防火卷帘和包括该防火卷帘的运输装置的制作方法

1.本发明涉及一种防火卷帘和包括该防火卷帘的运输装置。更具体地，本发明涉及一种用于打开和关闭运输车辆移动通过的通道的防火卷帘和包括该防火卷帘的运输装置。


背景技术：

2.通常，在半导体或显示器制造过程中，诸如半导体晶片或显示器基板之类的材料可以通过运输装置在洁净室之间传送。例如，材料可以通过诸如架空起重机运输(oht)装置之类的运输装置在洁净室之间运输。运输装置可以包括用于运输材料的运输车和运输车在其上移动的运输轨道，并且运输轨道通过的通道可以设置在洁净室之间的壁中。
3.当任一洁净室发生火灾时，火势都可能通过通道蔓延到其他洁净室，并且火灾产生的烟雾和有毒气体也可能转移到其他洁净室。


技术实现要素：

4.本发明提供一种防火卷帘，能够为运输车辆的移动提供通道，并在发生火灾时阻挡火焰和烟雾。
5.根据本发明的一个方面，防火卷帘可包括：框架，该框架具有开口，用于运输车辆移动的运输轨道穿过该开口，该开口基于运输轨道分为上开口和下开口；安装在框架上并被配置为打开和关闭上开口的上门，以及安装在框架上并被配置为打开和关闭下开口的下门。
6.根据本发明的一些实施例，防火卷帘还可包括第一驱动单元，用于在上门打开上开口的上打开位置和上门关闭上开口的上关闭位置之间沿竖直方向移动上门。
7.根据本发明的一些实施例，防火卷帘还可包括第一引导单元，用于在上打开位置和上关闭位置之间沿竖直方向引导上门。
8.根据本发明的一些实施例，防火卷帘还可包括第二驱动单元，用于在下门打开下开口的下打开位置和下门关闭下开口的下关闭位置之间移动下门。
9.根据本发明的一些实施例，下门可以在下打开位置沿水平方向布置，在下关闭位置沿竖直方向布置。
10.根据本发明的一些实施例，下门可以包括在下打开位置与框架相邻的第一端部和与框架间隔开的第二端部，并且第二驱动单元可以在竖直方向上移动下门的第一端部。
11.根据本发明的一些实施例，第二驱动单元可包括安装在框架上的电机、连接到电机的旋转轴并在竖直方向上延伸的滚珠丝杠、以及与滚珠丝杠接合并连接至下门的第一端部的滚珠螺母。
12.根据本发明的一些实施例，防火卷帘还可包括第二引导单元，用于在水平方向上引导下门的第二端部。
13.根据本发明的一些实施例，第二引导单元可包括安装在下门的第二端部的侧表面上的滚子和具有在水平方向上延伸的沟槽的引导构件，且滚子可以设置在沟槽内。
14.根据本发明的一些实施例，第二驱动单元可以旋转下门以打开和关闭下开口。
15.根据本发明的一些实施例，下门可包括可旋转地安装在框架上的第一下门、以滑动方式可移动地安装在第一下门上的第二下门、以及以滑动方式可移动地安装在第二下门上的第三下门。
16.根据本发明的一些实施例，第二驱动单元可包括用于旋转下门的第一驱动部和用于延伸和缩回下门的第二驱动部。
17.根据本发明的一些实施例，当下门被第二驱动部缩回时，第三下门可以容纳在第二下门中，并且第二下门可以容纳在第一下门中。
18.根据本发明的一些实施例，上门的下表面和下门的上表面可具有凹槽，在上门和下门关闭的状态下，运输轨道插入该凹槽中。
19.根据本发明的一些实施例，在上门和下门关闭的状态下，第一密封构件可以设置在上门的下表面和下门的上表面之间。
20.根据本发明的一些实施例，在上门和下门关闭的状态下，第二密封构件可以设置在上门和框架之间以及下门和框架之间。
21.根据本发明的一些实施例，在上门和下门关闭的状态下，第一可膨胀构件可以设置在上门的下表面和下门的上表面之间。特别地，当发生火灾时，第一可膨胀构件可受热膨胀以堵塞上门和下门之间的间隙。
22.根据本发明的一些实施例，在上门和下门关闭的状态下，第二可膨胀构件可以设置在上门和框架之间以及下门和框架之间。特别地，当发生火灾时，第二可膨胀构件可受热膨胀以堵塞上门和框架之间的间隙以及下门和框架之间的间隙。
23.根据本发明的一些实施例，防火卷帘还可包括安装在框架上并被配置为检测运输车辆的传感器。
24.根据本发明的另一方面，运输装置可包括具有设置在洁净室之间的开口的防火卷帘、延伸穿过该开口的运输轨道、以及被配置为可沿着运输轨道移动的运输车辆。具体地，开口可基于运输轨道分为上开口和下开口，防火卷帘可包括具有开口的框架、安装在框架上并被配置为打开和关闭上开口的上门和安装在框架上并被配置为打开和关闭下开口的下门。
