墨分离装置及具有该装置的基板处理系统的制作方法

1.本发明涉及墨分离装置及具有该装置的基板处理系统。更具体地，涉及可应用于循环式喷墨系统的墨分离装置及具有该装置的基板处理系统。


背景技术：

2.当为了制造lcd面板、pdp面板、led面板等显示装置而在透明基板上执行印刷工艺(例如，rgb图案化(rgb patterning))时，可以使用具有喷墨头单元(inkjet head unit)的印刷装备。


技术实现要素：

3.近来，循环式喷墨系统应用于印刷装备，以便可以重复使用墨溶液(ink)。
4.然而，在循环式喷墨系统中，由于粒子凝聚现象，发生墨溶液在管道或储液器(reservoir)中沉积的现象。此时，沉积的粒子会生长从而影响管道内部的流量，由此墨溶液无法维持一定的流速。
5.此外，凝聚的粒子引发喷墨头单元的喷嘴(nozzle)堵塞并且污染喷嘴的周围，从而导致喷射(jetting)的误弹着并且影响喷嘴的寿命。
6.本发明要解决的技术问题是提供通过测量墨粒子的沉降速度来分离正常墨和不良墨的墨分离装置及具有该装置的基板处理系统。
7.本发明要解决的技术问题不限于以上提及的技术问题，且本领域技术人员将可以通过下面的描述清楚地理解未提及的其它技术问题。
8.用于解决上述技术问题的本发明的墨分离装置的一个方面包括：沉降速度测量部，测量向喷墨头单元供应的墨溶液的沉降速度；以及控制单元，基于所述墨溶液的沉降速度，将所述墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种，其中，如果所述墨溶液被判断为正常墨，则将所述墨供应到所述喷墨头单元，如果所述墨溶液被判断为不良墨，则废弃所述墨。
9.所述沉降速度测量部可以利用激光信号的强度和电流的变化量中的至少一种来测量所述墨溶液的沉降速度。
10.在所述沉降速度测量部利用激光信号的强度的情况下，所述控制单元可以基于与正常粒子的沉降速度进行比较而获得的结果，将所述墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种。
11.当将所述墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种时，所述控制单元还可以利用所述墨溶液的粘度、所述墨溶液中的凝聚粒子的浓度和所述墨溶液中的凝聚粒子的大小中的至少一种因素。
12.所述沉降速度测量部可以包括：储液器，临时存储所述墨溶液；以及激光信号产生部，将所述储液器的内部空间划分为多个区域并针对各个区域生成并输出激光信号。
13.所述沉降速度测量部可以包括：储液器，临时存储所述墨溶液；以及电流测量电路，设置于所述储液器的内部底面，并且电流流过所述电流测量电路。
14.所述电流测量电路可以基于电流的变化量来判断所述墨溶液中是否有凝聚粒子，或者判断所述墨溶液中的凝聚粒子的多少。
15.所述电流测量电路可以具有网格图案。
16.所述电流测量电路可以基于电流的减小速度来测量所述墨溶液的沉降速度。
17.所述墨分离装置还可以包括：排液箱，存储废弃的墨溶液；以及开关元件，向所述喷墨头单元和所述排液箱中的任一者引导所述墨溶液。
18.所述开关元件可以设置于y形管或t形管。
19.所述墨分离装置还可以包括使废弃的墨溶液再生的墨再生单元。
20.所述墨分离装置还可以包括存储废弃的墨溶液的排液箱，其中，所述墨再生单元设置在连接所述排液箱与墨存储罐的管道上。
21.所述墨分离装置可以设置于循环式喷墨装备。
22.用于解决上述技术问题的本发明的墨分离装置的另一方面包括：沉降速度测量部，测量向喷墨头单元供应的墨溶液的沉降速度；以及控制单元，基于所述墨溶液的沉降速度，将所述墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种，其中，所述沉降速度测量部利用激光信号的强度和电流的变化量中的至少一种来测量所述墨溶液的沉降速度，且如果所述墨溶液被判断为正常墨，则将所述墨供应到所述喷墨头单元，如果所述墨溶液被判断为不良墨，则废弃所述墨。
