用于激光雷达传感器的发送单元、激光雷达传感器和用于将初级光发射到视场中的方法与流程

1.本发明涉及根据本发明的一种用于激光雷达传感器的发送单元、一种激光雷达传感器和一种用于借助激光雷达传感器将初级光发射到视场中的方法。


背景技术：

2.de 10 2017 123 878 a1公开了一种发送单元，该发送单元优选包含至少两个激光二极管和扫描镜，该扫描镜能够围绕其中心点偏转(lenkbar)，该扫描镜布置在具有透明的覆盖元件的壳体内。该覆盖元件至少在耦合输出区域中通过具有曲率中心点的单中心半球壳的一个片段形成，该半球壳如此覆盖扫描镜并且如此布置，使得曲率中心点和扫描镜的中心点重合，并且该覆盖元件在耦合输入区域中通过光学块形成，该光学块具有环形进入面、至少一个环形出射面和布置在环形进入面与环形出射面之间的至少一个第一镜面，该第一镜面用于激光射束的转向和预准直。


技术实现要素：

3.本发明从一种用于激光雷达传感器的发送单元出发，该发送单元用于将初级光发射到激光雷达传感器的视场中。发送单元具有至少一个发射器单元，该发射器单元构造用于发射照明图案(ausleuchtungsmuster)的形式的初级光，其中，该照明图案至少具有第一延展尺度(ausdehnung)和第二延展尺度，第一延展尺度和第二延展尺度彼此正交地定向，并且其中，第一延展尺度大于或者小于第二延展尺度，并且其中，发射的照明图案沿着平行于第一延展尺度的取向向量定向。另外，发送单元具有至少一个第一转向镜、至少一个第二转向镜和至少一个可运动的镜(beweglichen spiegel)。第二转向镜构造用于在将取向向量旋转第一角度的情况下将由发送器单元发射的初级光转向到第一转向镜上。第一转向镜构造用于在将取向向量旋转第二角度的情况下将初级光转向到可运动的镜上。可运动的镜构造用于在视场中沿着第一方向并且沿着第二方向扫描(abtasten)初级光，该第二方向垂直于第一方向取向。在此，第一角度和第二角度分别不等于0
°
和90
°
。
4.第一方向优选垂直于照明图案的取向向量取向。第二方向优选平行于照明图案的取向向量取向。照明图案的取向向量优选垂直于第一方向并且平行于第二方向取向。
5.发射器单元能够具有至少一个激光器。至少一个激光器能够构造为dfb激光器(dfb：英语distributed feedback，分布式反馈)、dbr激光器(dbr：英语distributed bragg reflector，分布式布拉格反射)、边缘发射器或者表面发射器或者固体激光器。发射器单元的激光器能够温度稳定地构造。发射器单元能够具有唯一的激光器，该激光器具有沿着第一方向的高发散性。发射器单元能够具有唯一的激光器，该激光器具有沿着第二方向的高发散性。发射器单元能够具有多个激光器，所述多个激光器构造用于产生照明图案。为此，所述多个激光器能够例如布置在一列或者一行中。发送单元能够具有另外的光学元件，例如光学透镜、镜、分束器或者类似物。照明图案也能够借助这样的光学元件构造。在发送单
元的光学路径中，能够在从激光雷达传感器中出射之后相对短时间内(立即或者在几厘米之后)以照明图案产生对视场的连续的照明，该照明在与激光雷达传感器的间距上越来越均匀。发射器单元尤其构造用于以脉冲的方式发射初级光。发射器单元尤其构造用于以脉冲的方式发射照明图案。照明图案尤其构造为线条、矩形或者图案(例如棋格式图案)。
6.第一转向镜尤其以不可运动的方式构造。第一转向镜也能够被称为折叠镜(faltspiegel)。替代该第一转向镜地，发送单元还能够具有另外的第一转向元件。这样的第一转向元件能够是例如棱镜或者具有转向功能的衍射光学元件。
7.第二转向镜能够以不可运动的方式构造。替代该第二转向镜地，发送单元还能够具有另外的第二转向元件。这样的第二转向元件能够是例如棱镜或者具有转向功能的衍射光学元件。
8.能够借助电驱动单元、电磁驱动单元和/或借助压电驱动单元使该可运动的镜运动。可运动的镜能够构造为微机械镜。可运动的镜能够具有几微米至几百微米的尺寸。可运动的镜能够具有在毫米范围中的尺寸。通过使可运动的镜沿着其两个轴线运动，能够对激光雷达传感器的视场进行扫描。
