用于脱离印模的方法和装置与流程

1.本发明描述一种用于脱离印模的方法和装置。


背景技术：

2.现有技术包括用于制造印模的不同的设备和方法以及所述印模的应用。印模被粗略地划分成硬印模和/或软印模。一种特殊类型的软印模是薄膜印模，该薄膜印模由相对薄的薄膜组成，压印结构被施加到该薄膜上。薄膜和压印结构在此形成软印模。在现有技术中，尤其优选使用软印模。虽然软印模比硬印模损耗得更快，但软印模可以很快被复制。使用非常昂贵且精密制造的硬印模作为主印模，并且产生软印模作为硬印模的底片(negativ)。这些软印模便是所谓的工作印模。产品压印料(由其应压印出实际的产品)那么仅利用软压印制造，而硬压印被可靠保管并且保持受保护。然而，现有技术中的一个常见问题是软印模从主印模或从产品压印料的脱模。
3.硬印模非常耐用，但具有如下缺点：在不冒至少部分地破坏处于纳米范围和/或微米范围内的结构的风险的情况下相对较难进行脱模。而软印模很快损耗。容易的可脱模性尤其由于弹性和非常低的弯曲阻力。两种特性都实现将软印模揭下或至少以这样的程度弯曲，使得软印模可以按顺序、即逐步地从压印料揭下。然而，软印模具有极低的硬度值，并且因此相对容易磨损。因此，软印模必须连续地从主印模中重新成型。


技术实现要素：

4.因此，本发明的任务是消除现有技术的缺点，并且尤其使印模(=软印模，在下文中也称为工作印模)与主印模(=硬印模)和/或压印料的脱离变得容易。该任务通过独立权利要求的内容来解决。在说明书、权利要求和/或附图中说明的特征中的至少两个的所有组合也落入本发明的范围内。在所说明的值范围的情况下，处于所提及的极限内的值也应视作为极限值公开，并以任意组合形式要求保护。
5.根据本发明的印模(=软印模)尤其具有以下特性或具有以下材料：
•ꢀ
聚二甲基硅氧烷(pdms)
•ꢀ
全氟聚醚(pfpe)
•ꢀ
笼型聚倍半硅氧烷(poss)
•ꢀ
聚二甲基硅氧烷(pdms)
•ꢀ
正硅酸乙酯(teos)
•ꢀ
聚(有机)硅氧烷(硅酮)根据本发明的印模(=软印模)原则上可以源自以下材料类别之一：
•ꢀ
热塑性塑料
•ꢀ
弹性体
•ꢀ
热固性塑料主印模、压印料和产品在下文中也称为基底。
6.本发明涉及一种用于使印模与基底、尤其与主印模、压印料和/或产品脱离的方法，其中，使印模沿基底的方向变形，以便使印模与基底脱离。
7.尤其作为本发明的独立主题，本发明还涉及一种用于在载体上制造印模的方法，该方法具有以下步骤，尤其具有以下流程：
‑ꢀ
将压印料施加到主印模上，
‑ꢀ
使压印料与载体接触，
‑ꢀ
使压印料固化，
‑ꢀ
尤其利用根据前述实施方式中的一个所述的方法使主印模与固化的压印料脱离，其中，所产生的印模保留在载体上，其中，使载体沿主印模的方向变形，以便使主印模与印模脱离。
8.尤其作为本发明的独立主题，本发明还涉及一种由压印料制造产品的方法，该方法具有以下步骤，尤其具有以下流程：
‑ꢀ
使压印料与印模接触，
‑ꢀ
使压印料固化，
‑ꢀ
尤其利用根据前述实施方式中的一个所述的方法使印模与压印料脱离，其中，使印模沿产品的方向变形，以便使印模与产品脱离。
9.尤其作为本发明的独立主题，本发明还涉及一种用于使印模与基底、尤其与主印模、与压印料和/或与产品脱离的装置，其中，印模可沿基底的方向变形，以便使印模与基底脱离。
10.尤其作为本发明的独立主题，本发明还涉及一种用于尤其利用根据前述实施方式中的一个所述的方法在载体上制造印模的装置，该装置具有：
‑ꢀ
施加器件，其用于将压印料施加到主印模上，
‑ꢀ
接触器件，其用于使压印料与载体接触，
‑ꢀ
固化器件，其用于使主印模与固化的压印料脱离，其中，所产生的印模保留在载体上，其中，载体可沿主印模的方向变形，以便使主印模与印模脱离。
