玻璃膜的制造方法与流程

玻璃膜的制造方法
1.本技术是申请号为201880028039.0、申请日为2018年7月9日、发明名称为“玻璃膜的制造方法”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
2.本发明涉及制造能够卷绕为辊状的玻璃膜的方法。


背景技术：

3.众所周知，目前正在推进液晶显示器、有机el显示器等平板显示器(fpd)用的平板玻璃、有机el照明用的平板玻璃、作为触摸面板的构成要素的强化玻璃等制造用的平板玻璃以及太阳能电池面板等使用的平板玻璃的薄型化。
4.例如专利文献1中公开了一种厚度为几百μm以下的玻璃膜(薄板玻璃)。这样的玻璃膜如该文献所记载的那样，通常也通过采用所谓的溢流下拉法的成形装置进行连续成形。
5.通过溢流下拉法连续成形的长条状玻璃膜在例如使其搬运方向从铅垂方向转换为水平方向之后，通过搬运装置的横向搬运部(水平搬运部)继续向下游侧搬运。在该搬运中途，玻璃膜的宽度方向两端部被切断去除。然后，玻璃膜通过卷绕辊卷绕为辊状而构成玻璃辊。
6.作为将玻璃膜的宽度方向两端部切断的技术，在专利文献1中公开了激光切割。在激光切割中，在通过金刚石刀具等裂纹形成机构在玻璃膜上形成初始裂纹后，向该部分照射激光而加热。然后，通过冷却机构对所加热的部分进行冷却，利用玻璃膜上产生的热应力使初始裂纹扩展而将玻璃膜切断。
7.作为其他切断方法，专利文献2中公开了利用所谓剥落现象的玻璃膜的切断技术。在该技术中，一边搬运玻璃膜(玻璃基板)一边向该玻璃膜照射激光而使其局部熔断，通过使该熔断部分远离激光的照射区域来进行冷却。
8.在该情况下，因熔断部分被冷却而产生近似线状的剥离物(析出物)(例如参照专利文献2的段落0044及图3)。通常将该线状剥离物从玻璃膜的端部剥落的现象称为剥落(peeling)。通过产生线状剥离物而在玻璃膜上形成均匀的切断面。
9.在先技术文献
10.专利文献
11.专利文献1：日本特开2012-240883号公报
12.专利文献2：国际公开第2014/002685号公报


技术实现要素：

13.发明要解决的课题
14.玻璃膜具有可挠性，因此在利用横向搬运部沿横向搬运的中途，该玻璃膜会产生褶皱。若产生褶皱，则会在该褶皱及其附近产生弯曲应力。因此，若以保持产生有褶皱的状
态向玻璃膜照射激光，则对熔断部分施加由褶皱引起的意料外的弯曲应力。因此可能导致难以高精度进行玻璃膜切断的问题。
15.本发明是鉴于上述情况提出的，技术课题在于在利用剥落切断玻璃膜的情况下，适宜地去除玻璃膜可能产生的褶皱，并高精度地切断玻璃膜。
16.用于解决课题的方案
17.本发明为用于解决上述课题的方案，其特征在于，包括：搬运工序，在该搬运工序中，将长条状的玻璃膜沿其长度方向从上游向下游搬运；以及切断工序，在该切断工序中，一边通过所述搬运工序搬运所述玻璃膜，一边从激光照射装置向所述玻璃膜照射激光，从而使所述玻璃膜分离，所述搬运工序包括褶皱去除工序，在该褶皱去除工序中，利用配置在比所述激光照射装置靠上游侧的褶皱去除部去除所述玻璃膜的褶皱，所述切断工序为，在所述搬运工序中将所述玻璃膜的所述褶皱去除后，通过向所述玻璃膜照射所述激光而使所述玻璃膜分离，从所分离的所述玻璃膜的宽度方向端部产生线状剥离物。
18.根据以上结构，通过在搬运工序中利用褶皱去除部将玻璃膜的褶皱去除后，在切断工序中进行基于剥落的玻璃膜切断(熔断)，从而能够从玻璃膜的宽度方向端部产生均匀的线状剥离物。由此，能够使玻璃膜的宽度方向端部形成为均匀的截面，从而能够高精度地切断玻璃膜。
