一种金相显微镜观察半导体用载样台

1.本实用新型涉及金相显微镜检测半导体技术领域，具体涉及一种金相显微镜观察半导体用载样台。


背景技术：

2.实验室通常会用金相显微镜观察半导体晶圆芯片或分立器件的表/截面，通过表/截面形貌的观察与量测，了解产品构造或封装水平，以此为更好产品的生产提供数据支持。而在实际观察中，由于半导体样品的放置问题，尤其对于尺寸不规则的晶圆芯片裂片，会出现无法快速地既观察表面又观察截面的问题；通常情况下，若要实现同一样品的表面和截面观察就需要花费较长的时间，且无法在较短时间内满足其他倾斜角度的观察。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种金相显微镜观察半导体用载样台，旨在解决上述背景技术提出的现有技术中的问题。
4.本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括底座、旋转杆和夹板夹具，所述旋转杆可绕其轴线转动地设置于底座上，旋转杆连接有能够控制旋转杆转动的控制旋钮；所述夹板夹具固定设置于旋转杆的端部，用于夹持待观察半导体。
5.作为优选，所述底座上沿控制旋钮的周向设有角度刻度。
6.作为优选，所述角度刻度采用钢印或激光打印印制而成。
7.作为优选，所述底座上设有用于紧固旋转杆的旋转杆固定旋钮。
8.作为优选，所述夹板夹具插设于旋转杆的端部，所述旋转杆上设有用于紧固夹板夹具的夹具固定旋钮。
9.作为优选，所述夹板夹具包括两块夹板以及控制两块夹板间距的旋紧螺丝。
10.作为优选，所述夹板的材质采用玻璃纤维、聚氨酯或pvc。
11.作为优选，所述旋转杆和控制旋钮的材质分别采用pvc、铜制或铝合金。
12.作为优选，所述底座的材质采用木制、铁或铝合金。
13.本实用新型与现有技术相对比，其有益效果在于：本实用新型能够在短时间内方便、快捷的观察样品表面和截面及其他角度，提供多角度的样品形貌数据。
附图说明
14.图1是本实用新型的整体结构示意图。
15.图2是本实用新型中夹板夹具的放大示意图。
16.图3是本实用新型的正视示意图。
17.图4是本实用新型的侧视示意图。
18.图5是本实用新型的俯视示意图。
19.图6是本实用新型中夹板夹具的俯视放大示意图。
20.图中：1-底座；2-控制旋钮；3-角度刻度；4-旋转杆固定旋钮；5-旋转杆；6-夹板夹具；7-夹具固定旋钮；8-旋紧螺丝。
具体实施方式
21.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面通过实施例并结合附图，对本实用新型作进一步具体的说明。
22.实施例1
23.一种金相显微镜观察半导体用载样台，用于金相显微镜观察晶圆芯片、分立器件等半导体表面和截面及其他角度的形貌，如图1-6所示，载样台结构主要包括底座1、旋转杆5以及夹板夹具6。
24.其中木质底座1呈l形，铝合金质的旋转杆5水平穿设于底座1的竖向部上，旋转杆5的端部设有铝合金质的控制旋钮2，通过控制旋钮2可控制旋转杆5转动，并在底座1上设有铝合金质的旋转杆固定旋钮4，使得旋转杆5旋转至目标角度后，通过旋紧旋转杆固定旋钮4使其抵在旋转杆5上对旋转杆5进行紧固定位。
25.为了便于对旋转角度进行控制，底座1上沿旋转按钮4的外圈通过钢印的方式印制有角度刻度3，例如向上为90
°
，水平向为0
°
，控制旋钮2设有指针。
26.夹板夹具6插设于旋转杆5远离控制旋钮2的一端表面的槽中，且旋转杆5上设有铝合金质的用于紧固夹板夹具6的夹具固定旋钮7，将夹板夹具6安装于旋转杆5后，通过旋紧夹具固定旋钮7使其抵住夹板夹具6进行紧固。夹板夹具6包括两块pvc材质的夹板以及控制两块夹板间距的旋紧螺丝8，通过旋紧螺丝8可将待观察物品夹紧于两块夹板之间。
27.本实施例以晶圆芯片裂片的截面和表面观察为例，其具体过程如下：
28.1、将芯片通过旋紧螺丝8垂直旋紧于夹板夹具6间；
29.2、通过夹具固定旋钮7将夹板夹具6固定在旋转杆5上；
30.3、通过带有指针的控制旋钮2，对准90
°
刻度，对准后通过旋转杆固定旋钮4进行定位；
31.4、将载样台放置在金相显微镜下进行观察；
32.5、截面观察完后，不用拿下样品，只需将控制旋钮2指针对准0
°
，再用旋转杆固定旋钮4定位，即可观察样品表面。
33.本实施例的金相显微镜观察半导体用载样台可以实现在短时间内方便，快捷的在金相显微镜下观察样品表&截面及其他角度的形貌。
34.实施例2