11.尤其作为本发明的独立主题，本发明还涉及一种用于由压印料制造产品的装置，
‑ꢀ
接触器件，其用于使压印料与印模接触，
‑ꢀ
固化器件，其用于使压印料固化，
‑ꢀ
脱离器件，其用于使所述印模与所述压印料脱离，其中，设置有变形器件，其用于使印模沿产品的方向变形，以便使印模与产品脱离。
12.优选地设置成，通过超压使印模和/或载体变形或者可使印模和/或载体变形。
13.此外优选地，最大变形发生在印模和/或载体的中央，其中，尤其变形相对于印模和/或载体的中央对称地发生。
14.此外优选地，印模和/或载体的变形从内向外、尤其从印模和/或载体的中央到印模和/或载体的边缘发生。
15.此外优选地，为了脱离使基底和印模和/或载体彼此远离运动，尤其与印模和/或载体的变形同时进行。
16.此外优选地，印模的脱离从外向内、尤其从印模的边缘到印模的中央进行。
17.此外优选地，变形导致印模和/或载体的凸状成形和/或凸出。
18.此外优选地，为了脱离使主印模和载体彼此远离运动，尤其与载体的变形同时进行。
19.此外优选地，载体是薄膜和/或印模是薄膜印模。
20.在另一种实施方式中设置成，载体是非常薄且柔性的玻璃板。玻璃板尤其薄于20mm、优选地薄于10mm、还更优选地薄于5mm、最优选地薄于2mm、所有中最优选地薄于1mm。
21.此外优选地，装置具有用于变形的至少一个载体成型元件和/或用于拉伸载体的至少一个拉伸元件，其中，载体尤其经由载体成型元件张紧。
22.此外优选地，载体成型元件具有至少一个载体成型元件隆起部，其中，载体成型元件隆起部将载体从载体成型元件提升和/或拉伸载体。
23.此外优选地，载体成型元件具有至少一个固定元件，该固定元件用于尤其动态地固定载体，其中，至少一个固定元件优选地可如此切换，使得气体和/或气体混合物可经由至少一个固定元件送出到载体成型元件和载体之间的间隔中。
24.此外优选地，至少一个拉伸元件是流体元件，其中，经由流体元件可送出气体和/或气体混合物，以便在载体成型元件和载体之间产生超压。
25.在另一种示例性实施方式中设置成，代替尤其处于载体后方的载体成型元件，载体由框架保持。在使用框架的情况下，拉伸元件仍以通常的方式处于载体的背侧处。
26.本发明的核心尤其在于印模的固定，该固定允许印模(=软印模)与主印模和/或压印料和/或与产品从边缘到中央脱离。
27.在一种特别的实施方式中，该固定如此设计，使得可以使用连续薄膜(endlosfolie)，在该连续薄膜上施加多个印模。在这种情况下，连续薄膜可以被如此固定，使得一方面不发生压印结构的明显扭曲，并且另一方面压印结构或印模的脱模可从外向内依次进行。
28.该脱模尤其以可控的方式从外向内进行。具有连续薄膜的实施方式允许提供一种压印设备，该压印设备可以借助唯一的主印模独立地制造其软印模。
29.根据本发明的实施方式和过程的特别的优点在于印模的脱模与基底大小无关，并且与尤其基底厚度无关。基底在变形过程期间可以保持完全平坦地固定，而印模由于根据本发明的变形、尤其由于所产生的凸状弯曲而与基底脱离，尤其按顺序从外向内与基底脱离。由此可以防止基底破裂。
30.另一个优点是没有排除边缘区域(英文：exclusion zone)。由于不必为了分开而引入如刀片之类的物体(其可能破坏基底的边缘处的构件和结构)，因此可以将结构压印直至基底的最外部的边缘。
31.原则上，根据本发明的实施方式可以压印在任意大小和形状的基底上，倘若基底相应地大地设计。
32.根据本发明的另一个优点尤其在于印模的载体的可重复使用性。如果载体上的结构由于多次使用而破坏或损耗，则可以更换载体或使载体进一步运动，以便产生新的、无缺陷的工作印模。
33.根据本发明的另一个优点尤其在于：印模可以达到待压印的薄片的整个面并且甚至可以压印排除边缘区(英文：exclusion zone)。这尤其归因于所有进行成型和变形的构件都处于印模后方或印模的载体后方，并且因此印模不受任意构件侧向限制。