19.在上述的玻璃膜的制造方法中，优选所述褶皱去除部具备棒状构件，该棒状构件沿着所述玻璃膜的下表面侧且沿着所述玻璃膜的宽度方向而配置。按照这种方式，在搬运工序的褶皱去除工序中，玻璃膜经过该棒状构件，从而能够适宜地消除玻璃膜的褶皱。
20.另外，所述褶皱去除部可以具备板状构件，该板状构件配置在所述棒状构件与所述激光照射装置之间，且配置在所述玻璃膜的下表面侧。在褶皱去除工序中，通过使玻璃膜经过棒状构件及板状构件，从而能够更适宜地消除玻璃膜的褶皱。
21.在该情况下，优选所述板状构件的上表面位于比所述棒状构件的上端部靠下方的位置。由此，能够利用棒状构件和板状构件分段消除玻璃膜的褶皱。
22.另外，优选所述板状构件的宽度设定为小于所述棒状构件的长度。
23.在上述的玻璃膜的制造方法中，优选所述激光照射装置配置在所述玻璃膜的上方，并在所述玻璃膜的宽度方向上隔开规定的间隔距离配置两台，所述板状构件的宽度设定为大于所述激光照射装置的所述间隔距离。需要说明的是，板状构件的宽度是指与所搬运的玻璃膜长度方向正交的宽度方向上的板状构件的尺寸。
24.通过如上所述将板状构件的宽度设定为大于两台激光照射装置的间隔距离，从而能够在玻璃膜到达照射激光的位置之前，可靠地消除其褶皱。
25.在该情况下，优选所述板状构件的宽度为所述激光照射装置的所述间隔距离的1.02倍以上且为所述棒状构件的长度的0.95倍以下。
26.优选的是，在所述搬运工序中，通过使与所述玻璃膜的下表面接触的搬运用片材在平台上移动而搬运所述玻璃膜，所述褶皱去除部设置在比由所述激光照射装置照射所述激光的照射位置靠上游侧的位置，且为了使所述搬运用片材自所述平台的上表面向上方分离而设置在所述平台的所述上表面，在所述激光的所述照射位置的上游侧，所述搬运用片材处于与所述平台的所述上表面接触的状态。
27.根据以上结构，通过褶皱去除部将褶皱去除后的玻璃膜在激光的照射位置由平台
的上表面稳定支承。由此，能够在激光的照射位置将玻璃膜高精度地切断。
28.发明效果
29.根据本发明，能够在利用剥落切断玻璃膜的情况下，适宜地去除玻璃膜可能产生的褶皱并高精度地切断玻璃膜。
附图说明
30.图1是表示第一实施方式的玻璃膜的制造装置的侧视图。
31.图2是玻璃膜的制造装置的俯视图。
32.图3是玻璃膜的制造装置的主要部分放大侧视图。
33.图4是图2的iv-iv线剖视图。
34.图5是图2的v-v线剖视图。
35.图6a是用于说明切断工序的玻璃膜的剖视图。
36.图6b是用于说明切断工序的玻璃膜的剖视图。
37.图6c是用于说明切断工序的玻璃膜的剖视图。
38.图7是表示第二实施方式的玻璃膜的制造装置的侧视图。
39.图8是玻璃膜的制造装置的俯视图。
40.图9是玻璃膜的制造装置的主要部分放大侧视图。
41.图10是图8的x-x线剖视图。
42.图11是表示第三实施方式的玻璃膜的制造装置的侧视图。
43.图12是玻璃膜的制造装置的俯视图。
44.图13是表示第四实施方式的玻璃膜的制造装置的侧视图。
45.图14是玻璃膜的制造装置的俯视图。
46.附图标记说明：
47.18 平台
48.18a 平台的上表面
49.19 搬运用片材
50.20 褶皱去除部
51.20a 棒状构件
52.20b 板状构件
53.20c 板状构件的上表面
54.20d 棒状构件的上端部
55.25 激光照射装置
56.dl 激光照射装置的间隔距离
57.g 玻璃膜
58.ge 玻璃膜的褶皱
59.gg 线状剥离物
60.l 激光
61.o 激光的照射位置
62.w 玻璃膜的宽度方向
63.wp 板状构件的宽度
64.lr 棒状构件的长度。
具体实施方式
