可调平加压装置及其贴片设备

1.本发明涉及贴片设备技术领域，尤其是一种可调平加压装置，此外，本发明还涉及一种包括上述可调平加压装置的贴片设备。


背景技术：

2.随着电子产品的发展，电子零件越来越精细，封装技术的重要性也越来越大，目前，用于芯片键合及封装领域的贴片机主要由驱动单元及两个加压组件构成，工作时，芯片和基板放置在两个加压组件之间，而后驱动单元带动加压组件对芯片进行施压，以实现芯片和基板之间的烧结键合；
3.现有技术中的贴片机为了防止芯片键合时出现常见的压偏问题，通常会配备调平装置，然而现有的调平装置主要利用的是球面调平结构进行调平，但其仅能进行被动式调平，无法进行主动式调平操作，致使芯片键合时依旧容易出现压偏的问题。


技术实现要素：

4.本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中的贴片机在芯片键合时容易出现压偏的问题，现提供一种可调平加压装置，此外，本发明还提供一种包括上述可调平加压装置的贴片设备。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种可调平加压装置，包括：
6.导轨，安装在机架上；
7.第一加压组件，具有第一工作面；
8.第二加压组件，具有与第一工作面相对设置的第二工作面，所述第一加压组件安装在机架或/和导轨上；
9.第一滑块，与导轨相匹配，并滑动安装在导轨上；
10.驱动单元，用于带动第一加压组件相对第二加压组件靠拢或远离；
11.以及第一调平组件，用于将第一加压组件连接在第一滑块上，并具有浮动连接状态和固定连接状态；
12.所述第一调平组件处于浮动连接状态及第一加压组件向第二加压组件靠拢时，第一加压组件通过第一调平组件带动第一滑块移动，且第一调平组件允许第一加压组件随第一工作面与第二工作面的接触而自适应的调整位置，实现第一工作面与第二工作面的贴合；
13.所述第一调平组件处于固定连接状态时，第一加压组件位置被固定在第一滑块上。
14.本方案中在调平时，第一调平组件处于浮动连接状态，第一加压组件位置不固定，第二加压组件位置固定，第一工作面和第二工作面之间具有一定的平行度偏差，然后对第一加压组件施加一定压力，第一加压组件随着与第二工作面的接触而自适应的调整位置，直至第一工作面和第二工作面紧密贴合，接着利用第一调平组件将第一加压组件的位置固
定，从而保证了第一工作面和第二工作面相互平行，具有操作方便及效果好的优点，尤其适用于桌面级小型设备，并且只需一次调平即可持续工作，不需要每次工作都调平，省时省力。
15.进一步地，所述第一调平组件包括第一连接件和第一紧固件；
16.所述第一连接件和第一加压组件固定连接，并开设有第一安装孔；
17.所述第一紧固件穿过第一安装孔，并用于将第一连接件可拆卸的固定在第一滑块上；第一紧固件位于第一安装孔内的部位的外周壁与第一安装孔的内周壁之间留有第一间隙；
18.由于第一间隙的存在，在第一紧固件未固定时，第一连接件及其上的第一加压组件能够在第一间隙所约束的范围内移动，使第一加压组件能够微调位置，在第一加压组件位置确立后，再拧紧第一紧固件，从而将第一加压组件的位置固定在第一滑块上，以保证第一工作面与第二工作面相互平行。
19.为了防止第一加压组件调平后再次出现歪斜，进一步地，所述第一加压组件的两侧均配置有第一调平组件，所述机架上位于第一加压组件的两侧均具有导轨，所述导轨上均滑动安装有所述第一滑块，所述第一调平组件和其所在侧的第一滑块连接；通过双侧第一调平组件及第一滑块的设计，促使第一加压组件两侧受力平衡，从而确保第一加压组件不会在工作过程中出现歪斜的情况。