25.根据如上所述的本发明的实施例，上开口可以由上门打开和关闭，下开口可以由下门打开和关闭。因此，当发生火灾时，上门和下门可以稳定地关闭上开口和下开口，从而充分防止火焰和烟雾的蔓延。此外，下门可以在下开口打开的状态下沿水平方向布置，因此，可以显着减少安装防火卷帘所需的空间。
26.本发明的上述概述并非旨在描述本发明的每个图示实施例或每个实施方式。下面的详细说明和权利要求更具体地举例说明了这些实施例。附图的简要说明
27.从以下结合附图的描述中可以更详细地理解示例性实施例，其中:
28.图1是根据本发明实施例的防火卷帘打开状态的主视示意图；
29.图2是图1所示防火卷帘打开状态的侧视示意图；
30.图3是图1所示防火卷帘关闭状态的主视示意图；
31.图4是图3所示防火卷帘关闭状态的侧视示意图；
32.图5是根据本发明另一实施例的防火卷帘打开状态的主视示意图；
33.图6为图5所示防火卷帘打开状态的侧视示意图；
34.图7是图5所示防火卷帘关闭状态的主视示意图；
35.图8是图7所示防火卷帘关闭状态的侧视示意图；
36.图9是根据本发明又一实施例的防火卷帘打开状态的主视示意图；
37.图10是图9所示防火卷帘打开状态的侧视示意图；
38.图11是图9所示防火卷帘关闭状态的主视示意图；
39.图12是图11所示防火卷帘关闭状态的侧视示意图；
40.图13是本发明又一实施例的运输装置的主视示意图；且
41.图14是图13所示运输装置的侧视示意图。
42.虽然各种实施例可进行各种修改和替代形式，但其细节已经通过示例的方式在附图中示出并且将被详细描述。然而，应当理解，其意图不是将要求保护的发明限制于所描述的特定实施例。相反，意图是涵盖落入由权利要求限定的主题的实质和范围内的所有修改、等同物和替代物。
具体实施例
43.以下，将参照附图更详细地描述本发明的实施例。然而，本发明不限于以下描述的实施例并且以各种其他形式实施。提供以下实施例不是为了完整地完成本发明，而是为了将本发明的范围完整地传达给本领域技术人员。
44.在说明书中，当一个组件被称为在另一个组件或层上或连接到另一个组件或层时，它可以直接在另一个组件或层上或连接到另一个组件或层，或者也可以存在中间的组件或层。与此不同，应当理解，当一个组件被称为直接在另一组件或层上或直接连接到另一组件或层时，这意味着不存在中间组件。此外，尽管在本发明的各个实施例中使用诸如第一、第二和第三之类的术语来描述各个区域和层，但是区域和层不限于这些术语。
45.以下所用术语仅用于描述具体实施例，并不用于限制本发明。此外，除非在此另有定义，否则包括技术或科学术语在内的所有术语可具有与本领域技术人员通常理解的相同含义。
46.结合理想实施例的示意图来描述本发明的实施例。因此，从附图的形式可以预期制造方法和/或允许误差的变化。因此，本发明的实施例不限于附图中的特定形式或区域，而是包括形式的偏差。这些区域可以完全是示意性的，并且它们的形式可能不描述或描绘任何给定区域中的准确形式或结构，并且不旨在限制本发明的范围。
47.图1是本发明实施例的防火卷帘打开状态的主视示意图。图2是图1所示防火卷帘打开状态的侧视示意图。图3是图1所示防火卷帘关闭状态的主视示意图，图4是图3所示防火卷帘关闭状态的侧视示意图。
48.参照图1至图4，根据本发明的实施例的防火卷帘100可以安装在执行半导体器件或显示器件制造工艺的洁净室之间的墙壁(未示出)上，并且可以提供用于运送材料的运输车辆420(参照图13、图14)通过的通道。进一步地，防火卷帘100可以用于打开和关闭通道，并且可以通过通道设置用于运输车辆移动的运输轨道10。
49.防火卷帘100可以包括框架110，框架110设置在竖直方向上并且具有用作通道的
开口111。例如，框架110可以安装在墙壁上，开口111可以包括运输轨道10上方的上开口112和运输轨道10下方的下开口113。也就是说，开口111可以基于运输轨道10分为上开口112和下开口113。此外，防火卷帘100可以包括安装在框架110的前表面上并被配置为打开和关闭上开口112的上门120，以及安装在框架110的前表面并被配置为打开和关闭下开口113的下门130。