65.以下参照附图说明用于实施本发明的方式。图1至图6示出本发明的用于实施玻璃膜的制造方法的制造装置的第一实施方式。
66.图1是示意性地示出玻璃膜的制造装置的整体结构的概要侧视图。如图1所示，制造装置1具备：成形部2，其成形玻璃膜g；方向转换部3，其将玻璃膜g的行进方向从纵向朝下转换为横向；横向搬运部4，其在方向转换后将玻璃膜g沿横向搬运；切断部5，其在利用横向搬运部4沿横向搬运的同时将玻璃膜g的宽度方向端部ga、gb切断为非产品部gc；以及卷绕部6，其将通过该切断部5切断去除非产品部gc而得到的产品部gd卷绕为辊状而构成玻璃辊r。
67.需要说明的是，在以下的说明中，“上游”(侧)是指靠近成形部2或玻璃辊原材料ra的位置，“下游”(侧)是指靠近卷绕部6的位置。另外，本实施方式中的产品部gd的厚度为300μm以下，优选为10μm以上且200μm以下，更加优选为50μm以上且100μm以下，但不限定于此。
68.成形部2具备：剖视观察时呈大致楔形的成形体7，其在上端部形成有溢流槽7a；边缘辊8，其配置在成形体7的正下方，且从表背两侧夹持从成形体7溢出的熔融玻璃；以及退火炉9，其配置在边缘辊8的正下方。
69.成形部2使从成形体7的溢流槽7a的上方溢流的熔融玻璃分别沿两侧面流下，在下端合流而成形膜状的熔融玻璃。边缘辊8限制熔融玻璃的宽度方向收缩，制成规定宽度的玻璃膜g。退火炉9用于对玻璃膜g实施应变消除处理。该退火炉9具有在上下方向上配置为多段的退火辊10。
70.在退火炉9的下方配置有从表背两侧挟持玻璃膜g的支承辊11。在支承辊11与边缘辊8之间或支承辊11与任一处的退火辊10之间施加有助于玻璃膜g薄型化的张力。
71.方向转换部3设置在支承辊11的下方位置。在方向转换部3以弯曲状排列有引导玻璃膜g的多个引导辊12。这些引导辊12将沿铅垂方向搬运的玻璃膜g向横向引导。
72.横向搬运部4配置在方向转换部3的行进方向前方(下游侧)。该横向搬运部4从上游侧起依次具有第一搬运装置13、第二搬运装置14及第三搬运装置15。
73.第一搬运装置13具有环形带状的传送带16和该传送带16的驱动装置17。第一搬运装置13使传送带16的上表面与玻璃膜g接触，从而将经过方向转换部3后的玻璃膜g连续地向下游侧搬运。驱动装置17具有用于驱动传送带16的辊、链轮等驱动体17a和使该驱动体17a旋转的马达(未图示)。
74.第二搬运装置14具有支承玻璃膜g的平台18和用于搬运玻璃膜g的片材19。
75.平台18具有用于去除搬运中在玻璃膜g上产生的褶皱ge的褶皱去除部20。在本实施方式中，褶皱去除部20包括棒状构件20a。棒状构件20a由具有圆筒面的构件构成，但不限定于该形状。棒状构件20a为了去除玻璃膜g的褶皱ge，只要具有向上方凸出的曲面即可，也可以构成为剖视观察时呈半圆形或椭圆形。
76.如图3所示，棒状构件20a固定在平台18的上表面18a，但不限定于该方式。棒状构件20a也可以在自平台18的上表面18a向上方分离的位置以能够旋转的方式构成。在该情况
下，棒状构件20a可以空转，也可以通过驱动机构旋转驱动。棒状构件20a的直径d设定为2mm以上且100mm以下，但不限定于该范围，能够根据玻璃膜g或产品部gd的尺寸等适当设定。另外，在棒状构件20a为圆筒形以外的情况下(例如三棱柱状或半圆柱状)，优选棒状构件20a的高度为10mm以上且100mm以下，并优选隔着搬运用片材19与玻璃接触的部分的曲率半径为r1mm以上、r100mm以下。
77.棒状构件20a沿着玻璃膜g的宽度方向w配置。即，棒状构件20a以与玻璃膜g的长度方向正交的方式配置在平台18的上表面18a。