20.为了提高压力传感器检测的准确性，进一步地，所述第二加压组件远离第二工作面的一端具有安装面，所述安装面与机架之间设置有压力传感器，压力传感器固定安装在机架上，导轨上滑动安装有与其相匹配的第二滑块；
21.还包括第二调平组件，用于将第二加压组件连接在第二滑块上，并具有浮动连接状态和固定连接状态；
22.所述第二调平组件处于浮动连接状态及第二加压组件向压力传感器靠拢时，第二加压组件通过第二调平组件带动第二滑块移动，且第二调平组件允许第二加压组件随安装面与压力传感器的受力面的接触而自适应的调整位置，实现安装面与受力面的贴合；
23.所述第二调平组件处于固定连接状态时，第二加压组件位置被固定在第二滑块上；
24.在调平时，第二调平组件处于浮动连接状态，第二加压组件位置不固定，压力传感器位置固定，安装面与压力传感器的受力面之间具有一定的平行度偏差，然后对第二加压组件施加一定压力，第二加压组件随着与受力面的接触而自适应的调整位置，直至安装面和受力面紧密贴合，接着利用第二调平组件将第二加压组件的位置固定，从而保证了安装面和受力面相互平行，以此提高压力传感器检测的准确性。
25.进一步地，所述第二调平组件包括第二连接件和第一紧固件；
26.所述第二连接件和第二加压组件固定连接，并开设有第二安装孔；
27.所述第二紧固件穿过第二安装孔，并用于将第二连接件可拆卸的固定在第二滑块上；第二紧固件位于第二安装孔内的部位的外周壁与第二安装孔的内周壁之间留有第二间隙；
28.由于第二间隙的存在，在第二紧固件未固定时，第二连接件及其上的第一加压组件能够在第二间隙所约束的范围内移动，使第二加压组件能够微调位置，在第二加压组件
位置确立后，再拧紧第二紧固件，从而将第二加压组件的位置固定在第二滑块上，以保证安装面和受力面相互平行。
29.为了防止第二加压组件调平后再次出现歪斜，进一步地，所述第二加压组件的两侧均配置有第二调平组件，所述机架上位于第二加压组件的两侧均具有导轨，所述导轨上均滑动安装有所述第二滑块，所述第二调平组件和其所在侧的第二滑块连接；通过双侧第二调平组件及第二滑块的设计，促使第二加压组件两侧受力平衡，从而确保第二加压组件不会在工作过程中出现歪斜的情况。
30.为了提高对第一加压组件施力的均匀性，进一步地，所述驱动单元包括驱动机构和平衡施力机构；
31.所述平衡施力机构包括球副组件及具有弹性的弹性缓冲组件，所述驱动机构的输出端通过弹性缓冲组件与球副组件传动连接，所述球副组件和第一加压组件传动连接；
32.弹性缓冲组件利用自身的弹性可以起到缓冲作用，从而更精确地控制施加到芯片上的压力；驱动机构的压力传递到弹性缓冲组件后，由弹性缓冲组件将压力传递到球副组件上，球副组件可以将弹性缓冲组件分散的压力集中到中心一点处，保证了对第一加压组件施加压力的平衡，防止由于弹性缓冲组件制造、装配误差导致的压力偏载问题。
33.为了便于制造及装配，进一步地，所述弹性缓冲组件包括固定板、活动板、导杆及弹性元件；
34.所述驱动机构的输出端和固定板固定连接，所述活动板与球副组件固定连接，所述固定板和活动板中的一者与导杆固定连接，另一者沿第一滑块的移动方向与导杆滑动连接，所述弹性元件位于活动板与固定板之间。
35.为了实现球副组件传动连接在弹性缓冲组件与第一加压组件之间，进一步地，所述球副组件包括球副板一、中心球、球副板二及限位板，所述中心球位于球副板一和球副板二之间，所述限位板的一端开设有复位孔，另一端与球副板二固定连接；
36.所述球副板一或活动板安装有复位杆，所述复位杆插入至复位孔中，复位杆位于复位孔内的部位的外周壁与复位孔的内周壁之间留有第三间隙；
37.所述球副板一和球副板二中的一者和活动板固定连接，另一者和第一加压组件固定连接；