50.上门120可设置为可在上门120打开上开口112的上打开位置和上门120关闭上开口112的上关闭位置之间移动。例如，上门120可以平行于框架110设置，即在竖直方向上，并且可以在竖直方向上移动以打开和关闭上开口112。
51.下门130可设置为可在下门130打开下开口113的下打开位置和下门130关闭下开口113的下关闭位置之间移动。例如，下门130在下打开位置可以在水平方向上布置在框架110的前下部的下开口113下方，并且在下关闭位置可以布置在平行于框架110的方向上，即，竖直方向上。如上所述，由于下门130可以在下打开位置水平地布置在框架110的下部前部上，所以可以减少安装防火卷帘100所需的空间。
52.当上门120和下门130关闭时，上门120的下表面和下门130的上表面可以彼此紧密接触。此外，上门120的下表面和下门130的上表面可以与运输轨道10紧密接触。如图3所示，上门120的下表面和下门130的上表面可具有凹槽121和131，在上门120和下门130关闭的状态下，运输轨道10插入到凹槽121和131中。
53.防火卷帘100可包括第一驱动单元140，其在上打开位置和上关闭位置之间竖直地移动上门120。例如，第一驱动单元140可以包括第一电机141、小齿轮142和齿条143，并且第一驱动单元140安装到的支架144可以设置在框架110的前表面上。支架144可以具有在水平方向上延伸的龙门形状，并且第一电机141可以安装在支架144上。小齿轮142可以连接到第一电机141，并且齿条143可以与小齿轮142接合。齿条143可以竖直地设置在上门120的前表面上。
54.防火卷帘100可包括用于在上打开位置和上关闭位置之间在竖直方向上引导上门120的第一引导单元150。例如，第一引导单元150可以包括导轨151和引导块152。导轨151可以竖直地设置在上门120的前表面上，并且引导块152可以安装在支架144上以结合到导轨151。作为示例，线性运动引导机构可以用作第一引导单元150。
55.防火卷帘100可包括第二驱动单元160，其在下打开位置和下关闭位置之间移动下门130。例如，下门130可以包括在下打开位置时与框架110相邻的第一端部和在水平方向上与框架110间隔开的第二端部，并且第二驱动单元160可以竖直移动下门130的第一端部。具体地，当第二驱动单元160向上移动下门130的第一端部以关闭下开口113时，下门130的第二端部可以水平地朝向框架110移动。
56.例如，第二驱动单元160可以安装在框架110的前表面上，并且可以包括第二电机161、滚珠丝杠162和滚珠螺母163。滚珠丝杠162可以连接到第二电机161的旋转轴并且可以在竖直方向上延伸。滚珠螺母163可以与滚珠丝杠162接合以在竖直方向上可移动，并且可以通过连接轴164连接到下门130的第一端部。
57.作为另一示例，第二驱动单元160可以包括气压缸或线性马达。当第二驱动单元160包括气压缸时，下门130的第一端部可连接到气压缸的杆。当第二驱动单元160包括线性马达时，下门130的第一端部可连接到线性马达的可移动构件。
58.防火卷帘100可包括第二引导单元170，用于在下打开位置和下关闭位置之间沿水平方向引导下门130的第二端部。例如，第二引导单元170可以包括滚子171和引导构件172。滚子171可以安装在下门130的第二端部的侧表面上，并且引导构件172可以从框架110的下前表面开始在水平方向上延伸。引导构件172可以具有形成在水平方向上的沟槽，并且滚子171可以设置在沟槽中。此外，引导构件172可以在下打开位置支撑下门130。
59.根据本发明的实施例，在上门120和下门130关闭的状态下，第一密封构件180可以设置在上门120的下表面和下门130的上表面之间。第一密封件180可用于密封上门120和下门130之间。例如，如图1所示，第一密封构件180可以具有在水平方向上延伸的带状，并且可以附接到上门120的下表面。作为另一示例，第一密封构件180可以附接到下门130的上表面上。
60.此外，在上门120和下门130关闭的状态下，第二密封构件182可以设置在上门120和框架110之间以及下门130和框架110之间。例如，第二密封构件182可以附接到框架110的前表面以围绕开口111，因此可以密封上门120和下门130与框架110之间的间隙。因此，当发生火灾时，火焰、烟雾和气体可被第一密封构件180和第二密封构件182阻挡。