23.用于解决上述技术问题的本发明的基板处理系统的一个方面包括：喷墨头单元，向基板上喷出墨溶液；墨存储罐，存储所述墨溶液；以及墨分离装置，当从所述墨存储罐接收所述墨溶液时，所述墨分离装置向所述喷墨头单元供应所述墨溶液，或者废弃所述墨溶液，其中，所述墨分离装置包括：沉降速度测量部，测量向所述喷墨头单元供应的墨溶液的沉降速度；以及控制单元，基于所述墨溶液的沉降速度，将所述墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种，其中，如果所述墨溶液被判断为正常墨，则将所述墨供应到所述喷墨头单元，如果所述墨溶液被判断为不良墨，则废弃所述墨。
24.所述基板处理系统可以是用于印刷所述基板的印刷装备。
25.其它实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。
附图说明
26.图1是示意性地示出根据本发明的各种实施例的具有墨分离装置的基板处理系统的内部结构的立体图。
27.图2是示意性地示出根据本发明的各种实施例的具有墨分离装置的基板处理系统的内部结构的平面图。
28.图3是用于说明由于粒子凝聚现象而在墨存储罐或管道中生成沉积物的过程的示例图。
29.图4是用于说明喷墨头单元的不良喷出的示例图。
30.图5是示意性地示出根据本发明一实施例的墨分离装置的结构的图。
31.图6是示意性地示出根据本发明一实施例的构成墨分离装置的沉降速度测量部的内部构成的第一示例图。
32.图7是用于说明图6所示的沉降速度测量部的运转方法的示例图。
33.图8是示意性地示出根据本发明一实施例的构成墨分离装置的沉降速度测量部的内部构成的第二示例图。
34.图9是用于说明图8所示的沉降速度测量部的运转方法的示例图。
35.图10是示意性地示出根据本发明另一实施例的墨分离装置的结构的图。
36.附图标记的说明
37.100：基板处理系统
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110：基座部件
38.120：基板支承单元
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130：吊架单元
39.140：吊架移动单元
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150：喷墨头单元
40.160：喷墨头移动单元
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190：墨供应单元
41.191：墨存储罐
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310：管道
42.320：正常粒子
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330：凝聚粒子
43.350：喷嘴
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360：正常喷出
44.370：不良喷出
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400：墨分离装置
45.410：沉降速度测量部
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420：控制单元
46.430：开关元件
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440：排液箱
47.450：墨再生单元
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510：储液器
48.520：激光信号产生部
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530：电流测量电路
49.610：第一区间
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620：第二区间
50.630：第三区间
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710：颗粒
具体实施方式