9.第一方向尤其竖直地布置在视场中，沿着该第一方向在视场中扫描初级光。第二方向尤其水平直地布置在视场中，沿着该第二方向在视场中扫描初级光。替代地，也可能的是，第一方向水平地布置在视场中，第二方向竖直地布置在视场中。
10.本发明的优点在于，一方面能够将发送单元的结构尺寸保持得小。相应地，也能够将激光雷达传感器的结构尺寸保持得小。同时，借助发送单元能够实现，至少一个照明图案的取向向量在从激光雷达传感器中出射时垂直于第一方向并且平行于第二方向取向。照明图案的取向向量能够在从激光雷达传感器中出射时几乎垂直于第一方向并且几乎平行于第二方向取向。能够有效地避免取向向量的以明显不等于0
°
或90
°
的角度进行的角度旋转。例如，转向镜中的一个转向镜能够构造用于，补偿在另一个转向镜上出现的、不等于0
°
或者90
°
的角度旋转。例如，第一转向镜能够构造用于，补偿在第二转向镜上出现的、不等于0
°
或者90
°
的角度旋转。例如，第二转向镜能够构造用于，补偿在第一转向镜上出现的、不等于0
°
或90
°
的角度旋转。特别优选地，转向镜中的一个转向镜能够构造用于，抵消(aufheben)在另一个转向镜上出现的、不等于0
°
或90
°
的角度旋转。能够避免出现取向向量的取向的旋转。尤其是在更大的视场的情况下，这能够导致对视场的更均匀的扫描。尤其是激光雷达传感器的视场的离激光雷达传感器更远(例如在100m的距离中)的区域，能够均匀地被扫描。由此，在扫描视场时能够实现几乎无空隙的照明。能够避免视场中的未被照明的区域。由此能够显著减小检测不到视场中的小对象的风险。
11.在本发明的一种有利的构型中设置，发送单元具有第一发射器单元和至少一个第二发射器单元。第一发射器单元能够构造用于发射第一照明图案的形式的初级光。第二发射器单元能够构造用于发射第二照明图案的形式的初级光。第一照明图案和第二照明图案能够在其在空间中的延展尺度和取向方面相似或者几乎相同。在此，第一发射器单元能够构造用于扫描视场的第一片段。第二发射器单元能够构造用于扫描视场的第二片段。视场的第一片段能够直接与视场的第二片段邻接。视场的第一片段和视场的第二片段能够至少部分地重叠。由第一发射器单元发射的照明图案能够与由第二发射器单元发射的照明图案邻接或者与这个照明图案重叠。该构型的优点在于，能够扫描更大的视场。
12.在本发明的另一种有利的构型中设置，第一转向镜构造用于将由第一发射器单元和由至少一个第二发射器单元发射的初级光转向到可运动的镜上。因此，通过第一镜不仅能够使由第一发射器单元发射的初级光转向，还能够使由第二发射器单元发射的初级光转向。该构型的优点在于，能够将发送单元的结构尺寸、进而还能够将激光雷达传感器的结构尺寸保持得小。
13.在本发明的另一种有利的构型中设置，发送单元具有至少一个第二第一转向镜，其中，所述第一转向镜构造用于将由第一发射器单元发射的初级光转向到可运动的镜上。并且其中，至少一个第二第一转向镜构造用于将由至少一个第二发射器单元发射的初级光转向到可运动的镜上。至少一个第二第一转向镜能够以不可运动的方式构造。该构型的优点在于，能够更灵活地构型第一发射器单元的和第二发射器单元的、以及发送单元的另外的光学元件的布置。
14.在本发明的另一种有利的构型中设置，发送单元具有至少一个第三转向镜，并且其中，该第三转向镜在第二转向镜与第一转向镜之间如此布置在发送单元的射束路径中，使得由第二转向镜转向的初级光入射到第三转向镜上。在此，第三转向镜构造用于在将取向向量旋转第三角度的情况下将初级光转向到第一转向镜上。在此，第三角度不等于0
°
和90
°
。替代该第三转向镜地，发送单元还能够具有另外的第三转向元件。这样的第三转向元件能够是例如棱镜或者具有转向功能的衍射光学元件。第三转向镜能够以不可运动的方式构造。由此可能的是，借助大于两个的转向镜实现对不等于0
°
和90
°
的角度旋转的补偿。由此，在构造发送单元时以有利的方式实现更大的灵活性。
15.在本发明的另一种有利的构型中设置，第一转向镜如此布置在初级光的射束路径中，使得由发射器单元发射的初级光以相对于第一转向镜的面法线的第一入射角度入射，该第一入射角度小于
±
12