78.如图2及图4所示，棒状构件20a的长度lr设定为比玻璃膜g的宽度wg短。
79.在玻璃膜g的宽度方向端部ga、gb形成有厚度大于中央部的部分(以下称为“耳部”)gf。棒状构件20a的长度lr设定为，在将棒状构件20a配置在玻璃膜g的下表面侧的情况下，棒状构件20a与该耳部gf不重合。即，棒状构件20a的长度lr优选设定为比玻璃膜g中不包含耳部gf的宽度方向中央侧部分的宽度wc短。由此，支承玻璃膜g的棒状构件20a不支承玻璃膜g的耳部gf，而支承比玻璃膜g的耳部gf靠宽度方向中央侧的部分。优选棒状构件20a的长度lr为激光照射装置25的间隔距离dl的1.1倍以上，且为玻璃膜g的中央侧的部分的宽度wc的0.98倍以下。
80.搬运用片材19例如由发泡树脂片材构成，但不限定于该材料。搬运用片材19被从配置在平台18下方的片材辊21拉出，在平台18上方从上游侧向下游侧移动(参照图1)。搬运用片材19在平台18上方与玻璃膜g的下表面接触，通过其移动将该玻璃膜g向下游侧搬运。搬运用片材19在经过平台18的上表面18a后，在平台18的下方位置被未图示的卷绕装置回收。
81.搬运用片材19的宽度ws设定为大于棒状构件20a的长度lr。另外，搬运用片材19的宽度ws设定为小于玻璃膜g的宽度wg。更详细来说，优选搬运用片材19的宽度ws设定为比玻璃膜g中不包含耳部gf的宽度方向中央侧部分的宽度wc小(参照图4)。
82.搬运用片材19的厚度ts设定为0.05mm以上且2mm以下，但不限定于该范围，能够按照避免玻璃膜g的耳部gf与平台18的上表面18a接触的方式适当设定。
83.第三搬运装置15具有支承玻璃膜g的平台22和用于搬运玻璃膜g的片材23。第三搬运装置15通过使从在平台22的上游侧下方配置的片材辊24拉出的搬运用片材23在平台22上方向下游侧移动，从而将由切断部5切断的玻璃膜g的非产品部gc及产品部gd向下游侧搬运。
84.如图1及图2所示，切断部5配置在横向搬运部4中的第二搬运装置14与第三搬运装置15之间。切断部5具备激光照射装置25、支承玻璃膜的平台26和回收线状剥离物gg的回收装置27，其中，该线状剥离物gg通过向玻璃膜g照射激光照射装置25的激光l而产生。
85.激光照射装置25配置在平台26的上方，且比褶皱去除部20靠下游侧的位置。激光照射装置25按照向下方照射例如co2激光、yag激光等激光l的方式构成。在本实施方式中配置有两台激光照射装置25，以切断玻璃膜g的宽度方向两端部ga、gb(参照图2)。
86.激光l相对于玻璃膜g向规定位置(照射位置)o照射。该照射位置o与褶皱去除部20的棒状构件20a间的间隔距离d1为200mm以上且2000mm以下，但不限定于该范围，能够根据玻璃膜g的尺寸及棒状构件20a的尺寸适当设定。
87.平台26具有上下方向贯通的开口部26a。激光照射装置25中的激光l的照射位置o
设定在该开口部26a的范围内。
88.如图2及图3所示，回收装置27配置在平台26的下方。回收装置27由带式输送机27a构成。在本实施方式中，对应于玻璃膜g的各端部ga、gb而配置两台带式输送机27a。各带式输送机27a沿着与玻璃膜g的搬运方向(长度方向)正交的方向(宽度方向)、即从玻璃膜g的宽度方向上的内侧朝向外侧搬运线状剥离物gg。
89.卷绕部6设置在第三搬运装置15的下游侧。卷绕部6具有卷绕辊28、对该卷绕辊28进行旋转驱动的马达(未图示)和向卷绕辊28供给保护片材29a的保护片材供给部29。卷绕部6使从保护片材供给部29送出的保护片材29a与产品部gd重合，同时利用马达使卷绕辊28旋转，从而将产品部gd卷绕为辊状。卷绕后的产品部gd构成为玻璃辊r。