34.相对于现有技术，根据本发明的另一个优点尤其在于：不再将待压印的基底单独从印模脱模，而是优选地将印模从基底脱模。虽然可以通过基底远离印模的平移运动来支持印模从基底的脱模，但是主脱模基于根据本发明的载体弯曲或印模弯曲。由此，根据本发明可以在非常薄的基底上进行压印，并且然后在不破坏基底的情况下将印模脱模，因为基底可以被整面地固定并且本身不必弯曲。
35.根据本发明的另一个优点尤其在压印过程中印模或载体的刚性状态以及在脱模过程中印模或载体的柔性状态。在压印过程中，印模可以受压力负载，因为由处于载体后方的载体和/或构件使印模稳定化，而印模和载体在脱模过程期间可变形。
36.印模的脱模行为可以很容易地受载体厚度的影响并且通过其调整。尤其，载体薄于5mm、优选地薄于1mm、还更优选地薄于0.1mm、最优选地薄于0.01mm、所有中最优选地薄于0.001mm。
37.根据本发明的实施方式可以一方面用于制造印模，并且另一方面可以将印模用于压印工艺。因此与现有技术相比，不再需要两个单独的实施方式。
38.在现有技术中，很经常使用载体(英文：back plane)，在制造印模之前必须对该载体进行覆层，尤其为了确保相对于工作印模压印料的附着强度。根据本发明优选使用的载体在提供时已经具有相应的覆层，从而对于印模制造商来说省去了覆层过程，这导致成本和时间的节省。
39.根据本发明的实施方式尤其涉及一种装置，借助该装置可以在载体上产生印模。
40.根据本发明的装置尤其具有至少一个载体成型元件，经由该载体元件可以使载体张紧。载体成型元件优选地具有至少一个载体成型元件隆起部，该载体成型元件隆起部将所张紧的载体的载体印模侧从载体成型元件的其余部分提升。
41.载体成型元件尤其具有至少一个固定元件，该固定元件用于固定、尤其动态地固定载体。载体成型元件的固定元件尤其可以被接通和切断。固定元件用于使载体保持固定、尤其尽可能无张力地保持固定。
42.一个或多个固定元件可以是
•ꢀ
真空固定机构，尤其具有
‑ꢀ
可单独操控的真空路径
‑ꢀ
相互连接的真空路径
•ꢀ
机械固定机构，尤其
‑ꢀ
夹持器
•ꢀ
电固定机构，尤其
‑ꢀ
静电固定机构
‑ꢀ
磁性固定机构
•ꢀ
粘性固定机构，尤其
‑ꢀ
gel-pak固定机构
‑ꢀ
具有粘性的、尤其可操控的表面的固定机构。
43.至少一个固定元件尤其可以电子操控。真空固定机构是固定元件的优选类型。真空固定机构优选地由在载体成型元件的表面处出来的多个真空路径组成。真空路径优选地可以被单独操控。
44.在优选的应用中，一些真空路径被联合成真空路径部段，所述真空路径部段可以被单独操控，因此可以被抽空或灌满。然而，每个真空部段独立于其他真空部段。因此，可以获得构建可单独操控的真空部段的可能性。真空部段优选地设计成环形的。由此，基底能够有针对性地、径向对称地尤其从内向外执行地固定和/或与样品保持件脱离。真空部段的另一种优选形状是矩形。
45.载体成型元件尤其具有至少一个用于将载体从载体成型元件提升的元件。载体的提升在下文中也称为拉伸；引起拉伸的一个或多个元件也称为(多个)拉伸元件。至少一个拉伸元件优选地是流体元件，气体和/或气体混合物可以经由该流体元件流出，以便在载体成型元件和载体之间产生超压。
46.在根据本发明的一个完全特别的实施方式中，已述至少一个用作固定机构的真空部段可以如此切换，使得气体和/或气体混合物可以经由该真空部段泵到载体成型元件和载体之间的间隔中。于是可以同时将至少一个固定元件用作拉伸元件。如果应使用其他固定元件，则拉伸元件单独地并且独立于固定元件设置。