°
、优选小于
±9°
、特别优选小于
±7°
。在此，相对于第一转向镜的面法线的第一入射角度尤其能够理解为竖直的入射角度。同时，初级光能够以相对于第一镜的面法线的第二入射角度入射到转向镜上。在此，第二入射角度尤其能够理解为水平的入射角度。第二入射角度能够例如高达
±
20
°
。该构型的优点在于，能够更有效地实现，由于在第一转向镜上的反射，取向向量只旋转接近0
°
或者接近90
°
的角度。
16.另外，本发明从一种用于光学地检测视场的激光雷达传感器出发，该激光雷达传感器具有上文描述的发送单元和至少一个探测器单元，该探测器单元用于探测在视场中由对象反射的和/或散射的次级光。
17.探测器单元能够构造为单光子探测器单元。单光子探测器单元能够具有至少一个单光子探测器。该至少一个单光子探测器能够例如构造为spad(英语：single photon avalanche diode，单光子雪崩二极管)或者sipm(英语：silicon photon multiplier，硅光子倍增器)。特别是，sipm探测器单元在特定的电路中具有多个spad。单光子探测器单元构造用于单光子计数。单光子探测器单元(einzelphotonendetektoreinheit)能够具有多个单光子探测器盒(einzelphotonendetektorzelle)。单光子探测器单元能够例如构造为多个单光子探测器盒的一维阵列。单光子探测器单元能够以bsi技术(bsi：英语backside illumination，背面照明)构造。为此，各个单光子探测器盒能够几乎无空隙地仅布置在极小的芯片面上。尤其是，探测器单元构造用于对检测图案进行检测，该检测图案与照明图案相同。在此，探测器单元尤其从视场的预给定的片段中接收次级光，事先已借助发射器单元
将初级光发射到该预给定的片段中。在此，初级光的发射和次级光的接收优选同时通过视场的预给定的片段进行。
18.发送单元的光学路径和探测器单元的光学路径能够彼此双轴地、共轴地或者部分共轴地延伸。
19.另外，激光雷达传感器尤其具有至少一个分析处理单元。所述至少一个分析处理单元能够构造用于确定被发射的初级光的和被再次接收的次级光的光传播时间。例如，能够基于信号传播时间(time of flight，tof)确定激光雷达传感器与视场中的对象之间的间距。光传播时间方法包括脉冲方法或者相位方法，所述脉冲方法确定被反射的激光脉冲的接收时刻，所述相位方法发送经振幅调制的光信号并且确定与所接收的光信号的相位偏差。对于tof系统能够实现时间相关的单光子计数(英语：time-correlated single photon counting，tcspc)。
20.另外，本发明从一种用于借助激光雷达传感器将初级光发射到视场的方法出发。该方法具有借助发射器单元发射照明图案的形式的初级光的步骤，其中，该照明图案至少具有第一延展尺度和第二延展尺度，第一延展尺度和第二延展尺度彼此正交地定向。在此，第一延展尺度大于或者小于第二延展尺度。所发射的照明图案沿着取向向量定向，该取向向量平行于第一延展尺度。该方法具有第一转向的另一步骤：在将取向向量旋转第一角度的情况下借助第二转向镜将由发射器单元发射的初级光转向到第一转向镜上。该方法具有第二转向的另一步骤：在将取向向量旋转第二角度的情况下借助第一转向镜将初级光转向到可运动的镜上。该方法具有扫描初级光的另一步骤：借助所述可运动的镜在所述视场中沿着第一方向并且沿着第二方向扫描初级光，所述第二方向垂直于所述第一方向取向。在此，第一角度和第二角度分别不等于0
°
和90
°
。
21.显而易见的是，上文提到的和下文待阐述的特征不仅能够按相应给出的组合使用，还能够按其他的组合来使用或者单独使用，而不偏离本发明的范畴。
附图说明
22.在下文中，根据所附绘图更详细地阐述本发明的实施例。附图中的相同的附图标记表示相同的或者作用相同的元件。附图示出：
23.图1示出具有出现照明图案的取向向量的旋转的发送单元的示例；
24.图2a示出激光雷达传感器的视场的理想照明，图2b示出激光雷达传感器的视场的真实照明；
25.图3示出发送单元的实施例，该发送单元具有第一和第二转向镜的有利的布置；
