一种MEMS感应器贴片装置的制作方法

一种mems感应器贴片装置
技术领域
1.本实用新型涉及mems传感器贴片技术领域，具体为一种mems感应器贴片装置。


背景技术：

2.mems传感器即微机电系统(microelectro mechanical systems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一，它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景，截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事mems的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中mems传感器占相当大的比例，mems传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点，同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
3.将mems芯片焊接到主板上需要使用贴片机进行操作，而且对于同一类型的主板来说mems焊接的位置是相同的，但是传统的贴片机进行mems芯片贴片时只有一个针头完成取片和贴片，在完成一次贴片后针头需要重新取片耽误时间，使得贴片效率下降。
4.因此需要一种mems感应器贴片装置对上述问题做出改善。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种mems感应器贴片装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种mems感应器贴片装置，包括底座，所述底座上设有固定座，在固定座上设有支撑座，所述支撑座上设有螺纹杆以及用于显示取片与贴片同时进行的连接板，在连接板上设有液压伸缩柱，所述液压伸缩柱上设有气缸，在气缸上设有导气管以及用于吸取mems芯片的吸片筒。
8.作为本实用新型优选的方案，所述底座的顶部中心处设有固定座，在底座的顶部一侧宽度边沿处开设有用于放置贴片主板的板槽，所述底座的顶部远离板槽的一侧边沿处开设有圆孔槽，所述底座的内部分别位于固定座以及圆孔槽的正下方均设有输出轴向上延伸的步进电机。
9.作为本实用新型优选的方案，所述固定座的顶部设有支撑座，所述支撑座的底部与底座内侧的一个步进电机的输出进行连接，所述支撑座的外围分别靠近板槽与圆孔槽的两侧面上开设有竖直方向的滑槽，在支撑座上的两个滑槽的内侧壁上对称开设有滑孔，所述支撑座上的两个滑孔之间设有连接板，在连接板的顶部中心处开设有螺纹孔。
10.作为本实用新型优选的方案，所述支撑座的顶部设有螺纹杆，所述螺纹杆的底部穿过连接板上的螺纹孔与支撑座的内侧底部进行转动连接，在螺纹杆的顶部设有用于手动
微调节连接板高度的手轮。
11.作为本实用新型优选的方案，所述连接板的底部两端均设有液压伸缩柱，在每个液压伸缩柱的底部均设有气缸，所述气缸的外环面上设有用于连接外部气泵的导气管，在气缸的底部中心处设有用于吸取芯片的吸片筒。
12.作为本实用新型优选的方案，所述底座的顶部位于圆孔槽的顶部外沿上设有转动座，所述转动座的底部与底座内部的步进电机输出端进行连接，在转动座顶部边沿环形面上等间距设置有若干个芯片槽。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型中，通过设置的连接板、吸片筒、转动座以及芯片槽，使得该装置在一组芯片贴片完成后总有另一组准备好的芯片等待贴片，从而避免贴片后需要再进行取片所消耗的时间，使mems感应器的芯片贴片更加高效。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型的连接板结构示意图；
17.图3为本实用新型的底座结构示意图。
18.图中：1、底座；101、板槽；102、圆孔槽；2、固定座；3、支撑座；4、螺纹杆；5、手轮；6、连接板；601、螺纹孔；7、液压伸缩柱；8、气缸；9、导气管；10、吸片筒；11、转动座；12、芯片槽。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
21.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
22.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
23.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：
24.一种mems感应器贴片装置，包括底座1，底座1上设有固定座2，在固定座2上设有支撑座3，支撑座3上设有螺纹杆4以及用于显示取片与贴片同时进行的连接板6，在连接板6上
设有液压伸缩柱7，液压伸缩柱7上设有气缸8，在气缸8上设有导气管9以及用于吸取mems芯片的吸片筒10。
25.实施例，请参照图1和图3，底座1的顶部中心处设有固定座2，在底座1的顶部一侧宽度边沿处开设有用于放置贴片主板的板槽101，底座1的顶部远离板槽101的一侧边沿处开设有圆孔槽102，底座1的内部分别位于固定座2以及圆孔槽102的正下方均设有输出轴向上延伸的步进电机，底座1的顶部位于圆孔槽102的顶部外沿上设有转动座11，转动座11的底部与底座1内部的步进电机输出端进行连接，在转动座11顶部边沿环形面上等间距设置有若干个芯片槽12，通过设置的圆孔槽102以及固定座2，使得该装置可通过相同的转动角度来同时完成贴片与取片。
26.实施例，请参照图1、图2和图3，固定座2的顶部设有支撑座3，支撑座3的底部与底座1内侧的一个步进电机的输出进行连接，支撑座3的外围分别靠近板槽101与圆孔槽102的两侧面上开设有竖直方向的滑槽，在支撑座3上的两个滑槽的内侧壁上对称开设有滑孔，支撑座3上的两个滑孔之间设有连接板6，在连接板6的顶部中心处开设有螺纹孔601，连接板6的底部两端均设有液压伸缩柱7，在每个液压伸缩柱7的底部均设有气缸8，气缸8的外环面上设有用于连接外部气泵的导气管9，在气缸8的底部中心处设有用于吸取芯片的吸片筒10，通过设置的连接板6以及吸片筒10，使得该装置可一边贴片一边取片，从而避免贴片后需要再进行取片所消耗的时间。
27.实施例，请参照图1和图2，支撑座3的顶部设有螺纹杆4，螺纹杆4的底部穿过连接板6上的螺纹孔601与支撑座3的内侧底部进行转动连接，在螺纹杆4的顶部设有用于手动微调节连接板6高度的手轮5，通过设置的螺纹杆4，使得该装置可对于贴片的高度进行微调，避免贴片时接触距离不够。
28.工作原理：使用时，首先在进行mems感应器的芯片贴片时，先将贴片主板放置在板槽101内，然后将芯片放置在芯片槽12内，当一个吸片筒10通过液压伸缩柱7向下移动将芯片槽12内的芯片吸住后固定座2上的步进电机输出端带动支撑座3转动到主板上贴附芯片点位正下方，此时另一个吸片筒10转动到经过调整后的另一个芯片槽12正下方，当一个吸片筒10通过液压伸缩柱7向下移动完成主板贴片时，另一个吸片筒10完成取片，因此在一组芯片贴片完成后总有另一组准备好的芯片等待贴片，从而使mems感应器的芯片贴片更加高效，具有一定的推广价值。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。