90.以下对利用上述结构的制造装置1制造玻璃辊r的方法进行说明。玻璃辊r的制造方法包括：成形工序，在该成形工序中，通过成形部2成形带状的玻璃膜g；搬运工序，在该搬运工序中，通过方向转换部3及横向搬运部4搬运玻璃膜g；切断工序，在该切断工序中，通过切断部5切断玻璃膜g的宽度方向端部ga、gb；以及卷绕工序，在该卷绕工序中，在切断工序后通过卷绕部6卷绕产品部gd。
91.在成形工序中，使从成形部2中的成形体7的溢流槽7a的上方溢流的熔融玻璃分别沿着两侧面流下，在下端合流后形成为膜状的熔融玻璃。此时，利用边缘辊8限制熔融玻璃的宽度方向收缩，制成规定宽度的玻璃膜g。然后，通过退火炉9对玻璃膜g实施应变消除处理(缓冷工序)。在支承辊11的张力的作用下，玻璃膜g形成为规定的厚度。
92.在搬运工序中，通过方向转换部3将玻璃膜g的搬运方向转换为横向，并且通过各搬运装置13～15将玻璃膜g向下游侧的卷绕部6搬运。
93.在玻璃膜g上，在使用横向搬运部4的搬运中不规则地产生大量褶皱ge。这些褶皱ge通过使玻璃膜g经过第二搬运装置14的褶皱去除部20而消失(褶皱去除工序)。即，玻璃膜g在经过褶皱去除部20的棒状构件20a时，被位于其下表面侧的棒状构件20a与搬运用片材19一起推向比平台18的上表面18a靠上方的位置。此时，玻璃膜g的褶皱ge通过玻璃膜g被棒状构件20a拉伸而消失。
94.搬运用片材19在经过棒状构件20a时被该棒状构件20a顶起。由此，对于搬运用片材19，比棒状构件20a靠上游侧的一部分和比棒状构件20a靠下游侧的一部分与平台18的上表面18a分离。如图3所示，对于搬运用片材19与平台18的上表面18a在上下方向上的间隔距离，随着搬运用片材19从棒状构件20a向下游移动而减小。搬运用片材19在比激光照射装置25中的激光l的照射位置o靠上游侧的位置与平台18的上表面18a接触。
95.玻璃膜g通过搬运用片材19与平台18的上表面18a接触而隔着该搬运用片材19支承在平台18上。搬运用片材19一边维持与平台18的上表面18a的接触，一边使玻璃膜g向激光l的照射位置o移动。
96.在切断工序中，从切断部5的激光照射装置25向由第二搬运装置14搬运的玻璃膜g照射激光l，将玻璃膜g的宽度方向两端部ga、gb切断。由此，玻璃膜g分离为非产品部gc和产品部gd。
97.具体来说，在向玻璃膜g照射激光l时(参照图6a)，玻璃膜g的局部通过激光l的加热而熔断(参照图6b)。由于玻璃膜g被第二搬运装置14搬运，因此，被熔断的部分远离激光l。
98.由此，玻璃膜g的熔断部分被冷却。熔断部分由于被冷却而产生热应变，由该热应变引起的应力以拉伸力的方式作用于未熔断的部分。在该作用下，线状剥离物gg从非产品部gc的宽度方向端部及产品部gd的宽度方向端部分离。所分离的线状剥离物gg在其自重的作用下向下方移动(参照图6c)。线状剥离物gg从非产品部gc或产品部gd分离后，变形为螺旋状。在切断工序中，利用回收装置27回收从非产品部gc和产品部gd产生的线状剥离物gg(回收工序)。
99.需要说明的是，非产品部gc由第三搬运装置15向下游侧搬运，在卷绕部6的上游侧被未图示的其他回收装置回收。
100.在卷绕工序中，从保护片材供给部29向产品部gd供给保护片材29a，并利用卷绕部6的卷绕辊28将由第三搬运装置15搬运的产品部gd卷绕为辊状。通过利用卷绕辊28卷绕规定长度的产品部gd，从而制成玻璃辊r。