61.根据本发明的实施例，在上门120和下门130关闭的状态下，第一可膨胀构件181可以设置在上门120的下表面和下门130的上表面之间。例如，第一可膨胀构件181可具有沿水平方向延伸的带状并可附接到上门120的下表面。作为另一示例，第一可膨胀构件181可附接到下门130的上表面。当发生火灾时，第一可膨胀构件181可以受热膨胀以堵塞上门120和下门130之间的间隙。
62.此外，在上门120和下门130关闭的状态下，第二可膨胀构件183可以设置在上门120和框架110之间以及下门130和框架110之间。例如，第二可膨胀构件183可附接到框架110的前表面以围绕开口111。当发生火灾时，第二可膨胀构件183可因热膨胀以堵塞上门120与框架110之间的间隙以及下门130和框架110之间的间隙。例如，可以使用从sekisui chemical co.，ltd.获得的fi-block(注册商标名)作为第一可膨胀构件181和第二可膨胀构件183。
63.根据本发明的实施例，防火卷帘100可包括传感器190和192，用于在上门120和下门130操作之前检测定位在运输轨道10上的运输车辆。例如，光学传感器可以用作传感器190和192。具体地，第一传感器190可以安装在框架110的前表面上，而第二传感器192可以安装在框架110的后表面上。
64.尽管图中未示出，防火卷帘100可以包括用于控制上门120和下门130的操作的控制单元(未示出)。具体地，控制单元可以控制第一驱动单元140和第二驱动单元160的操作，以在发生火灾时关闭上门120和下门130。特别地，当第一和/或第二传感器190和/或192检测到运输车辆时，控制单元可以停止上门120和下门130的操作。此外，在运输车辆已经移动通过开口111后，即当第一和第二传感器190和192没有检测到运输车辆时，控制单元可以恢复上门120和下门130的操作。
65.图5是本发明另一实施例的防火卷帘打开状态的主视示意图。图6为图5所示防火卷帘打开状态的侧视示意图。图7是图5所示防火卷帘关闭状态的主视示意图，和图8是图7所示防火卷帘关闭状态的侧视示意图。
66.参照图5至图8，根据本发明另一实施例的防火卷帘200可包括框架210、上门220、
下门230、第一驱动单元240、引导单元250、第二驱动单元260、第一和第二密封构件280和282、第一和第二可膨胀构件281和283、以及第一和第二传感器290和292。
67.框架210可具有包括上开口212和下开口213的开口211。上门220可具有凹槽221，运输轨道10插入该凹槽221中，下门230可具有凹槽231运输轨道10插入该凹槽231中。第一驱动单元240可以包括第一电机241、小齿轮242和齿条243，并且第一引导单元250可以包括导轨251和引导块252。此外，防火卷帘200可以包括支架244用于安装第一驱动单元240和第一引导单元250。
68.框架210、上门220、第一驱动单元240、引导单元250、第一和第二密封构件280和282、第一和第二可膨胀构件281和283、以及第一和第二传感器290292和292与前面参照图1至图4描述的那些基本相同，因此将省略对其的附加描述。
69.下门230可以可旋转地安装在框架210的前表面上，第二驱动单元260可以旋转下门230以打开和关闭下开口213。具体地，下门230在用于打开下开口213的下打开位置可以设置在水平方向上，并且可以包括与框架210间隔开的第一端部和与框架210相邻的第二端部。
70.例如，第二驱动单元260可以包括安装在框架210的前表面上并被配置为旋转下门230的第二电机261，以及连接第二电机261和下门230的第二端部的旋转轴262。作为示例，第二电机261可以通过沿顺时针方向旋转下门230来关闭下开口213，并且可以通过沿逆时针方向旋转下门230来打开下开口213。
71.图9是本发明又一实施例的防火卷帘打开状态的主视图。图10是图9所示防火卷帘打开状态的侧视示意图。图11是图9所示防火卷帘关闭状态的主视示意图，且图12是图11所示防火卷帘关闭状态的侧视示意图。