38.第三间隙的设置，一方面在第一加压组件加压时，可实现弹性缓冲组件施加给球副板一的压力，全部集中由中心球传递给球副板二，再由球副组件二传递给第一加压组件；另一方面，在第一加压组件复位时，球副板一通过复位杆拉动限位板，使球副板二及中心球随第一加压组件沿复位方向移动；同时限位板及复位杆的设置，亦限制了球副板一及球副板二的相对位置，实现能够将中心球约束在球副板一和球副板二之间。
39.本发明还提供一种贴片设备，包括上述的可调平加压装置。
40.本发明的有益效果是：本发明的可调平加压装置采用调平组件配合第一滑块的设计，实现在浮动连接状态时，第一加压组件能够以第二工作面为基准，通过下压的方式迫使第一工作面第二工作面贴合，以此确立第一加压组件的位置，位置确立后，将调平组件切换为固定连接状态，完成调平操作，从而保证了第一工作面和第二工作面相互平行，具有操作方便及效果好的优点，尤其适用于桌面级小型设备，并且只需一次调平即可持续工作，不需要每次工作都调平，省时省力。
附图说明
41.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
42.图1是本发明可调平加压装置的示意图；
43.图2是图1中a-a向剖视示意图；
44.图3是图2中b的局部放大示意图；
45.图4是图2中c-c向剖视示意图；
46.图5是本发明中第一加压组件通过调平组件与第一滑块连接时的爆炸示意图；
47.图6是本发明中第一加压组件通过调平组件与第一滑块连接时的三维示意图；
48.图7是本发明中弹性缓冲组件和球副组件装配时的三维示意图；
49.图8是本发明中弹性缓冲组件和球副组件装配时的二维示意图；
50.图9是图8中d-d向剖视示意图；
51.图10是图9中e-e向剖视示意图；
52.图11是图10中f的局部放大示意图；
53.图12是第二加压组件的安装示意图；
54.图13是图12中g-g向剖视示意图；
55.图14是图13中h的局部放大示意图；
56.图15是图13中k-k向剖视示意图；
57.图中：1、第一加压组件，1-1、第一工作面；
58.2、第二加压组件，2-1、第二工作面，2-2、安装面；
59.3、第一调平组件，3-1、第一连接件，3-11、第一安装孔，3-2、第一紧固件，3-3、第一间隙；
60.4、弹性缓冲组件，4-1、固定板，4-2、活动板，4-21、第三螺纹孔，4-3、导杆，4-4、弹性元件，4-5、限位螺母；
61.5、球副组件，5-1、球副板一，5-2、中心球，5-3、球副板二，5-4、限位板，5-41、复位孔，5-5、复位杆，5-6、第三间隙；
62.6、驱动机构，6-1、电机，6-2、丝杆，6-3、传动螺母，6-4、螺母基板， 6-5、第三连接件，6-6、第三滑块；
63.7，第二调平组件，7-1、第二连接件，7-11、第二安装孔，7-2、第二紧固件，7-3、第二间隙；
64.8、第二滑块，8-1、第二螺纹孔；
65.9、压力传感器，9-1、受力面；
66.10、导轨，11、机架；
67.12、第一滑块，12-1、第一螺纹孔。
具体实施方式
68.现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成，方向和参照(例如，上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征的描述。因此，并非在限制性意义上采用以下具体实施方式，并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求保温的主题的
范围。