51.下面，将参照附图详细描述本发明的优选的实施例。本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本发明并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本发明的公开完整，并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告知发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。
52.元件或层被称为在另一个元件或层“上(on)”或“上方(on)”不仅包括其在另一个元件或层的正上方，而且还包括其它层或其它元件介于中间的情况。相反，元件被称为“直接”在另一个元件“上”或者在另一个元件的正上方表示没有其它元件或层介于中间的情况。
53.为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。
54.虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元
件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
55.本说明书中使用的术语是为了说明实施例，并不是为了限制本发明。在本说明书中，除非在句中特别提及，单数形式也包括复数形式。说明书中使用的“包括(comprises)”和/或“包括(comprising)”不排除除了所提及的构成要素、步骤、操作和/或元件之外存在或增加一个以上的其他构成要素、步骤、操作和/或元件。
56.如果没有其它定义，则在本说明书中使用的所有术语(包括技术和科学术语)可以以本发明所属领域的普通技术人员能够共同理解的含义所使用。此外，在通常使用的词典中定义的术语，除非明确地特别定义，否则不被理想地或过度地解释。
57.以下，参照附图详细说明本发明的实施例，在参照附图说明时，与附图标记无关地，相同或对应的构成要素被赋予相同的参照标号，并省略对其的重复说明。
58.本发明适用于循环式喷墨系统，且涉及分离正常墨和不良墨的墨分离装置及具有该装置的基板处理系统。根据本发明的墨分离装置可以通过测量墨粒子的沉降速度来分离正常墨和不良墨。
59.以下，将参照附图等详细说明本发明。
60.首先，对具有墨分离装置的基板处理系统进行说明。
61.图1是示意性地示出根据本发明的各种实施例的具有墨分离装置的基板处理系统的内部结构的立体图。此外，图2是示意性地示出根据本发明的各种实施例的具有墨分离装置的基板处理系统的内部结构的平面图。
62.根据图1和图2，基板处理系统100可以包括基座部件110、基板支承单元120、吊架单元(gantry unit)130、吊架移动单元140、喷墨头单元150、喷墨头移动单元160、液滴喷出量测量单元170、喷嘴检查单元180和墨供应单元190。
63.基板处理系统100用于印刷基板。例如，这种基板处理系统可以由利用喷墨头单元(inkjet head unit)向基板上喷出墨等的印刷装备来实现。
64.基座部件110构成基板处理系统100的主体。基板支承单元120可以设置在这种基座部件110的上部。
65.基板支承单元120在对基板s进行印刷处理的期间支承基板s。这种基板支承单元120可以包括支承板121、旋转驱动部件122和直线驱动部件123。
66.支承板121用于安置基板s。旋转驱动部件122可以设置在这种支承板121的下部。
67.旋转驱动部件122用于使支承板121旋转。这种旋转驱动部件122可以利用在相对于支承板121的长度方向(第一方向10)或支承板121的宽度方向(第二方向20)的垂直方向(第三方向30)上形成的旋转中心轴来使支承板121旋转。
68.当支承板121通过旋转驱动部件122旋转时，基板s也可以随着支承板121旋转。例如，在将要涂布墨液滴(ink droplet)的基板s上形成的单元的长度方向朝向第一方向10的情况下，旋转驱动部件122可以使基板s旋转成使得单元的长度方向朝向第二方向20。
69.直线驱动部件123用于使支承板121进行直线移动。这种直线驱动部件123可以使支承板121在第二方向20上进行直线移动。直线驱动部件123可以包括引导部件124和滑动
件125。
70.引导部件124用于引导支承板121的移动路径。这种引导部件124可以在基座部件110的上部中心以第二方向20为长度方向延伸。
71.滑动件125沿着引导部件124进行直线移动。为此，滑动件125中可以内置有线性电机(未示出)。另一方面，旋转驱动部件122可以设置在滑动件125的上部。