72.参照图9至图12，根据本发明又一实施例的防火卷帘300可包括框架310、上门320、下门330、第一驱动单元340、引导单元350、第二驱动单元360、第一和第二密封构件380和382、第一和第二可膨胀构件381和383、以及第一和第二传感器390和392。
73.框架310可以具有包括上开口312和下开口313的开口311。上门320可以具有凹槽321，运输轨道10插入该凹槽321中，下门330可以具有凹槽331，运输轨道10插入该凹槽331中。第一驱动单元340可以包括第一电机341、小齿轮342和齿条343，并且第一引导单元350可以包括导轨351和引导块352。此外，防火卷帘300可以包括支架344用于安装第一驱动单元340和第一引导单元350。
74.框架310、上门320、第一驱动单元340、引导单元350、第一和第二密封构件380和382、第一和第二可膨胀构件381和383、以及第一和第二传感器390和392与前面参照图1至图4描述的那些基本相同，因此将省略对其的附加描述。
75.下门330可以可旋转地安装在框架310的前表面上，第二驱动单元360可以旋转下门330以打开和关闭下开口313。
76.下门330在用于打开下开口313的下打开位置可沿水平方向布置。第二驱动单元360可包括安装在框架310的前表面上并被配置为旋转下门330的第一驱动部361，以及连接第一驱动部361和下门330的旋转轴362。例如，第一驱动部361可以包括马达。此外，第一驱动部361可以通过沿顺时针方向旋转下门330来关闭下开口313，并且可以通过沿逆时针方向旋转下门330来打开下开口313。
77.特别地，下门330可包括可旋转地安装在框架310的前表面上的第一下门331、以滑动方式可移动地安装在第一下门331上的第二下门332和以滑动方式可移动地安装在第二下门332上的第三下门333。
78.第二驱动单元360可以包括用于延伸和缩回下门330的第二驱动部363。具体地，当下门330被第二驱动部363缩回时，第三下门333可以容纳在第二下门332中，并且第二下门332可以容纳在第一下门331中。
79.作为示例，第二驱动部363可以包括气压缸，并且可以在下开口313打开的状态下缩回下门330。此外，当下门330被第一驱动部361旋转时或在下门330被第一驱动部361旋转之前，第二驱动单元363可以延伸下门330以关闭下开口313。例如，在下门330被第一驱动部361旋转而部分关闭下开口313之后，第二驱动部363可以延伸下门330以完全关闭下开口313。如上所述，下门330可以在下打开位置被第二驱动部363缩回，从而可以显着减少防火卷帘300的安装和操作所需的空间。
80.图13是本发明又一实施例的运输装置的示意主视图。图14是图13所示运输装置的示意侧视图。
81.参照图13和14，根据本发明的又一实施例的运输装置400可用于在执行半导体或显示器制造工艺的洁净室之间传送诸如半导体晶片或显示器基板的材料20。运输装置400可以包括运输轨道410、运输车辆420和防火卷帘100。
82.运输轨道410可以延伸穿过防火卷帘100的开口111，并且运输车辆420可以被配置为能够沿着转移轨道410移动。运输车辆420可以包括被配置为能够在运输轨道410上移动的驱动模块430，以及连接到驱动模块430的下部并被配置为提升材料20的提升模块440。
83.尽管未详细示出，但是驱动模块430可以包括设置在运输轨道410上的前轮的前驱动单元和包括设置在运输轨道410上的后轮的后驱动单元。提升模块440可以包括连接到前驱动单元和后驱动单元的下部并具有用于容纳材料20的内部空间的外壳，以及设置在外壳中并用于提升材料20的提升单元。提升单元可以包括用于保持材料20的手持单元并且可以使用升降带竖直移动手持单元。
84.防火卷帘100可包括用于打开和关闭开口111的上门120和下门130。防火卷帘100与之前参照图1至图4描述的相同，因此将省略对其的详细描述。作为另一个例子，运输装置400可以包括如图5至图8所示的防火卷帘200或者如图9至图12所示的防火卷帘300以代替防火卷帘100。
85.虽然已经参考具体实施例描述了本发明的示例实施例，但是它们不限于此。因此，本领域技术人员将容易理解，在不脱离所附权利要求的实质和范围的情况下，可以对其进行各种修改和改变。