47.至少一个载体成型元件优选地具有倒圆的棱边，所述棱边使载体尽可能柔和地偏转。倒圆的棱边的半径大于0.1mm、优选地大于1mm、还更优选地大于5mm、最优选地大于10mm、所有中最优选地大于30mm。
48.载体优选地利用从外部作用的独立于载体成型元件的尤其机械的固定单元固定在至少两个侧面、尤其相对而置的侧面处。
49.到固定单元中尤其装入有力测量单体，以便测量和监控将载体固定到载体成型元件所用的力。尤其地，不应也不得造成载体由于固定单元而损坏。
50.固定单元尤其用于载体的粗略固定。可通过固定单元施加到载体上的力优选地是可调整的。所使用的力介于0.001n和1000n之间、优选地介于0.01n和500n之间、还更优选地介于0.1n和100n之间、最优选地介于1n和50n之间、所有中最优选地介于1n和25n之间。
51.更适宜的是说明可施加到载体上的压力，以便就不发生载体的损坏。所提及的力值标准化为一平方米，并且然后得出相应的压力值。压力介于0.001mpa和1000mpa之间，优选地介于0.01mpa和500mpa之间，还更优选地介于0.1mpa和100mpa之间，最优选地介于1mpa和50mpa之间，所有中最优选地介于1mpa和25mpa之间。
52.在工作印模的制造过程中，载体中出现的微裂纹优选地被工作印模压印料完全封闭。
53.压印料在进一步的文件中，尤其在工作印模压印料和产品压印料之间进行区分。工作印模压印料是如下压印料，由该压印料产生工作印模(=印模，软印模)。产品压印料是如下压印料，该压印料通过工作印模压印，以便制造所期望的产品。
54.印模压印料和产品压印料可以是不同的。工作印模压印料和产品压印料优选地在其疏水性或亲水性方面不同。疏水性或亲水性的量度是如下接触角，该接触角构造在测试液滴(尤其水)和待测量的表面之间。亲水表面使液滴变平，因为在液体和表面之间的粘附力超过了液体的内聚力并且因此形成了较低的接触角。疏水表面导致液滴的更呈球形的外形，因为液体的内聚力超过了液体和表面之间的粘附力。
55.用于确定疏水性或亲水性的常用方法是接触角方法。接触角方法与杨氏方程一起
使用，以便通过使用测试液体获得关于固体表面能的说明。这通过某种测试液体、通常通过水来评定表面的表面能。相应的测量方法以及评估方法对于本领域技术人员是已知的。利用接触角方法测定的接触角可以转换为以n/m或j/m2为单位的表面能。然而，为了在测试液体相同的情况下对不同表面进行相对比较，接触角的说明已足以获得对表面的粘附能力的相对估计。如此，通过将水用作测试液体，可以说在水滴处产生约30
°
接触角的润湿表面比在水滴处产生约120
°
接触角的表面具有更高的粘附。
56.在本发明的一种优选的实施方式中设置成，工作印模材料的粘附能力通过小于0.1j/m2、尤其小于0.01j/m2、优选地小于0.001j/m2、还更优选地小于0.0001j/m2、理想地小于0.00001j/m2的表面能来限定。
57.备选地或附加地，根据本发明的一种有利的实施方式设置成，接触表面的粘附能力被限定为具有大于20
°
、尤其大于50
°
、优选地大于90
°
、还更优选地大于150
°
的接触角。可以借助上述接触角方法确定表面对另一种材料的粘附能力。在此，将一滴已知的液体，优选水(根据本发明参照水的值)(备选地甘油或十六烷)滴到待测量的表面上。借助显微镜，从侧面精确测量角度，即液滴处的切线与表面之间的角度。
58.根据本发明所使用的压印料优选地具有介于1cp和25000cp之间、优选地介于10和25000cp之间、还更优选地介于100cp和25000cp之间、最优选地介于1000cp和25000cp之间、所有中最优选地介于10,000和25000cp之间的粘度。