72.吊架单元130用于支承喷墨头单元150。这种吊架单元130可以设置在基板支承单元120的上部。吊架单元130可以设置成将相对于引导部件124的长度方向的垂直方向(第一方向10)作为长度方向。
73.吊架移动单元140用于使吊架单元130在第二方向20上进行直线移动。这种吊架移动单元140可以设置在吊架单元130的内部，并且可以包括第一移动模块141和第二移动模块142。
74.第一移动模块141可以在吊架单元130内设置于一个端部。这种第一移动模块141可以沿着设置在基座部件110的上部一侧的第一导轨210滑动。
75.第二移动模块142可以在吊架单元130内设置于另一端部。这种第二移动模块142可以沿着设置在基座部件110的上部另一侧的第二导轨220滑动。
76.喷墨头单元150用于向基板s上以液滴(droplet)形式喷出墨。这种喷墨头单元150可以设置在吊架单元130的侧面，并且可以由吊架单元130支承。
77.喷墨头单元150可以通过喷墨头移动单元160在吊架单元130的长度方向(第一方向10)上进行直线移动。然而，本实施例不限于此。喷墨头单元150也可以在吊架单元130的高度方向(第三方向30)上进行直线移动。在这种情况下，喷墨头单元150可以在喷墨头移动单元160上移动。另一方面，喷墨头单元150也可以以平行于第三方向30的轴为中心相对喷墨头移动单元160旋转。
78.至少一个喷墨头单元150可以设置于吊架单元130。例如，喷墨头单元150可以包括第一头模块151、第二头模块152和第三头模块153而在吊架单元130上设置为三个。在喷墨头单元150像这样设置为多个的情况下，喷墨头单元150可以沿着吊架单元130的长度方向(第一方向10)依次布置。
79.第一头模块151、第二头模块152和第三头模块153可以分别包括喷嘴(未示出)和喷嘴板(未示出)。喷嘴用于喷出墨液滴，并且可以设置在喷嘴板上。多个喷嘴(例如，128个、256个等)可以设置在各个头模块151、152、153上。
80.喷墨头单元150可以包括与喷嘴的数量对应的压电元件。此时，可以通过控制施加到压电元件的电压来分别独立地控制各个喷嘴的墨液滴喷出量。
81.喷墨头移动单元160用于使喷墨头单元150进行直线移动。这种喷墨头移动单元160可以与喷墨头单元150的数量对应地设置在基板处理系统100内。在这种情况下，多个喷墨头单元150可以个别地移动。
82.另一方面，喷墨头移动单元160也可以在基板处理系统100内设置为一个。在这种情况下，多个喷墨头单元150可以同时移动，而不是个别地移动。
83.液滴喷出量测量单元170用于测量喷墨头单元150的液滴喷出量。这种液滴喷出量测量单元170可以在基座部件110上与基板支承单元120相邻设置。
84.液滴喷出量测量单元170可以测量从设置于喷墨头单元150的至少一个喷嘴喷出
的液滴量。在这种情况下，喷墨头单元150可以通过吊架移动单元140和喷墨头移动单元160在第一方向10和第二方向20上移动从而位于液滴喷出量测量单元170的上部。此外，喷墨头移动单元160可以使喷墨头单元150在第三方向30上移动从而调节喷墨头单元150与液滴喷出量测量单元170之间的上下方向的距离。在本实施例中，可以基于通过比较液滴喷出量测量单元170的测量值与参考值而获得的结果来宏观地确认设置于喷墨头单元150中的喷嘴是否有异常。
85.喷嘴检查单元180用于确认设置于喷墨头单元150的各个喷嘴是否有异常。例如，喷嘴检查单元180可以利用光学检查来确认喷嘴是否有异常。喷嘴检查单元180可以与液滴喷出量测量单元170一样在基座部件110上与基板支承单元120相邻设置。
86.如果液滴喷出量测量单元170宏观地确认喷嘴是否有异常的结果是判断为一些喷嘴有异常，则喷嘴检查单元180可以在确认相应喷嘴是否有异常的同时对全部喷嘴进行检查。在这种情况下，喷墨头单元150可以通过吊架移动单元140和喷墨头移动单元160在第一方向10和第二方向20上移动从而位于喷嘴检查单元180的上部。此外，喷墨头移动单元160可以使喷墨头单元150在第三方向30上移动从而调节喷墨头单元150与喷嘴检查单元180之间的上下方向的距离。
87.墨供应单元190用于向喷墨头单元150提供墨。这种墨供应单元190可以包括墨存储罐191和压力调节模块192。
