一种排水箱及减薄机的制作方法

1.本发明涉及减薄机技术领域，尤其涉及一种排水箱及减薄机。


背景技术：

2.减薄机是对晶圆进行减薄加工的常用设备，在减薄机上安装有用于排出冷却液的排水箱。排水箱一般倾斜安装于减薄机的壳体上，且倾斜角度约为1
°
左右，以使冷却液在自身重力作用下从排水箱中快速排出。
3.目前，排水箱的底板上开设有装配孔，减薄机的转台穿设于装配孔内并在装配孔内自转，以带动承片台转动。由于排水箱的倾斜角度与加工精度的影响，转台与装配孔之间的间隙分布不均匀，容易导致转台在转动过程中与装配孔的内缘发生干涉，增加了减薄机的故障率，影响了减薄机的正常使用。
4.因此，亟需一种排水箱及减薄机来解决上述问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种排水箱及减薄机，在不影响排水箱倾斜放置的前提下实现调平工位附近的底板调平，保证装配孔与转台之间的间隙均匀分布，避免转台与装配孔发生干涉。
6.为达此目的，本发明所采用的技术方案是：一种排水箱，所述排水箱的底板开设有装配孔，减薄机的转台可转动地穿设于所述装配孔内，所述排水箱相对于所述转台倾斜设置，所述排水箱包括：调平凸台，所述排水箱的底板沿所述装配孔的周向间隔设置有多个调平工位；所述调平工位内凹形成底部开口的所述调平凸台，所述调平凸台的侧壁与所述底板相连；连接件，设置于所述调平凸台的开口端并与所述底板相连；拉杆，其一端与所述调平凸台的顶壁固定连接，另一端与所述连接件活动连接；以及调节件，被配置为能够使所述连接件沿所述拉杆的轴向移动，并带动所述调平工位附近的所述底板变形，从而调节所述装配孔与所述转台之间的间隙大小。
7.作为优选方案，所述调平凸台包括：支撑框，其顶端和底端均开口设置，所述支撑框的底端与所述底板相连，顶端伸入所述排水箱内；以及顶盖，封堵设置于所述支撑框的顶端，以形成所述调平凸台；所述拉杆的一端与所述顶盖固定连接。
8.作为优选方案，所述调平凸台还包括：弹性垫，夹设于所述顶盖与所述支撑框的顶端。
9.作为优选方案，所述顶盖包括：盖板，所述拉杆的一端与所述盖板固定连接；以及
侧板，所述盖板的每个侧边均向下延伸有所述侧板，所述盖板封堵设置于所述支撑框的顶端，所述侧板焊接于所述支撑框上对应的侧壁。
10.作为优选方案，所述支撑框为圆形框或矩形框。
11.作为优选方案，所述拉杆为螺栓，所述调节件为螺母，所述连接件上开设有通孔，所述拉杆穿过所述通孔后与所述调节件螺纹连接。
12.作为优选方案，所述连接件为槽钢，所述连接件的两端分别与所述底板焊接连接。
13.作为优选方案，所述底板沿所述装配孔的周向间隔设置有四个所述调平工位。
14.作为优选方案，所述装配孔沿所述排水箱的倾斜方向在所述底板上具有最高点和最低点，所述最高点与所述最低点均相邻设置有所述调平工位。
15.一种减薄机，包括转台和上述的排水箱，所述排水箱相对于所述转台倾斜设置，所述转台可转动地穿设于所述排水箱的所述装配孔内。
16.本发明的有益效果为：本发明提出的一种排水箱，根据装配孔与转台之间沿装配孔的周向分布的间隙大小选择性地调整其中一个或多个调平工位上的调节件。在调平工位上，通过调节件使连接件沿拉杆的轴向移动，并带动调平工位附近的底板变形，以调平装配孔，使得装配孔与转台之间的间隙沿装配孔的周向均匀一致，避免转台在转动过程中与装配孔发生干涉，保证了转台的稳定运行。由于调平工位附件的底板的微小变形不会影响排水箱的整体倾斜状态与顺畅排水功能。
17.本发明提出的一种减薄机通过采用上述的排水箱，根据装配孔与转台之间沿装配孔的周向分布的间隙大小选择性地调整其中一个或多个调平工位上的调节件。在调平工位上，通过调节件使连接件沿拉杆的轴向移动，并带动调平工位附近的底板变形，以调平装配孔，使得装配孔与转台之间的间隙沿装配孔的周向均匀一致，避免转台在转动过程中与装配孔发生干涉，保证了转台的稳定运行。由于调平工位附件的底板的微小变形不会影响排水箱的整体倾斜状态与顺畅排水功能。
附图说明
18.图1是本发明实施例提供的排水箱的结构示意图；图2是本发明实施例提供的排水箱的仰视图；图3是本发明实施例提供的排水箱的部分纵截面视图。
19.图中部件名称和标号如下：100、排水箱；1、底板；10、调平工位；11、装配孔；2、调平凸台；21、支撑框；22、顶盖；221、盖板；222、侧板；3、连接件；4、拉杆；5、调节件；6、弹性垫。
具体实施方式
20.为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。
21.在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
22.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
23.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
24.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
25.如图1和图2所示，本实施例公开一种减薄机，用于对晶圆进行减薄加工。减薄机包括转台（图中未示出）和排水箱100，排水箱100的底板1开设有装配孔11，转台可转动地穿设于装配孔11内并带动承片台转动。排水箱100相对于转台倾斜设置，以方便冷却液快速从排水箱100内排出。