59.装置在本发明的第一优选实施方式中，载体被放置到载体成型元件上。载体优选是薄膜。薄膜首先利用动态载体固定机构、优选地真空元件预固定。随后利用静态载体固定机构进行侧向固定。该实施方式设计用于容纳经修剪的薄膜或受限的刚性载体。尤其地，载体的大小正好设计成使得静态载体固定机构可以使载体固定。该实施方式具有至少一个拉伸元件，利用该拉伸元件可拉伸载体。动态固定机构优选地同时用作拉伸元件。
60.在本发明的另一种优选实施方式中，公开了一种印模载体装置，该印模载体装置使用连续薄膜以便能够沿载体产生多个印模。连续薄膜优选地作为卷筒提供并且装配在第一轴上。第二轴允许将保护薄膜卷绕并从连续薄膜移除。连续薄膜可以被引导到另外的元件上并且在第一静态载体固定机构和载体成型元件之间被引导。连续薄膜经过静态载体固定机构和第二静态载体固定机构，并且最后卷绕在第三轴上。
61.静态载体固定机构由固定单元组成，所述固定单元是可运动的并且所述固定单元尤其可以将连续薄膜夹持到载体成型元件处。由此防止连续薄膜的移动。在这种状态下，连续薄膜的部分现在可以设有相应的压印结构。该实施方式具有至少一个拉伸元件，借助该拉伸元件可拉伸载体。动态固定机构优选地同时用作拉伸元件。
62.根据本发明的薄膜可以利用利用介于1n和1000n之间、优选地介于2n和800n之间、还更优选地介于5n和600n之间、最优选地介于8n和400n之间、所有中最优选地介于10n和100n之间的力进行预紧。
63.根据本发明的装置可以作为模块是集群的一部分。集群被理解为一定量的相互连接的模块，所述模块尤其所有都以真空密封的方式相互连接，使得基底可以各个模块之间运送，而不与处于外部的大气接触。
64.每个模块优选地可以被单独抽空。整个集群可以被抽空。压力可以在每个模块和/
或整个集群中调整到小于1bar、优选地小于10-1
mbar、还更优选地小于10-3
mbar、最优选地小于10-5
mbar、所有中最优选地小于10-7
mbar。
65.模块和/或集群也尤其可以利用气体和/或气体混合物冲洗。模块和/或集群也尤其可以被置于超压下。在这种情况下，压力在1bar和5bar之间、更优选地在1bar和4.5bar之间、还更优选地在1bar和4bar之间、最优选地在1bar和3.5bar之间、所有中最优选地在1bar和3bar之间调整。
66.集群中的模块尤其通过中央模块相互连接，在该中央模块中优选地存在机器人，该机器人可以使基底在装载容器(英文：foups)和/或模块之间运动。
67.方法在根据本发明的第一优选方法中，将载体固定在根据本发明的装置上。
68.在第一工艺步骤中，借助沉积装置(abscheidevorrichtung)将工作印模压印料沉积在主印模上。优选地，工作印模压印料已经尽可能均匀地且整面地分布。
69.在第二工艺步骤中，将根据本发明的装置相对于主印模对准。根据本发明的装置和/或主印模的运动是可设想的。然而，优选地使主印模运动。对准可以机械地和/或光学地进行。主印模相对于根据本发明的装置的纯粗略定位是可以设想的。然而，优选地两个物体的对准依据对准标记进行。对准标记可以处于载体成型元件和/或载体上。然而，对准标记优选地处于载体上。
70.在第三工艺步骤中，在载体和工作印模压印料之间进行接触。通过加载压力使工作印模料沿载体平面化，而主印模结构在工作印模料中被成形为底片。
71.在第四个工艺步骤中，使工作印模压印料固化。工作压印料可以热固化和/或借助电磁辐射固化。
72.热固化发生在0
°
c和500
°
c之间、优选地在50
°
c和450
°
c之间、还更优选地在100
°
c和400
°
c之间、最优选地在150
°
c和350
°
c之间、所有中最优选地在200
°
c和300
°
c之间。