69.如图1-11所示，一种可调平加压装置，包括：
70.导轨10，固定安装在机架11上；
71.第一加压组件1，具有第一工作面1-1；
72.第二加压组件2，具有与第一工作面1-1相对设置的第二工作面2-1，第一加压组件1安装在机架11或/和导轨10上；
73.第一滑块12，与导轨10相匹配，并滑动安装在导轨10上；
74.驱动单元，用于带动第一加压组件1沿直线方向相对第二加压组件2靠拢或远离；
75.以及第一调平组件3，用于将第一加压组件1连接在第一滑块12上，并具有浮动连接状态和固定连接状态；第一调平组件3处于浮动连接状态及第一加压组件1向第二加压组件2靠拢时，第一加压组件1通过第一调平组件3带动第一滑块12移动，且第一调平组件3允许第一加压组件1随第一工作面1-1与第二工作面2-1的接触而自适应的调整位置，实现第一工作面1-1与第二工作面2-1的贴合；第一调平组件3处于固定连接状态时，第一加压组件1位置被固定在第一滑块12上。
76.如图5和6所示，本实施例中第一调平组件3包括第一连接件3-1和第一紧固件3-2；第一连接件3-1和第一加压组件1固定连接，并开设有第一安装孔 3-11；第一紧固件3-2穿过第一安装孔3-11，并用于将第一连接件3-1可拆卸的固定在第一滑块12上；如图3所示，第一紧固件3-2位于第一安装孔3-11 内的部位的外周壁与第一安装孔3-11的内周壁之间留有第一间隙3-3；第一安装孔3-11的横截面可为椭圆形、圆形、长圆形或方形等，本实施中具体采用横截面为圆形的第一安装孔3-11；
77.本实施例中第一连接件3-1可与第一滑块12一体成型，亦或者，第一连接件3-1通过机械连接的方式与第一滑块12固定连接；
78.第一紧固件3-2将第一连接件3-1可拆卸的固定的具体实现方式包含但不仅限于以下形式：
79.其一为，第一紧固件3-2采用螺钉，第一滑块12上开设有与第一紧固件3-2 相匹配的第一螺纹孔12-1，第一紧固件3-2穿过第一安装孔3-11后螺纹连接在第一螺纹孔12-1内，第一安装孔3-11的孔径大于第一螺纹孔12-1的孔径；在第一紧固件3-2未拧紧时，第一加压组件1能够在第一间隙3-3所约束的范围内移动，以便于进行位置微调，在第一加压组件1位置确立后，再拧紧第一紧固件3-2，使第一紧固件3-2的螺帽抵住第一连接件3-1，从而将第一加压组件 1的位置固定在第一滑块12上；
80.其二为，第一紧固件3-2包括螺柱和螺母，螺柱通过焊接、卡接、螺纹连接及一体成型等方式固定在第一滑块12上，并穿过第一安装孔3-11后与螺母螺纹连接；在螺母未拧紧时，第一加压组件1能够在第一间隙3-3所约束的范围内移动，以便于进行位置微调；螺母拧紧时抵住第一连接件3-1，从而将第一加压组件1的位置固定在第一滑块12上。
81.第一加压组件1的两侧均配置有第一调平组件3，机架11上位于第一加压组件1的两侧均具有导轨10，导轨10上均滑动安装有第一滑块12，第一调平组件3和其所在侧的第一滑块12连接；通过双侧第一调平组件3及第一滑块12 的设计，促使第一加压组件1两侧受力平衡，从而确保第一加压组件1不会在工作过程中因侧向载荷而引起第一加压组件1歪斜的情况发生；
82.如图7-11所示，本实施例中驱动单元包括驱动机构6和平衡施力机构；
83.平衡施力机构包括球副组件5及具有弹性的弹性缓冲组件4，驱动机构6的输出端通过弹性缓冲组件4与球副组件5传动连接，球副组件5和第一加压组件1传动连接。