26.图4示出发送单元的另一实施例，该发送单元具有第一和第二转向镜的有利的布置；
27.图5a示出第一发射器单元的照明图案，图5b示出第二发射器单元的照明图案；
28.图6示出具有发送单元的激光雷达传感器的实施例，该发送单元具有第一和第二转向镜的有利的布置；
29.图7示出照明图案的可能的取向向量；
30.图8示出用于将初级光发射到视场中的方法的实施例。
具体实施方式
31.图1示例性示出用于激光雷达传感器的发送单元100，该发送单元用于将初级光102发射到视场106中。发送单元100具有第一发射器单元101-1和第二发射器单元101-2、转向镜103和可运动的镜104。第一发射器单元101-1和第二发射器单元101-2构造用于发射第一照明图案107-1的形式的初级光102-1并且发射第二照明图案107-2的形式的初级光102-2。在此处示出的示例中，照明图案107-1和107-2分别构造呈线条的形式，所述线条沿着取向向量108-1或取向向量108-2定向。在此，由发射器单元101-1和101-2发射的初级光102-1和102-2入射到转向镜103上，该转向镜构造用于将初级光102-1和102-2转向到可运动的镜104上。可运动的镜104构造用于在视场106中沿着第一方向x并且沿着第二方向y扫描初级光102-1和102-2，该第二方向垂直于第一方向x取向。可运动的镜104能够通过沿着其两个轴线105-1和105-2运动来扫描视场106。在此，可运动的镜104如此构造，使得该可运动的镜能够使初级光102-1如此转向，使得借助初级光102-1扫描视场106的第一片段106-1；并且该可运动的镜能够使初级光102-2如此转向，使得借助初级光102-2扫描视场106的第二片段106-2。在图1中能够看出，取向向量108-1和108-2不再垂直于并且也不再平行于第一方向x或第二方向y取向。这导致如图2所示的问题。
32.图2a示出借助激光雷达传感器的发送单元照明的视场的理想照明200-a。如果图1中的取向向量108-1和108-2平行于或者垂直于第一方向x或第二方向y取向，则能够实现这种无空隙的照明200-a。在此，线条201-a示出在例如图1的可运动的镜104沿着其轴线105-2沿着向前方向运动期间平行于x轴线的扫描，线条201-b示出在可运动的镜104沿着其轴线105-2沿着向后方向运动期间平行于x轴线的扫描。在沿着向前方向扫描线条201-a之后，使可运动的镜104沿着其轴线105-1如此运动，使得线条202-a相对于先前扫描的线条201-a沿着y轴线移动。在沿着向后方向扫描线条201-b之后，使可运动的镜104沿着其轴线105-1如此运动，使得线条201-a相对于先前扫描的线条202-a沿着y轴线移动。通过这种方式，能够借助可运动的镜104的运动扫描整个视场106。能够栅格状地扫描视场106。替代地，也能够如此理解图2a，即线条201-a和线条202-a都表示在例如图1中的可运动的镜104沿着其轴线105-2沿着向前方向运动期间平行于x轴线的扫描。在这种情况下，在沿着向后方向运动时不发射初级光。在这种替代方案中，可运动的镜104能够例如锯齿状地运动。
33.相反，图2b示出借助激光雷达传感器的发送单元100照明的视场106的真实照明200-b，如图1所示。由于发射器单元101-1和101-2、转向镜103和可运动的镜104的布置和取向向量108-1和108-2的由此引起的倾斜，不再能够确保无空隙的照明。由于取向向量108-1和108-2在转向镜上旋转了明显不等于0
°
或者90
°
的角度，因此在视场106中出现未被照明的区域。尤其是在大视场的情况下，这个问题可能加强地出现。由此存在忽视视场106中的小对象203的风险。
34.图3示出用于将初级光302-1发射到视场306中的发送单元300-c的一种实施例，该发送单元如此构型，使得能够防止这个问题。发送单元300-c具有发射器单元301-1，该发射器单元工作用于发射照明图案的形式的初级光302-1。在此，照明图案具有第一延展尺度和第二延展尺度，第一延展尺度和第二延展尺度彼此正交地定向。在此，第一延展尺度能够大于或者小于第二延展尺度。另外，所发射的照明图案沿着取向向量定向(参见对图5的描述)，该取向向量平行于第一延展尺度。另外，发送单元300-c具有第一转向镜303-a、第二转