73.电磁辐射优选地具有在10nm和2000nm之间、优选地在50nm和1500nm之间、更优选地在100nm和1000nm之间、还更优选地在150nm和500nm之间、所有中最优选地在200nm和370nm之间范围内的波长。
74.在第五工艺步骤中，通过使拉伸元件负责载体的拉伸，使具有固化的工作印模压印料的载体与主印模脱离。优选地，气体或气体混合物经由由真空元件组成的动态载体固定机构流入到载体成型元件和载体之间，并且如此产生从外部观察凸状弯曲的载体。载体因此从外向内脱离。
75.在第六工艺步骤中，经由动态载体固定机构重新固定载体。
76.在根据本发明的第二优选方法中，将连续薄膜作为载体固定在根据本发明的装置上。
77.第二方法的前六个工艺步骤与第一方法的前六个工艺步骤实质相同。
78.在第七工艺步骤中，通过使固定单元的静态载体固定机构退回，取消了连续薄膜的固定，以便释放连续薄膜。随后或同时进行连续薄膜在第三卷筒上的卷绕。由此，将所产生的工作印模压印料从载体成型元件移除，并且连续薄膜的新的区域准备好进行压印。
79.因此，很简单就能够在连续薄膜上制造多个工作印模。
80.在根据本发明的第三优选方法中，将通过前述方法之一产生的工作印模用于压印
产品压印料。实际待产生的产品由产品压印料制成。优选地，将产品压印料施加在基底上，并且使基底相对于工作印模对准。随后进行压印过程和固化过程以及脱模过程。
附图说明
81.本发明的其他优点、特征和细节由优选实施例的下面描述以及依据附图得出。其中：图1a以侧视图示出根据本发明的第一实施方式，图1b以底视图示出根据本发明的第一实施方式，图2a示出根据本发明的第一工艺的第一工艺步骤，图2b示出根据本发明的第一工艺的第二工艺步骤，图2c示出根据本发明的第一工艺的第三工艺步骤，图2d示出根据本发明的第一工艺的第四工艺步骤，图2e示出根据本发明的第一工艺的第五工艺步骤，图2f示出根据本发明的第一工艺的第六工艺步骤，图3a示出根据本发明的第二工艺的第二工艺步骤，图3b示出根据本发明的第二工艺的第三工艺步骤，图3c示出根据本发明的第二工艺的第四工艺步骤，图3d示出根据本发明的第二工艺的第五工艺步骤，图3e示出根据本发明的第一工艺的第六工艺步骤，图3f示出根据本发明的第二工艺的第七工艺步骤。
82.在图中，相同的构件或具有相同功能的构件以相同的附图标记表示。
具体实施方式
83.图1a示出根据本发明的手动的第一印模装置1的侧视图，该印模装置设有至少两个固定单元4，载体3可以借助所述固定单元固定，尤其固定在两个相对而置的侧面处。两个固定单元4优选地与载体成型元件2连接。载体成型元件2优选地具有载体成型元件隆起部2e，载体3可以经由该载体成型元件隆起部张紧。固定单元4例如由静态载体固定机构5、间隔部件7和上置件8组成。构件5,7和8可以通过固定元件9、尤其螺纹件可脱开地彼此固定。载体成型元件2优选地对于用于使工作印模压印料固化的电磁辐射的波长范围来说是透明的。载体成型元件2具有动态的、可接通和切断的固定元件6(在下面也称为动态载体固定机构)。固定元件6可以任意分布在载体成型元件表面2o上。所使用的固定元件6的数量尤其大于2、优选地大于5、还更优选地大于10、最优选地大于50、所有中最优选地大于100。在根据本发明的完全特别优选的实施方式中，固定元件6可以被单独操控。固定元件6优选地可以被如此控制，使得所述固定元件可以导致载体3的从外部观察凸状的变形。这特别简单地通过以下方式实现：将固定元件6实施为通道，所述通道不仅将用于载体3和载体成型元件2之间的中间区域抽空，而且还可用于产生超压。因此，固定元件6优选地是可以构建真空或超压的通道。根据本发明的固定元件6的另外的应用在于，借助所述固定元件可以在经由固定单元4的静态固定机构5进行相对带有扭曲的固定之前进行载体3的无扭曲的固定。由此，载体3在如下区域中不扭曲或仅非常轻微地扭曲，印模在之后的压印过程中被施加到该区域