84.弹性缓冲组件4包括固定板4-1、活动板4-2、导杆4-3及弹性元件4-4；驱动机构6的输出端和固定板4-1固定连接，活动板4-2与球副组件5固定连接，弹性元件4-4的一端抵住活动板4-2，另一端抵住固定板4-1，本实施例中固定板4-1与导杆4-3固定连接，导杆4-3穿过活动板4-2，并沿第一滑块12 的移动方向与活动板4-2滑动连接，导杆4-3上螺纹连接有限位螺母4-5，限位螺母4-5抵住活动板4-2远离固定板4-1的一端端面，以此使固定板4-1、导杆 4-3及活动板4-2构成一个整体，防止活动板4-2从导杆4-3上脱落，同时通过拧动限位螺母4-5还能够改变固定板4-1与活动板4-2之间的距离，以调节弹性元件4-4的弹力大小；或者，本实施例中活动板4-2与导杆4-3固定连接，导杆4-3穿过固定板4-1，并沿第一滑块12的移动方向与固定板4-1滑动连接，导杆4-3上螺纹连接有限位螺母4-5，限位螺母4-5抵住固定板4-1远离活动板 4-2的一端端面。
85.为了提高缓冲性能，弹性元件4-4采用弹簧，弹簧及导杆4-3均具有多个，且一一对应，弹簧套设在与其对应的导杆4-3外，可防止弹簧出现歪斜，固定板4-1和活动板4-2之间的弹簧围绕球副组件5的中心呈周向间隔分布，以提高压力分布的均匀性；本实施例中弹簧具体采用四个，四个弹簧分布在方形的四个拐角处，该方形所在的外接圆的圆心与中心球5-2的球心在均与第一加压组件1的中心线重合；
86.本实施例中驱动机构6的压力传递到弹簧后，弹簧可以起到缓冲作用，随后，弹簧将压力传递到球副组件5上，球副组件5可以将各弹簧分散的压力集中到中心一点处，保证了对第一加压组件1施加压力的平衡，防止由于弹簧制造、装配误差导致的压力偏载问题；从而由第一调平组件3及平衡施力机构共同保证键合时芯片受力的均匀性，无偏载的施加压力亦可防止调平后的第一加压组件1发生歪斜。
87.本实施例中球副组件5包括球副板一5-1、中心球5-2、球副板二5-3及限位板5-4，中心球5-2位于球副板一5-1和球副板二5-3之间，为了防止中心球 5-2发生脱落，球副板一5-1和球副板二5-3上均开设有凹陷部，中心球5-2的两端分别位于球副板一5-1和球副板二5-3的凹陷部内；
88.球副板一5-1和球副板二5-3中的一者和活动板4-2固定连接，另一者和第一加压组件1固定连接；以球副板一5-1与或活动板4-2固定连接为例，球副板二5-3和第一加压组件1固定连接，为了有利于提高第一加压组件1施力的均匀性，球副板一5-1优选为固定在活动板4-2的中间位置；
89.限位板5-4的一端开设有复位孔5-41，另一端与球副板二5-3固定连接；球副板一5-1或活动板4-2固定有复位杆5-5，复位杆5-5插入至复位孔5-41 中，如图11所示，复位杆5-5位于复位孔5-41内的部位的外周壁与复位孔5-41 的内周壁之间留有第三间隙5-6；
90.复位杆5-5具体采用螺纹连接、卡接、焊接或一体成型等方式固定在球副板一5-1或活动板4-2上；复位杆5-5亦可采用紧固件替代，以采用螺钉为例，球副板一5-1或活动板4-2上开设有与复位杆5-5相匹配的第三螺纹孔4-21，复位杆5-5穿过复位孔5-41后螺纹连接在第三螺纹孔4-21内。
91.第三间隙5-6的设置，一方面在第一加压组件1加压时，可实现弹性缓冲组件4施加
给球副板一5-1的压力，全部集中由中心球5-2传递给球副板二5-3，再由球副板二5-3传递给第一加压组件1；另一方面，在第一加压组件1复位时，球副板一5-1通过复位杆5-5拉动限位板5-4，使球副板二5-3及中心球5-2随第一加压组件1沿复位方向移动；同时限位板5-4及复位杆5-5的设置，亦限制了球副板一5-1及球副板二5-3的相对位置，起到约束了中心球5-2的作用；此外，第三间隙5-6的设置也使得平衡施力机构与第一加压组件1之间为非刚性连接，不会对第一加压组件1的调平造成影响。