101.根据以上说明的本实施方式的玻璃膜g的制造方法，在切断工序中，通过在利用褶皱去除部20(棒状构件20a)将玻璃膜g的褶皱ge去除后进行玻璃膜g的熔断，从而能够高精度地从玻璃膜g切取产品部gd。在由激光照射装置25照射激光l的照射位置o处，玻璃膜g隔着搬运用片材19被稳定地支承在平台18的上表面18a。由此，能够从产品部gd产生均匀的线状剥离物gg，使产品部gd的切断面均匀，制造高品质玻璃膜g(玻璃辊r)。
102.图7至图10示出玻璃膜的制造装置及制造方法的第二实施方式。在本实施方式中，横向搬运部4的第二搬运装置14、第三搬运装置15及切断部5的结构与第一实施方式不同。
103.如图7至图9所示，第二搬运装置14的褶皱去除部20在第一实施方式中的棒状构件20a的基础上，还具备配置在该棒状构件20a的下游侧的板状构件20b。
104.板状构件20b在玻璃膜g的搬运方向上配置在棒状构件20a与激光照射装置25之间。板状构件20b固定在平台18的上表面18a。板状构件20b的宽度wp(板状构件20b在玻璃膜g的宽度方向w上的长度)设定为小于棒状构件20a的长度lr。优选板状构件20b的宽度wp为激光照射装置25的间隔距离dl的1.02倍以上，且为棒状构件20a的长度lr的0.95倍以下。优选板状构件20b在玻璃膜g的搬运方向上的长度lp为10mm以上且500mm以下，但不限定于该范围，能够根据玻璃膜g及产品部gd的尺寸适当设定。
105.板状构件20b的厚度tp设定为小于棒状构件20a的直径d。因此，板状构件的上表面20c位于比棒状构件20a的上端部20d靠下方的位置。该板状构件20b的厚度tp为1mm以上且95mm以下，但不限定于该范围，能够根据棒状构件20a的直径d适当设定。优选板状构件20b的上表面20c与棒状构件20a的上端部20d的高低差为3mm以上且50mm以下。
106.在玻璃膜g的搬运方向上，使用激光照射装置25照射激光l的照射位置o与板状构件20b间的间隔距离d2为50mm以上且1950mm以下，但不限定于该范围，能够根据玻璃膜g及产品部gd的尺寸适当设定。另外，优选玻璃膜g的搬运方向上的板状构件20b与棒状构件20a间的间隔距离d3为50mm以上且1500mm以下。
107.第三搬运装置15具有搬运玻璃膜g的多条(在本例中为三条)传送带30a～30c和各传送带30a～30c的驱动装置31。如图8所示，传送带30a～30c构成为环形带状，且包括与玻璃膜g的宽度方向一端部ga侧的部分接触的第一传送带30a、与玻璃膜g的宽度方向另一端部gb侧的部分接触的第二传送带30b和与玻璃膜g的宽度方向中央部接触的第三传送带30c。驱动装置31具有用于驱动各传送带30a～30c的辊、链轮等驱动体31a和使该驱动体31a
旋转的马达(未图示)。
108.如图8所示，各传送带30a～30c在玻璃膜g的宽度方向上分离。由此，在第一传送带30a与第三传送带30c之间及在第二传送带30b与第三传送带30c之间形成间隙。
109.切断部5的激光照射装置25配置在第三搬运装置15的上方。由激光照射装置25照射激光l的照射位置o以与各传送带30a～30c间的间隙对应的方式设定。本实施方式中的切断部5不具有第一实施方式中的平台26，但也可以具备能够配置在各传送带30a～30c的间隙中的平台。回收装置27以横穿第一传送带30a及第二传送带30b的方式配置在各传送带30a、30b的内侧。
110.在利用本实施方式的制造装置1制造玻璃膜g(玻璃辊r)的情况下，与第一实施方式同样地，执行成形工序、搬运工序、切断工序及卷绕工序，但搬运工序中的褶皱去除工序的方式与第一实施方式不同。