35.一种金相显微镜观察半导体用载样台，用于金相显微镜观察晶圆芯片、分立器件等半导体表面和截面及其他角度的形貌，如图1-6所示，载样台结构主要包括底座1、旋转杆5以及夹板夹具6。
36.其中铝合金质底座1呈l形，铜质的旋转杆5水平穿设于底座1的竖向部上，旋转杆5的端部设有铜质的控制旋钮2，通过控制旋钮2可控制旋转杆5转动，并在底座1上设有铜质的旋转杆固定旋钮4，使得旋转杆5旋转至目标角度后，通过旋紧旋转杆固定旋钮4使其抵在旋转杆5上对旋转杆5进行紧固定位。
37.为了便于对旋转角度进行控制，底座1上沿旋转按钮4的外圈通过激光打印的方式印制有角度刻度3，例如向上为90
°
，水平向为0
°
，控制旋钮2设有指针。
38.夹板夹具6插设于旋转杆5远离控制旋钮2的一端表面的槽中，且旋转杆5上设有铜质的用于紧固夹板夹具6的夹具固定旋钮7，将夹板夹具6安装于旋转杆5后，通过旋紧夹具固定旋钮7使其抵住夹板夹具6进行紧固。夹板夹具6包括两块玻璃纤维材质的夹板以及控制两块夹板间距的旋紧螺丝8，通过旋紧螺丝8可将待观察物品夹紧于两块夹板之间。
39.本实施例以分立器件的截面观察为例，其具体过程如下：
40.1、将分立器件通过旋紧螺丝8垂直旋紧于夹板夹具6间；
41.2、通过夹具固定旋钮7将夹板夹具6固定在旋转杆5上；
42.3、通过带有指针的控制旋钮2，对准90
°
刻度，对准后通过旋转杆固定旋钮4进行定位；
43.4、将载样台放置在金相显微镜下进行观察；
44.5、若需对截面其它角度进行观察，不用拿下样品，只需旋转控制旋钮2至需观察角度，再用旋转杆固定旋钮4定位，即可观察样品对应角度截面。
45.本实施例的金相显微镜观察半导体用载样台可以实现在短时间内方便，快捷的在金相显微镜下观察样品表&截面及其他角度的形貌。
46.最后，应当指出，以上实施例仅是本实用新型较有代表性的例子。显然，本实用新型不限于上述实施例，还可以有许多变形。凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改等同变化与修饰，均应认为属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，包括底座、旋转杆和夹板夹具，所述旋转杆可绕其轴线转动地设置于底座上，旋转杆连接有能够控制旋转杆转动的控制旋钮；所述夹板夹具固定设置于旋转杆的端部，用于夹持待观察半导体。2.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，所述底座上沿控制旋钮的周向设有角度刻度。3.根据权利要求2所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，所述角度刻度采用钢印或激光打印印制而成。4.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，所述底座上设有用于紧固旋转杆的旋转杆固定旋钮。5.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，所述夹板夹具插设于旋转杆的端部，所述旋转杆上设有用于紧固夹板夹具的夹具固定旋钮。6.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，所述夹板夹具包括两块夹板以及控制两块夹板间距的旋紧螺丝。7.根据权利要求6所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，所述夹板的材质采用玻璃纤维、聚氨酯或pvc。8.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，所述旋转杆和控制旋钮的材质分别采用pvc、铜制或铝合金。9.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于，所述底座的材质采用木制、铁或铝合金。

技术总结
本实用新型公开了一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括底座、旋转杆和夹板夹具，所述旋转杆可绕其轴线转动地设置于底座上，旋转杆连接有能够控制旋转杆转动的控制旋钮；所述夹板夹具固定设置于旋转杆的端部，用于夹持待观察半导体。本实用新型能够在短时间内方便、快捷的观察样品表面和截面及其他角度，提供多角度的样品形貌数据。角度的样品形貌数据。角度的样品形貌数据。


技术研发人员：胡建力 郭清 张斌
受保护的技术使用者：浙江大学绍兴微电子研究中心
技术研发日：2021.12.28
技术公布日：2022/6/17