92.本实施例中驱动机构6包括电机6-1、丝杆6-2、传动螺母6-3及螺母基板 6-4，螺母基板6-4上固定有第三连接件6-5，导轨10上滑动安装有与其相匹配的第三滑块6-6，第三连接件6-5与第三滑块6-6通过螺钉固定连接，具体地，本实施例中第三滑块6-6与第三连接件6-5之间的连接结构和第一滑块12与第一连接件3-1之间的连接结构相同；电机6-1的输出端和丝杆6-2传动连接，丝杆6-2与传动螺母6-3螺纹传动连接，丝杆6-2的轴线方向与第一滑块12的滑动方向平行，传动螺母6-3与螺母基板6-4固定连接，螺母基板6-4与固定板4-1固定连接；电机6-1带动丝杆6-2转动，传动螺母6-3进给，由传动螺母6-3带动螺母基板6-4及固定板4-1位移，再由固定板4-1通过弹性元件4-4 传递至活动板4-2，最终活动板4-2通过球副组件5带动第一加压组件1往复移动；值得注意的是，本实施例中驱动机构6亦可采用气缸及电动推杆等。
93.本实施例中可调平加压装置的工作原理为：
94.第一加压组件1的第一工作面1-1和第二加压组件2的第二工作面2-1，在调平前已通过机加工的方法保证了第一工作面1-1和第二工作面2-1的平整度；
95.调平时，第一紧固件3-2松开，第一调平组件3处于浮动连接状态，第一加压组件1位置不固定，压力传感器9支撑住第二加压组件2，第二加压组件2 位置固定，第一工作面1-1和第二工作面2-1之间具有一定的平行度偏差，然后电机6-1带动丝杆6-2，使传动螺母6-3向下进给，对第一加压组件1施加一定压力，第一加压组件1随着与第二工作面2-1的接触而自适应的调整位置，直至第一工作面1-1和第二工作面2-1紧密贴合，接着利用拧紧第一紧固件3-2，将第一加压组件1的位置固定，从而保证了第一工作面1-1和第二工作面2-1 相互平行，具有操作方便及效果好的优点，尤其适用于桌面级小型设备，并且只需一次调平即可持续工作，不需要每次工作都调平，省时省力。
96.工作时，电机6-1带动丝杆6-2，使传动螺母6-3向下进给，压力传递到弹簧后，弹簧可以起到缓冲作用，随后，弹簧将压力传递到球副组件5上，球副组件5可以将各弹簧分散的压力集中到中心一点处，保证了对第一加压组件1 施加压力的平衡，从而由第一调平组件3及平衡施力机构共同保证键合时芯片受力的均匀性；
97.因此，第一调平组件3保证了第一工作面1-1和第二工作面2-1始终保持平行状态，平衡施力机构保证了对第一加压组件1施加压力的平衡，二者协同工作实现了芯片键合时受力的均匀性，防止了芯片键合时常见的压偏问题的出现。
98.实施例2
99.如图12-15所示，实施例2与实施例1的区别在于：为了提高压力传感器9 检测的准确性，第二加压组件2远离第二工作面2-1的一端具有安装面2-2，安装面2-2与机架11之间设置有压力传感器9，压力传感器9固定安装在机架11 上，导轨10上滑动安装有与其相匹配的第二滑块8；还包括第二调平组件7，用于将第二加压组件2连接在第二滑块8上，并具有浮
动连接状态和固定连接状态；
100.第二调平组件7处于浮动连接状态及第二加压组件2向压力传感器9靠拢时，第二加压组件2通过第二调平组件7带动第二滑块8移动，且第二调平组件7允许第二加压组件2随安装面2-2与压力传感器9的受力面9-1的接触而自适应的调整位置，实现安装面2-2与受力面9-1的贴合；
101.第二调平组件7处于固定连接状态时，第二加压组件2位置被固定在第二滑块8上；