向镜303-b和可运动的镜304。第二转向镜303-b构造用于在将取向向量旋转第一角度的情况下将由发送器单元301-1发射的初级光302-1转向到第一转向镜303-a上。第一转向镜303-a构造用于在将取向向量旋转第二角度的情况下将初级光302-1转向到可运动的镜304上。在此，第一角度和第二角度分别不等于0
°
和90
°
。可运动的镜304构造用于在视场106中沿着第一方向并且沿着第二方向扫描初级光302-1，该第二方向垂直于第一方向取向。此外，发送单元300-c具有光学元件309-1。光学元件309-1例如可以是光学透镜、镜或者分束器。例如，照明图案能够借助光学元件309-1来构造。替代地或者附加地，光学元件309-1能够构造用于引导射束。
35.在此处示出的发送单元300-c的情况下，第一转向镜303-a如此布置在初级光302-1的射束路径中，使得由发射器单元301-1发射的初级光302-1以相对于第一转向镜303-a的面法线317的第一入射角度312-a入射，该第一入射角度小于
±
12
°
。在此处示出的示例中，角度312-a是8
°
。由发射器单元101-1发射的初级光302-1能够以相对于第二转向镜303-b的面法线的入射角度312-b入射，该入射角度大于
±
12
°
。在此处示出的示例中，角度312-b是29
°
。箭头601能够表示发送单元300-c的延展尺度。例如，该发送单元在该方向上的大小是200mm。
36.来自图3的实施例能够理解为具有仅一个发射器单元301-1的发送单元。替代地，图3中的实施例还能够理解为具有至少两个发射器单元(301-1和301-2)的发送单元的侧视图，该发送单元例如如图4所示。在图4中示出的发送单元300-f具有用于发射初级光302-1的第一发射器单元301-1和用于发射初级光302-2的第二发射器单元301-2。所发射的初级光301-1和301-2入射到共同的转向镜303-b上，该共同的转向镜构造用于在将取向向量旋转第一角度的情况下将初级光302-1和初级光302-2转向到相应的第一转向镜上。在此，将初级光302-1转向到第一转向镜303-a-1上。将初级光302-2转向到第一转向镜303-a-2上。另外，相应的第一转向镜303-a-1和303-a-2构造用于，在将取向向量旋转第二角度的情况下将初级光302-1或302-2转向到可运动的镜304上。在此，第一角度和第二角度不等于0
°
和90
°
。此外，发送单元300-f具有光学元件309-1和309-2。例如，光学元件309-1和309-2能够是光学透镜、镜或者分束器。例如，照明图案能够借助光学元件309-1和309-2来构造。替代地或者附加地，光学元件309-1和309-2能够构造用于射束引导。
37.在图4中示出的发送单元300-f也能够理解为具有两个发射器单元301-1和301-2的发送单元的倾斜视图。与此匹配的侧视图是在图3中示出的发送单元300-c。在图4中示出的发送单元300-f也能够具有多于两个的发射器单元。例如，该构造能够是镜像的。在这种情况下，发送单元300-f会具有四个发射器单元、四个第一转向镜303、共同的第二转向镜303-b、四倍的光学元件309以及共同的可运动的镜304。
38.图5示出所描述的发送单元300的、如能够以与相应的发送单元相距100m的间距在显示器上投影的照明图案。在此，图5a示出如能够由第一发射器单元301-1发射的照明图案507-1。照明图案507-1具有第一延展尺度501和第二延展尺度502，第一延展尺度和第二延展尺度彼此正交地定向。在此处示出的示例中，第一延展尺度501能够大于或者小于第二延展尺度502。在此，第一延展尺度501能够大于7mm。第二延展尺度502也能够大于7mm。所发射的照明图案507-1沿着取向向量508-1定向。取向向量508-1平行于第一延展尺度501。图5b示出具有取向向量508-2的、如能够由所描述的发送单元300的第二发射器单元301-2发射
