多级罗茨真空泵的制作方法

1.本发明涉及真空泵技术领域，具体而言，涉及一种多级罗茨真空泵。


背景技术：

2.现有传统真空泵大多数的吸排气结构一般分别分布在两侧，如现有多级罗茨真空泵是一种变容积干式真空泵，由装在泵体内的一对平行轴上的多级转子构成，轴端齿轮驱动同步反向运转。爪型泵抽气过程中泵腔内不含油类等液体介质，对被抽容器以及工作环境无污染，所以在半导体、电子、化工和制药行业得到了广泛的应用。但现有真空泵没有同时近气两端排气，或者两端近气同时排气的结构。
3.这使现有结构形式的真空泵的体积较大，内部零件的数量较多，设备运转的稳定性难以保证，而且转子承受的轴向力较大，设备抽排气的稳定性不够。


技术实现要素：

4.本发明的目的包括提供一种多级罗茨真空泵，其能够减小泵的体积，降低转子的轴向力，增加设备的稳定性。
5.本发明的实施例可以这样实现：
6.本发明提供一种多级罗茨真空泵，多级罗茨真空泵包括：
7.腔体，腔体包括依次连通的进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔，一级压缩腔的数量为两个，两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式；
8.两个转子，安装在腔体内，两个转子相互啮合、且同步反向转动，转子包括进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子，进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子分别位于进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔。
9.本发明实施例提供的多级罗茨真空泵的有益效果包括：
10.将两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式，使转子的两个一级罗茨转子相对于二者的中平面也呈对称形式，能够减小设备的体积，还能够有效地降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。
11.在可选的实施方式中，进气腔与两个一级压缩腔分别通过两个第一通道连通，两个第一通道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。
12.这样，两个第一通道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，进一步使转子的两端受力均衡，增加转子运转的稳定性。
13.在可选的实施方式中，两个一级压缩腔与两个二级压缩腔分别通过两个第二通道连通，两个第二通道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。
14.这样，两个第二通道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，进一步使转子的两端受力均衡，增加转子运转的稳定性。
15.在可选的实施方式中，进气腔的数量为一个，进气腔位于两个一级压缩腔之间，两个二级压缩腔分别位于两个一级压缩腔的外侧。
16.在可选的实施方式中，二级压缩腔的数量为两个，两个二级压缩腔相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。
17.这样，两个二级压缩腔相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，进一步减小设备的体积，降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。
18.在可选的实施方式中，进气腔的中平面与两个一级压缩腔的中平面重合。
19.这样，腔体内部的腔体分布以及转子的叶瓣的分布均呈对称形式，最大程度地减小设备的体积，降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。
20.在可选的实施方式中，二级压缩腔为排气腔，腔体还包括两个排气道，两个排气道分别与两个二级压缩腔连通，两个排气道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。
21.这样，将两个排气道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，进一步减小设备的体积，降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。
22.在可选的实施方式中，进气腔的数量为两个，两个进气腔分别位于两个一级压缩腔的外侧，两个进气腔相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。
23.这样，多级罗茨真空泵为两端进气、中间出气的形式，且两个进气腔相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，能够减小设备的体积，还能够有效地降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。
24.在可选的实施方式中，腔体还包括两个进气道，两个进气道分别与两个进气腔连通，两个进气道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。
25.这样，将两个进气道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，进一步使转子的两端受力均衡，增加转子运转的稳定性。
26.在可选的实施方式中，二级压缩腔为排气腔，二级压缩腔上数量为一个，二级压缩腔的中平面与两个一级压缩腔的中平面重合。
27.这样，腔体内部的腔体分布以及转子上叶瓣的分布均呈对称形式，最大程度地减小设备的体积，降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。
附图说明
28.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
29.图1为本发明第一实施例提供的多级罗茨真空泵的外形示意图；
