶部四边均位置均固定连接有固定柱501，四个固定柱501的内部均套结有齿柱502，四个固定柱501上均开设有与四个齿柱502的外部大小相互适配的通孔，四个固定柱501的一侧偏上方均固定安装有第一电机503，四个第一电机503的输出端均固定连接有第一齿轮504，四个第一齿轮504均与四个齿柱502之间构成啮合连接，四个齿柱502的一端均固定连接有连接板505，四个连接板505的一侧均固定连接有一组弹簧506，四组弹簧506的一端均固定连接有夹板507，四个夹板507均设置为圆弧形，在夹持时，通过四个齿柱502在四个固定柱501内部移动，使四个夹板507相互靠近，即可对大尺寸晶圆的四个方位固定。
24.调节组件6包括支撑板601，底座1的顶部一侧固定连接有支撑板601，支撑板601的顶端固定安装有第二电机602，第二电机602的输出端固定连接有第二齿轮603，承接台3的底端有齿子604，第二齿轮603与承接台3底端的齿子604之间构成啮合连接，第二电机602带
动第二齿轮603驱使承接台3底端的齿子604，可将承接台3上放置的大尺寸晶圆调节至不同测量角度。
25.工作原理：在使用该测量装置时，首先将大尺寸晶圆放置在承接台3顶端的放置座4上，然后通过外界接控制器同时启动四个第一电机503，四个第一电机503调节至正转，四个第一电机503均带动四个第一齿轮504驱使四个齿柱502在四个固定柱501的内部正向移动，四个夹板507相互靠近，四个第一电机503调节至反转，四个第一电机503均带动四个第一齿轮504驱使四个齿柱502在四个固定柱501的内部反向移动，四个夹板507相互远离，可根据大尺寸晶圆大小调节，便于对大尺寸晶圆的四个方位进行固定，以及四组弹簧506的设置，可在夹持时起到较好的缓冲作用，在调节测量角度时，启动第二电机602，第二电机602带动第二齿轮603驱使承接台3底端的齿子604，进而使承接台3旋转，便于将放置的大尺寸晶圆根据所需调节至不同测量角度。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部中心通过固定连接有立柱(2)，所述立柱(2)的顶部通过轴承转动连接有承接台(3)，所述承接台(3)的底顶部中心固定连接有放置座(4)，所述承接台(3)的顶部四周位置均设有夹持组件(5)，所述承接台(3)的一侧底端设有调节组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，其特征在于：所述夹持组件(5)包括固定柱(501)，所述承接台(3)的顶部四边均位置均固定连接有固定柱(501)，四个所述固定柱(501)的内部均套结有齿柱(502)，四个所述固定柱(501)的一侧偏上方均固定安装有第一电机(503)，四个所述第一电机(503)的输出端均固定连接有第一齿轮(504)，四个所述齿柱(502)的一端均固定连接有连接板(505)，四个所述连接板(505)的一侧均固定连接有一组弹簧(506)，四组所述弹簧(506)的一端均固定连接有夹板(507)。3.根据权利要求2所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，其特征在于：四个所述固定柱(501)上均开设有与四个所述齿柱(502)的外部大小相互适配的通孔。4.根据权利要求2所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，其特征在于：四个所述第一齿轮(504)均与四个所述齿柱(502)之间构成啮合连接。5.根据权利要求2所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，其特征在于：四个所述夹板(507)均设置为圆弧形。6.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，其特征在于：所述调节组件(6)包括支撑板(601)，所述底座(1)的顶部一侧固定连接有支撑板(601)，所述支撑板(601)的顶端固定安装有第二电机(602)，所述第二电机(602)的输出端固定连接有第二齿轮(603)，所述承接台(3)的底端有齿子(604)。7.根据权利要求6所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，其特征在于：所述第二齿轮(603)与承接台(3)底端的齿子(604)之间构成啮合连接。

技术总结
本实用新型公开了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置，包括底座，所述底座的顶部中心通过固定连接有立柱，所述立柱的顶部通过轴承转动连接有承接台，所述承接台的底顶部中心固定连接有放置座，所述承接台的顶部四周位置均设有夹持组件，该大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置通过设置夹持组件与调节组件，在使用时，将大尺寸晶圆放置在放置座上，同时启动四个第一电机，四个第一电机均带动四个第一齿轮驱使四个齿柱在四个固定柱内部移动，进而使四个夹板对大尺寸晶圆的四个方位进行固定，进一步提高了测量的精度，四组弹簧的设置，可在夹持时起到较好的缓冲作用，避免对大尺寸晶圆的表面造成损坏。的表面造成损坏。的表面造成损坏。


技术研发人员：俞智勇 陈洪立 杨亮亮 梁少敏
受保护的技术使用者：江苏希太芯科技有限公司
技术研发日：2022.03.15
技术公布日：2022/6/27