的照明图案507-2。在此，取向向量508-1平行于x轴线定向。取向向量508-2也几乎平行于x轴线定向。因此，在借助发送单元300发射初级光302-1时，当在第一转向镜303上反射时，取向向量507-1仅旋转0
°
或者90
°
的角度。在借助发送单元300发射初级光302-2时，取向向量507-2已以接近0
°
或者90
°
的角度旋转。由此可能的是，借助所描述的发送单元300实现对视场306的尽可能无空隙的照明。
39.图6示意性地示出具有发送单元300的激光雷达传感器700的一种实施例。在此能够构建发送单元300，如已经描述的发送单元300-c或者300-f中的一个发送单元那样。借助可运动的镜304将由发射器单元301发射的并且借助第二转向镜300-b和第一转向镜300-a转向的初级光302偏转到视场306中。在那里，因此能够例如对具有对象603的场景604进行扫描。在对象603上反射的和/或散射的次级光704能够借助激光雷达传感器700的接收单元605接收并且被进一步处理。例如，次级光704能够入射到可运动的镜304上，并且能够将该次级光从这个可运动的镜沿着接收单元605的射束路径引导至探测器单元701。探测器单元704能够构造用于探测在视场306中由对象603反射的和/或散射的次级光704。在此，接收单元605能够具有接收光学器件606。接收光学器件606能够具有光学元件。发送单元300的光学路径和接收单元605的光学路径能够彼此双轴地、共轴地或者如此处示例性示出的那样部分共轴地伸展。此外，如此处示例性地示出的那样，激光雷达传感器能够具有分析处理单元608。分析处理单元608能够通过控制线路607与发送单元300和/或与接收单元605连接。
40.借助发送单元300-c和300-f能够实现：取向向量在从发送单元中出射时只旋转将近0
°
或者将近90
°
的角度。这在图7示例性地示出。图7a示出照明图案的可能的取向向量和当在镜上反射时取向向量的出现的角度旋转。该镜能够是上文描述的转向镜或者也能够是上文描述的可运动的镜。取向向量能够平行于第一平面，如线条706示意性示出的那样。该取向向量也能够垂直于该平面，如圆705示意性示出的那样。如果照明图案现在沿着方向708-1入射到镜709上，则该照明图案能够被镜709沿着方向708-2反射。由于在镜709上的反射，取向向量能够旋转0
°
或者90
°
的角度。在这种情况下，取向向量在反射之后与第一平面平行，如线条711示意性示出的那样，或者与该平面垂直，如圆710示意性示出的那样。如图7b所示，平行于第一平面定向的线条711能够与在反射前具有相同的取向，或者能够恰好也旋转90
°
。这通过线条711-a和711-b示出。如果取向向量706在反射之前与第一平面平行，则该取向向量在反射之后也能够是与第一平面垂直的，反之亦然。这也相应于旋转90
°
的角度。在所有这些变型中能够实现：借助发送单元实现对视场的尽可能无空隙的照明。能够避免别的角度旋转，例如如下角度旋转：所述角度旋转明显不等于0
°
或者90
°
(如图7b中的线条707示例性示出的那样)或者通过所述角度旋转在视场中会出现未被照明的区域。
41.图8示出用于将初级光发射到视场中的方法800的一种实施例。该方法在步骤801中开始。在步骤802中，借助发射器单元进行发射照明图案的形式的初级光，其中，该照明图案至少具有第一延展尺度和第二延展尺度，第一延展尺度和第二延展尺度彼此正交地定向。在此，第一延展尺度大于或者小于第二延展尺度。此外，所发射的照明图案沿着取向向量定向，该取向向量平行于第一延展尺度。在另一个步骤803中，在将取向向量旋转第一角度的情况下借助第二转向镜进行由发射器单元发射的初级光到第一转向镜上的第一转向。在步骤804中，在将取向向量旋转第二角度的情况下借助第一转向镜进行初级光的到可运动的镜上的第二转向。在此，第一角度和第二角度分别不等于0
°
和90
°
。在步骤805中，借助
可运动的镜进行在视场中沿着第一方向并且沿着第二方向扫描初级光，该第二方向垂直于第一方向取向。该方法在步骤806中结束。