88.墨存储罐191用于存储墨。这种墨存储罐191可以以结合于吊架单元130的侧面的方式设置。
89.压力调节模块192用于调节墨存储罐191的内部压力。墨存储罐191可以基于由压力调节模块192提供的压力将适量的墨供应到喷墨头单元150。
90.在基板处理系统100包括循环式喷墨系统的情况下，如图3所示，由于粒子凝聚现象，墨溶液有可能会在墨存储罐191或连接墨存储罐191和喷墨头单元150的管道310中沉积。
91.在图3中，附图标记320和330分别表示正常粒子和凝聚粒子，且附图标记340表示凝聚粒子330沉积在管道310中的状态。图3是用于说明由于粒子凝聚现象而在墨存储罐或管道中生成沉积物的过程的示例图。
92.如果像这样凝聚粒子330沉积在墨存储罐191或管道310中，则凝聚粒子330会如附图标记340所示地生长从而影响管道310内部的流量，并且墨溶液不能保持一定的流速。
93.尤其是，如图4所示，凝聚粒子330可能被吸附于喷墨头单元150的喷嘴350，从而引发墨溶液的不良喷出370而不是墨溶液的正常喷出360，并且污染喷嘴350的周围，从而缩短喷嘴350的寿命。图4是用于说明喷墨头单元的不良喷出的示例图。
94.以下，为了解决上述问题，将说明对可引发不良喷出和喷嘴寿命缩短的不良墨与正常墨进行分离的墨分离装置。墨分离装置可以通过测量墨粒子的沉降速度来分离正常墨与不良墨。
95.图5是示意性地示出根据本发明一实施例的墨分离装置的结构的图。
96.根据图5，墨分离装置400可以包括喷墨头单元150、墨存储罐(supply reservoir)191、沉降速度测量部410、控制单元420、开关元件430和排液箱(drain box)440。
97.对于喷墨头单元150和墨存储罐191，已经参照图1和图2进行了说明，因此在此省
略对其的详细说明。
98.沉降速度测量部410用于测量墨溶液的沉降速度。在本实施例中，沉降速度测量部410可以利用激光(laser)来测量墨溶液的沉降速度，或者利用电流值来测量墨溶液的沉降速度。
99.首先，对利用激光来测量墨溶液的沉降速度的方法进行说明。
100.在上述情况下，如图6所示，沉降速度测量部410可以包括储液器(reservoir)510和激光信号产生部520。图6是示意性地示出根据本发明一实施例的构成墨分离装置的沉降速度测量部的内部构成的第一示例图。参照图6进行以下说明。
101.储液器510用于临时存储墨溶液。这种储液器510可以设置在连接墨存储罐191和喷墨头单元150的管道上，或者可以设置在连接墨存储罐191和排液箱440的管道上。
102.激光信号产生部520用于针对存储于储液器510的墨溶液生成并输出激光信号。这种激光信号产生部520可以将储液器510的内部空间划分为多个区域，并且针对各个区域输出激光信号。
103.例如，激光信号产生部520可以将储液器510的内部空间划分为上部区域、中间区域和下部区域，并且向上部区域、中间区域和下部区域输出第一激光信号、第二激光信号和第三激光信号。此时，激光信号产生部520可以同时输出第一激光信号、第二激光信号和第三激光信号，但也可以以一定的时间差在彼此不同的时间输出第一激光信号、第二激光信号和第三激光信号。
104.另一方面，也可以是激光信号产生部520对于几个激光信号同时进行输出，而对于其它几个激光信号以一定的时间差在彼此不同的时间进行输出。
105.接下来，对沉降速度测量部410包括储液器510和激光信号产生部520时的沉降速度测量部410的运转方法进行说明。
106.图7是用于说明图6所示的沉降速度测量部的运转方法的示例图。参照图6和图7进行以下说明。
107.对墨溶液的沉降速度的测量是将储液器510的内部空间划分为位于上部的第一区间610、位于上部与下部之间的第二区间620、以及位于下部的第三区间630而进行的。
108.当墨溶液从墨存储罐191流入储液器510时，激光信号产生部520针对第一区间610、第二区间620和第三区间630生成并输出激光信号。
109.在本实施例中，可以计量经过第一区间610、第二区间620和第三区间630的激光信号的强度值(intensity)。例如输入100时，经过各个区间610、620、630的激光信号的强度值可能在第一区间610计量到30、第二区间620计量到50、第三区间630计量到80等，而像这样在各个区间610、620、630计量到的激光信号的强度值的差意味着粒子的沉降速度。