26.需要说明的是，排水箱100的倾斜角度为1
°
左右，且装配孔11的尺寸较大。由于排水箱100经过钣金加工成型，加工精度较低且排水箱100的倾斜状态，使得转台与装配孔11之间的间隙沿装配孔11的周向分布不均匀，可能存在转台与装配孔11的间隙过小的情况，导致转台转动时与装配孔11发生干涉，影响减薄机的稳定运行。
27.为了解决上述问题，如图2和图3所示，排水箱100包括调平凸台2、连接件3、拉杆4和调节件5。排水箱100的底板1沿装配孔11的周向间隔设置有多个调平工位10，调平工位10内凹形成底部开口的调平凸台2，调平凸台2的侧壁与底板1相连。连接件3设置于调平凸台2的开口端并与底板1相连。拉杆4一端与调平凸台2的顶壁固定连接，另一端与连接件3活动连接。调节件5能够使连接件3沿拉杆4的轴向移动，并带动调平工位10附近的底板1变形，从而调节装配孔11与转台的间隙大小。
28.在排水箱100的装配孔11进行间隙调节时，根据装配孔11与转台之间沿装配孔11的周向分布的间隙大小选择性地调整其中一个或多个调平工位10上的调节件5。即只调节装配孔11与转台之间间隙过小的位置处最近的调平工位10。在调平工位10上，通过调节件5使连接件3沿拉杆4的轴向移动，并带动调平工位10附近的底板1变形，以调平装配孔11，使得装配孔11与转台之间的间隙沿装配孔11的周向均匀一致，避免转台在转动过程中与装配孔11发生干涉，保证了转台的稳定运行。
29.需要说明的是，由于调平工位10附件的底板1只发生微小变形，不会影响排水箱100的整体倾斜状态和顺畅排水功能。
30.如图3所示，调平凸台2包括支撑框21和顶盖22，支撑框21的顶端和底端均开口设
置，支撑框21的底端与底板1相连，顶端伸入排水箱100内。顶盖22封堵设置于支撑框21的顶端，以形成调平凸台2。拉杆4的一端与顶盖22固定连接。将调平凸台2设置为分体式结构，形成支撑框21和顶盖22两部分，降低了调平凸台2的加工难度。
31.具体地，支撑框21为圆形框或矩形框，可以根据调平工位10的位置和排水箱100的内部布置工况选择不同类型和尺寸的支撑框21，避免支撑框21与排水箱100的内部结构发生干涉，实现了支撑框21的灵活选用和安装。
32.本实施例的顶盖22包括盖板221和侧板222，拉杆4的一端与盖板221固定连接。盖板221的每个侧边均向下延伸有侧板222，盖板221封堵设置于支撑框21的顶端，侧板222焊接于支撑框21上对应的侧壁。通过焊接方式不仅提高了盖板221与支撑框21的连接强度，而且使得调平凸台2具有良好的密封。
33.需要说明的是，当拉杆4通过连接件3拉紧调平工位10附件的底板1时，支撑框21的顶端会发生轻微变形，并使其顶端的开口处形成扩口结构。为了避免顶盖22与支撑框21的顶端发生刚性接触，调平凸台2还包括弹性垫6，弹性垫6夹设于顶盖22与支撑框21的顶端。本实施例的弹性垫6为橡胶垫，具有较好的弹塑性。当拉杆4拉紧连接件3时，支撑框21变形且其顶端与盖板221之间的间隙变小，通过挤压弹性垫6能够避免支撑框21与盖板221之间接触，从而避免支撑框21与盖板221之间发生开焊等情况，提高了调平凸台2结构的稳定性。
34.本实施例的拉杆4为螺栓，调节件5为螺母，连接件3上开设有通孔，拉杆4穿过通孔后与调节件5螺纹连接。拉杆4与调节件5均为标准件，无需额外进行设计加工，廉价易得，有利于降低成本。同时，可以通过人工或借助扳手等工具旋拧调节件5，从而使拉杆4拉紧连接件3，使得调平工位10的调平操作简便，提高了调平效率。
35.进一步地，本实施例的连接件3为槽钢，无需额外进行设计加工，廉价易得，有利于降低成本。连接件3的两端分别与底板1焊接连接，增强了连接件3与底板1的连接强度，提高了连接件3向底板1传递的拉紧力的极限值，增强了调平工位10附件的底板1的变形量，改善了调平效果。
36.如图2所示，底板1沿装配孔11的周向间隔设置有四个调平工位10。由于四个调平工位10分布于装配孔11的四周，能够调平装配孔11的内缘所在的区域，从而使装配孔11与转台之间的间隙分布均匀，保证转台稳定地运行，避免发生干涉。
37.需要说明的是，调平工位10的数量还可以为两个、三个或五个以上。例如，当调平工位10的数量为两个时，装配孔11沿排水箱100的倾斜方向在底板1上具有最高点和最低点，最高点与最低点均相邻设置有调平工位10。可以理解的是，装配孔11在最高点与最低点的位置与转台的间隙最小，最有可能与转台发生干涉。通过在最高点和最低点的附近设置调平工位10，能够实现快速调平，提高了调平效率。
38.本实施例的减薄机通过采用上述的排水箱100，根据装配孔11与转台之间沿装配孔11的周向分布的间隙大小选择性地调整其中一个或多个调平工位10上的调节件5。在调平工位10上，通过调节件5使连接件3沿拉杆4的轴向移动，并带动调平工位10附近的底板1变形，以调平装配孔11，使得装配孔11与转台之间的间隙沿装配孔11的周向均匀一致，避免转台在转动过程中与装配孔11发生干涉，保证了转台的稳定运行。
39.以上实施方式只是阐述了本发明的基本原理和特性，本发明不受上述实施方式限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都
落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。