111.在褶皱去除工序中，首先，玻璃膜g经过在第二搬运装置14的平台18上设置的棒状构件20a。此时，玻璃膜g在位于其下表面侧的棒状构件20a的作用下，与搬运用片材19一起被推向比平台18的上表面18a靠上方的位置。此时，玻璃膜g上产生的褶皱ge的大部分通过玻璃膜g被棒状构件20a拉伸而消失。
112.在经过棒状构件20a后玻璃膜g上仍残存有褶皱ge的情况下，该褶皱ge通过玻璃膜g经过板状构件20b而消失。相对于隔着搬运用片材19与玻璃膜g以线状接触的棒状构件20a，板状构件20b隔着搬运用片材19以所谓的面状接触。由此，未由棒状构件20a去除的褶皱ge通过玻璃膜g经过板状构件20b而可靠地消失。
113.搬运用片材19在经过棒状构件20a及板状构件20b时自平台18的上表面18a向上方分离，但在经过板状构件20b后，在比激光l的照射位置o靠上游侧的位置与该上表面18a接触。由此，玻璃膜g在比激光l的照射位置o靠上游侧的位置支承在平台18的上表面18a上。因此，玻璃膜g在由平台18的上表面18a稳定支承的状态下被激光照射装置25切断。由此，能够从产品部gd的宽度方向端部连续地产生均匀的线状剥离物gg，从而能够高精度地实现玻璃膜g的切断。
114.在本实施方式的切断工序中，一边利用第三搬运装置15搬运玻璃膜g，一边从在上方配置的激光照射装置25照射激光l。然后，利用回收装置27回收线状剥离物gg(参照图10)，并利用第三搬运装置15的第一传送带30a及第二传送带30b搬运玻璃膜g的非产品部gc，利用第三传送带30c搬运产品部gd。本实施方式的成形工序、卷绕工序等工序与第一实施方式相同。
115.图11及图12示出玻璃膜的制造装置及制造方法的第三实施方式。在上述的第一、第二实施方式中，例示了使用溢流下拉法制造玻璃膜g的例子，但在本实施方式中，例示使用卷对卷工艺(roll to roll)制造玻璃膜g(玻璃辊r)的方法。
116.如图11及图12所示，制造装置1取代第一实施方式中的成形部2、方向转换部3，在最上游侧具备将作为加工对象的玻璃膜g构成为辊状的玻璃辊原材料ra。玻璃辊原材料ra卷绕于供给辊32而成。与第一实施方式同样地，在玻璃辊原材料ra的下游侧依次配置横向搬运部4、切断部5、卷绕部6。以上各要素4～6的结构与第一实施方式相同。
117.本实施方式中的玻璃膜g(玻璃辊r)的制造方法包括从玻璃辊原材料ra拉出加工用的玻璃膜g并向下游侧供给的玻璃膜供给工序、搬运工序、切断工序以及卷绕工序。在玻
璃膜供给工序中，制造装置1通过使供给辊32旋转，而将加工用的玻璃膜g从玻璃辊原材料ra拉出并使其向下游侧移动。其后的搬运工序、切断工序及卷绕工序与第一实施方式相同。
118.在本实施方式中，对于切断工序，能够使加工用的玻璃膜g分离为多个玻璃膜g，将其一部分或全部制成产品。在该情况下，根据制造出的产品的数量在卷绕部6配置多个卷绕辊28。
119.图13及图14示出玻璃膜的制造装置及使用该制造装置制造玻璃膜的方法的第四实施方式。
120.如图13及图14所示，制造装置取代第二实施方式中的成形部2、方向转换部3，在最上游侧设置将作为加工对象的玻璃膜g构成为辊状的玻璃辊原材料ra。玻璃辊原材料ra卷绕于供给辊32而成。与第二实施方式同样地，在玻璃辊原材料ra的下游侧依次配置横向搬运部4、切断部5、卷绕部6。以上各要素4～6的结构与第二实施方式相同。
121.需要说明的是，本发明不限定于上述实施方式的结构，也不限定于上述的作用效果。本发明能够在不脱离本发明的主旨的范围内实施各种变更。
122.在上述的第二实施方式中，例示了包括一根棒状构件20a和一片板状构件20b的褶皱去除部20，但不限定于此，也可以在平台18上配置多个棒状构件和多个板状构件。