102.本实施例中第二调平组件7包括第二连接件7-1和第一紧固件3-2；第二连接件7-1和第二加压组件2固定连接，并开设有第二安装孔7-11；第二紧固件 7-2穿过第二安装孔7-11，并用于将第二连接件7-1可拆卸的固定在第二滑块8 上；如图14所示，第二紧固件7-2位于第二安装孔7-11内的部位的外周壁与第二安装孔7-11的内周壁之间留有第二间隙7-3；第二安装孔7-11的横截面可为椭圆形、圆形、长圆形或方形等，本实施中具体采用横截面为圆形的第二安装孔7-11；
103.本实施例中第二连接件7-1可与第二滑块8一体成型，亦或者，第二连接件7-1通过机械连接的方式与第二滑块8固定连接；
104.第二紧固件7-2将第二连接件7-1可拆卸的固定的具体实现方式包含但不仅限于以下形式：
105.其一为，第二紧固件7-2采用螺钉，第二滑块8上开设有与螺钉相匹配的第二螺纹孔8-1，第二紧固件7-2穿过第二安装孔7-11后螺纹连接在第二螺纹孔8-1内，第二安装孔7-11的孔径大于第二螺纹孔8-1的孔径；在第二紧固件 7-2未拧紧时，第二加压组件2能够在第一间隙3-3所约束的范围内移动，以便于进行位置微调，在第二加压组件2位置确立后，再拧紧第二紧固件7-2，使第二紧固件7-2的螺帽抵住第二连接件7-1，从而将第二加压组件2的位置固定在第二滑块8上；
106.其二为，第二紧固件7-2包括螺柱和螺母，螺柱通过焊接、卡接、螺纹连接及一体成型等方式固定在第二滑块8上，并穿过第二安装孔7-11后与螺母螺纹连接；在螺母未拧紧时，第二加压组件2能够在第二间隙7-3所约束的范围内移动，以便于进行位置微调；螺母拧紧时抵住第二连接件7-1，从而将第二加压组件2的位置固定在第二滑块8上；
107.为了防止第二加压组件2调平后再次出现歪斜，本实施例中第二加压组件2 的两侧均配置有第二调平组件7和第二滑块8，第二滑块8和其所在侧的导轨 10滑动连接，第二调平组件7和其所在侧的第二滑块8连接；通过双侧第二调平组件7及第二滑块8的设计，促使第二加压组件2两侧受力平衡，从而确保第二加压组件2不会在工作过程中出现歪斜的情况。
108.本实施例中同一侧的第一滑块12、第二滑块8及第三滑块6-6均为设置在同一导轨10上，可降低结构的复杂程度，其次可以避免安装误差等可能导致的卡顿问题。
109.本实施例中第一加压组件1和第二加压组件2采用上下布局，即第一加压组件1位于第二加压组件2的上方，第二加压组件2位于压力传感器9的上方，第二加压组件2调平后，第二加压组件2的安装面2-2可直接抵住压力传感器9 的受力面9-1。
110.本实施例中第二加压组件2的调平原理为：
111.在调平前已通过机加工的方法保证了第二加压组件2的安装面2-2的平整度；
112.在调平时，第二紧固件7-2拧松，第二调平组件7处于浮动连接状态，第二加压组件
2位置不固定，压力传感器9位置固定，安装面2-2与压力传感器9 的受力面9-1之间具有一定的平行度偏差，然后驱动机构6或者手动或者其他方式对第二加压组件2施加一定向下的压力，第二加压组件2随着与受力面9-1 的接触而自适应的调整位置，直至安装面2-2和受力面9-1紧密贴合，接着利用拧紧第二紧固件7-2，将第二加压组件2的位置固定，从而保证了安装面2-2 和受力面9-1相互平行，以此提高压力传感器9检测的准确性。
113.芯片键合时，芯片为放置在第一加压组件1和第二加压组件2之间，驱动单元带动第一加压组件1向下对芯片进行施压，以实现芯片和基板之间的烧结键合，压力传感器9则在此过程中进行压力检测。
114.实施例3
115.一种贴片设备，包括上述实施例1或实施例2中的可调平加压装置。
116.上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。