110.粒子的沉降速度可以根据墨溶液的粘度或粒子的浓度而变化。因此，如果设置能够以正常粒子320的沉降速度数据为基准来反馈(feedback)实时信息的装置，则可以通过从该反馈装置获得的信息进行数据库(db)化来类推墨溶液的内部粒子状态。
111.例如，当由沉降速度测量部410基于激光信号的强度值测量到墨溶液的沉降速度时，控制单元420可以比较该值与基准值(例如，正常粒子320的沉降速度数据)，从而将墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种。
112.另一方面，在本实施例中，也可以通过分析墨溶液的粘度、凝聚粒子330的浓度、凝
聚粒子330的大小等可影响墨溶液的沉降速度的因素来对墨溶液的状态划分等级。
113.此外，在本实施例中，也可以通过根据墨的种类确认在墨溶液的内部大量产生凝聚粒子330的时刻来对墨进行事先管理。
114.此外，在本实施例中，不仅可以确认向正常循环路径传输的墨的状态，而且显然也可以确认向管道进行供应的墨存储罐191内部的墨的状态。
115.接下来，对利用电流值来测量墨溶液的沉降速度的方法进行说明。
116.在上述情况下，如图8所示，沉降速度测量部410可以包括储液器510和电流测量电路530。图8是示意性地示出根据本发明一实施例的构成墨分离装置的沉降速度测量部的内部构成的第二示例图。参照图8进行以下说明。
117.对于储液器510，已经参照图6进行了说明，因此在此省略对其的详细说明。
118.电流测量电路530用于测量与墨溶液中是否有凝聚粒子330或凝聚粒子330的多少相关的电流的变化。这种电流测量电路530可以设置在储液器510的内部底面。
119.电流测量电路530可以由具有网格形态图案的电路实现。然而，本实施例不限于此。如果能够测量与墨溶液中沉积的凝聚粒子330的有无或多少相关的电流的变化量，则电流测量电路530也可以由具有不同图案的电路实现。
120.接下来，对沉降速度测量部410包括储液器510和电流测量电路530时的沉降速度测量部410的运转方法进行说明。
121.图9是用于说明图8所示的沉降速度测量部的运转方法的示例图。参照图8和图9进行以下说明。
122.如果墨的颗粒(particle)710沉积于底部，则由于粒子的电阻，电流输出(current out)值与初始电流值相比减小。在本实施例中，可以将其表示为随时间变化的函数从而计量随时间变化的粒子沉降速度。
123.如果粒子落在电流测量电路530上，则会产生电流的变化量。当计量与凝聚粒子330的多少相关的电流的变化量时，如果墨溶液的内部的凝聚粒子330较多，则粒子沉降的速度会加快，由此电流测量电路530中的电流减小的速度会加快。相反，如果墨溶液的内部的凝聚粒子330较少，则粒子沉降的速度会变慢，由此电流测量电路530中的电流减小的速度也会变慢。
124.同样地，当计量与凝聚粒子330的有无相关的电流的变化量时，如果墨溶液的内部有凝聚粒子330，则会产生粒子的沉降速度，由此在电流测量电路530中也会产生电流减小的速度。相反，如果墨溶液的内部没有凝聚粒子330，则粒子的沉降速度不会产生或者微弱，由此在电流测量电路530中不会产生电流减小的速度或电流减小的速度微弱。
125.在本实施例中，如上所述，通过沉降速度测量部410监测电流的变化量，控制单元420可以将墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种。
126.另一方面，如果将参照图6和图7说明的沉降速度测量部410定义为第一沉降速度测量部，并且将参照图8和图9说明的沉降速度测量部410定义为第二沉降速度测量部，则墨分离装置400可以包括第一沉降速度测量部和第二沉降速度测量部两者。
127.然而，本实施例不限于此。墨分离装置400也可以只包括第一沉降速度测量部和第二沉降速度测量部中的任一种沉降速度测量部。
128.再次参照图5进行说明。
129.控制单元420基于沉降速度测量部410的粒子沉降速度测量结果，将存储于储液器510的墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种。即，控制单元420可以根据通过上述两种方法测量到的沉降速度来分离正常粒子和凝聚粒子并确定内部循环。