30.图2为图1中多级罗茨真空泵沿剖切线a-a的剖视示意图；
31.图3为图1中多级罗茨真空泵沿剖切线b-b的剖视示意图；
32.图4为本发明第二实施例提供的多级罗茨真空泵第一视角的剖视示意图；
33.图5为本发明第二实施例提供的多级罗茨真空泵第二视角的剖视示意图。
34.图标：100-多级罗茨真空泵；110-腔体；111-进气腔；112-一级压缩腔；113-二级压缩腔；114-第一通道；115-第二通道；116-进气道；117-排气道；118-进气口；119-排气口；120-转子；121-进气转子；122-一级罗茨转子；123-二级罗茨转子；130-电机。
具体实施方式
35.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
36.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
37.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
38.在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
39.此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
40.需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。
41.第一实施例
42.请参考图1和图2，本实施例提供了一种多级罗茨真空泵100，多级罗茨真空泵100为中间进气、两端排气的结构形式，多级罗茨真空泵100包括腔体110、转子120和电机130。
43.腔体110包括依次连通的进气腔111、一级压缩腔112和二级压缩腔113，一级压缩腔112的数量为两个，两个一级压缩腔112相对于二者的中平面呈对称形式，进气腔111的数量为一个，进气腔111位于两个一级压缩腔112之间，进气腔111的中平面与两个一级压缩腔112的中平面重合，进气腔111的侧壁上开设有进气口118(请参阅图3)。
44.两个二级压缩腔113分别位于两个一级压缩腔112的外侧。二级压缩腔113的数量为两个，两个二级压缩腔113相对于两个一级压缩腔112的中平面呈对称形式。
45.两个转子120安装在腔体110内，两个转子120相互啮合、且同步反向转动，转子120包括进气转子121、一级罗茨转子122和二级罗茨转子123，进气转子121、一级罗茨转子122和二级罗茨转子123分别位于进气腔111、一级压缩腔112和二级压缩腔113。
46.电机130安装在腔体110的外部，电机130与其中一个转子120传动连接，一个转子120可以通过齿轮与另一个转子120传动连接，实现两个转子120同步反向转动。
47.请参阅图3，进气腔111与两个一级压缩腔112分别通过两个第一通道114连通，两个第一通道114相对于两个一级压缩腔112的中平面呈对称形式。
48.两个一级压缩腔112与两个二级压缩腔113分别通过两个第二通道115连通，两个第二通道115相对于两个一级压缩腔112的中平面呈对称形式。
49.二级压缩腔113为排气腔，腔体110还包括两个排气道117，两个排气道117分别与两个二级压缩腔113连通，两个排气道117相对于两个一级压缩腔112的中平面呈对称形式。
50.本实施例提供的多级罗茨真空泵100的工作原理：
51.电机130带动一个转子120转动，一个转子120通过齿轮带动另一个转子120转动，两个转子120以相反方向运转，被抽气体从进气口118进入进气腔111中，通过两个第一通道114分别进入两个一级压缩腔112，进入一级压缩腔112的气体通过转子120运转，通过两个第二通道115分别进入两个二级压缩腔113中，最终通过两个排气道117将被抽气体排出泵外。
52.本发明实施例提供的多级罗茨真空泵100的有益效果包括：
53.将腔体110内空腔按照对称形式布置，使转子120上的叶瓣也呈对称形式，能够减小设备的体积，减少零件的数量，还能够有效地降低转子120承受的轴向力，提高设备的稳定性。
54.第二实施例
55.请参阅图4，本实施例提供了一种多级罗茨真空泵100，多级罗茨真空泵100为中间排气、两端进气的结构形式，多级罗茨真空泵100包括腔体110、转子120和电机130。
56.腔体110包括依次连通的进气腔111、一级压缩腔112和二级压缩腔113，进气腔111的数量为两个，两个进气腔111分别位于两个一级压缩腔112的外侧，两个进气腔111相对于两个一级压缩腔112的中平面呈对称形式。两个进气道116分别与两个进气腔111连通，两个进气道116相对于两个一级压缩腔112的中平面呈对称形式。二级压缩腔113为排气腔，二级压缩腔113的侧壁上开设有排气口119，二级压缩腔113上数量为一个，二级压缩腔113的中平面与两个一级压缩腔112的中平面重合。
57.请参阅图5，两个进气腔111与两个一级压缩腔112分别通过两个第一通道114连通，两个第一通道114相对于两个一级压缩腔112的中平面呈对称形式。两个一级压缩腔112与两个二级压缩腔113分别通过两个第二通道115连通，两个第二通道115相对于两个一级压缩腔112的中平面呈对称形式。
58.本实施例提供的多级罗茨真空泵100的工作原理：
59.电机130带动一个转子120转动，一个转子120通过齿轮带动另一个转子120转动，两个转子120以相反方向运转，被抽气体从两个进气道116进入两个进气腔111中，通过两个第一通道114分别进入两个一级压缩腔112，进入两个一级压缩腔112的气体通过内部转子120运转，通过两个第二通道115进入两个二级压缩腔113中，最终通过排气口119将被抽气体排出泵外。
60.本发明实施例提供的多级罗茨真空泵100的有益效果包括：
61.将腔体110内空腔按照对称形式布置，使转子120上的叶瓣也呈对称形式，能够减小设备的体积，减少零件的数量，还能够有效地降低转子120承受的轴向力，提高设备的稳定性。
62.容易理解的是，以上实施例提供的腔体110的级数也可以增加到四级、五级等，根据需求可以增加更多，转子120为多级罗茨转子120，转子120的型线可以任意型线，转子120的叶数可以为任意叶数。
63.以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。