130.控制单元420也可以执行基于墨溶液的判断结果(即，将墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种)来控制开关元件430的功能。
131.开关元件430可以由打开/关闭开关实现，并且可以起到打开或关闭管道内的通道的作用。这种开关元件430可以根据控制单元420的控制来运转，并且可以根据控制单元420的判断结果来运转。
132.开关元件430可以设置在y形管上。在墨溶液通过y形管从第一侧移动到第二侧和第三侧中任一侧的情况下，开关元件430可以分别设置在第二侧和第三侧，并控制墨溶液的流动。
133.如上所述，控制单元420可以将墨溶液判断为正常墨和不良墨中的任一种。据此，当墨溶液被判断为正常墨时，开关元件430可以打开连接沉降速度测量部410和喷墨头单元150的管道，并且关闭连接沉降速度测量部410和排液箱440的管道。在这种情况下，被判断为正常墨的墨溶液可以经过喷墨头单元150向墨存储罐191移动，从而实现循环式喷墨系统。
134.相反，当墨溶液被判断为不良墨时，开关元件430可以关闭连接沉降速度测量部410和喷墨头单元150的管道，并且打开连接沉降速度测量部410和排液箱440的管道。在这种情况下，被判断为不良墨的墨溶液可以经排液箱440废弃。
135.另一方面，开关元件430也可以设置在t形管上。
136.排液箱440用于临时存储被判断为不良墨的墨溶液。存储于排液箱440的墨溶液可以被废弃，但也可以使其再生。
137.图10是示意性地示出根据本发明另一实施例的墨分离装置的结构的图。
138.参照图10，墨分离装置400可以包括喷墨头单元150、墨存储罐191、沉降速度测量部410、控制单元420、开关元件430、排液箱440和墨再生单元450。
139.对于喷墨头单元150、墨存储罐191、沉降速度测量部410、控制单元420、开关元件430和排液箱440，已经参照图5进行了说明，因此在此省略对其的详细说明。
140.墨再生单元450用于使被判断为不良墨的墨溶液再生。这种墨再生单元450可以设置在连接排液箱440和墨存储罐191的管道上，以便在使存储于排液箱440的墨溶液再生之后使墨溶液移动到墨存储罐191。
141.在本实施例中，在墨分离装置400包括墨再生单元450的情况下，能够对具有凝聚粒子330的墨溶液进行再利用，并且可以将具有凝聚粒子330的墨溶液重新供应到墨存储罐191从而防止凝聚粒子330流入循环管道。另一方面，具有正常粒子320的墨溶液可以通过喷墨头单元150喷出或循环并再次供应到墨存储罐191。
142.以上，参照图1至图10说明了根据本发明的各种实施例的墨分离装置400和具有该装置的基板处理系统100。墨分离装置400是通过测量墨粒子的沉降速度来分离不良墨和正常墨的系统。这种墨分离装置400可以适用于循环式喷墨系统，从而维持喷墨装备的寿命并改善弹着不良。
143.墨分离装置400及基板处理系统100可以适用于喷墨装备(例如，qd cf inkjet)。
对于墨分离装置400的特征，再次整理如下。
144.第一，沉降速度测量部410可以适用于循环式喷墨系统，也可以适用于非循环式喷墨系统。
145.第二，沉降速度测量部410适用于循环式喷墨管道而与位置无关。
146.第三，虽然连接沉降速度测量部410、喷墨头单元150和排液箱440的单个y形管可以起到分离粒子的功能，但也可以使用多个y形管。
147.第四，沉降速度测量部410不仅可以用于粒子的凝聚计量，还可以用于异物去除。
148.第五，沉降速度的测量不仅可以用于粒子的凝聚计量，还可以用于设备内部的墨管理。
149.第六，以漫反射和/或透射率为基准进行利用激光的沉降速度的测量。
150.第七，虽然在测量沉降速度时分区域测量，但也可以以扫描形式一次性地进行测量。
151.以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但是本发明所属技术领域的普通技术人员应该可以理解，本发明在不改变其技术思想或必要特征的情况下，能够以其他具体形态实施。因此，应该理解，以上描述的实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。