上。载体3在左侧和右侧被夹持在载体成型元件2的外部部分和静态载体固定机构5之间。此外，对准标记14布置在载体成型元件表面上。
84.图1b示出根据本发明的手动的第一装置1的底视图，可以看到固定元件9、尤其螺纹件，其用于构件5,7和8的可脱开的旋拧。动态载体固定机构6示出为单个的、全周向的矩形真空通道。圆形区域16是如下印模区域16，之后的印模被压印在该印模区域中。印模区域当然可以采纳任意大小和形状，但参照半导体工业中的圆形标准化薄片形状呈现为圆形。
85.图2a示出根据本发明的第一方法的根据本发明的第一工艺步骤，在该第一工艺步骤中，经由沉积装置10将工作印模压印料11施加到具有多个主印模结构13的主印模12的主印模表面12o上。
86.图2b示出根据本发明的第一方法的根据本发明的第二工艺步骤，在该第二工艺步骤中，借助对准标记14使根据本发明的手动的第一印模装置1相对于主印模12对准。主印模12和印模装置1的对准标记14在此优选地通过光学对准元件15彼此对准。尤其在没有对准元件15和对准标记14的情况下，印模装置1相对于主印模12的纯机械的粗略对准也是可设想的。
87.图2c示出根据本发明的第一方法的根据本发明的第三工艺步骤，在该第三工艺步骤中，载体3经由载体印模侧3s与工作印模压印料11接触。通过接触使工作印模压印料11平面化。
88.图2d示出根据本发明的第一方法的根据本发明的第四工艺步骤，在该第四工艺步骤中，使工作印模压印料11固化。固化能够以热的方式、但优选地以电磁的方式尤其借助uv光进行。固化优选地通过载体成型元件2进行。在使用电磁辐射时，载体成型元件2必须在相应的波长范围内足够透明，以便获得工作印模压印料11的相应固化。
89.图2e示出根据本发明的第一方法的根据本发明的第五工艺步骤，在该第五工艺步骤中，进行根据本发明产生的印模17(在下面也称为工作印模)的根据本发明的脱离。载体3在此从载体成型元件2移除。移除尤其通过流体的超压进行，该流体通过实施为真空路径的动态载体固定机构6出来。也可以设想的是，存在如下元件，所述元件独立于动态载体固定机构6并且可以实现载体3的相应弯曲和因此印模17的相应弯曲。例如，附加安装的喷嘴是可以设想的。也可以设想的是，给载体3静电充电，并且由于载体成型元件2中的元件相同极性的第二电势导致载体3与载体成型元件2排斥。根据本发明，将固化的工作印模压印料11从外向内、尤其按顺序与主印模12脱离。通过这种脱模方式实现固化的印模料11与主印模12的主印模结构13的特别柔和的脱离。因此可以无缺陷地产生如此产生的印模17。
90.图2f示出根据本发明的第六工艺步骤，在该第六工艺步骤中，将与固化的压印料11形成印模17的载体3再度完全固定在载体成型元件2上。在此，经由动态载体固定机构6重新进行固定。如此产生的印模17现在可以用于压印料的压印过程。在随后的压印过程中印模17从压印料的脱模能够与根据图2e印模17从主印模12的脱模相同进行。
91.图3a示出利用根据本发明的第二印模装置1'进行的根据本发明的第二工艺步骤。根据本发明的第一工艺步骤类似于图2a中的工艺步骤，并且因此在此不再重新阐述。根据本发明的第二印模装置1'是具有卷筒系统的装置。可覆层有保护薄膜19的载体3'处于卷筒18a上。与根据本发明的第一实施方式的载体3相比，载体3'是“连续薄膜”。载体3'经由载体成型元件2张紧并且卷绕在卷筒18c上。保护薄膜19可以被揭下并且卷绕在卷筒18b上。固定
单元4'被如此设计，使得所述固定单元可以尤其侧向地夹持载体3'。载体3'的夹持优选地通过成角度的静态载体固定机构5'实现，该静态载体固定机构的夹持面5k'平行于与其相对而置的载体成型元件夹持面2k。载体成型元件夹持面2k和载体成型元件后侧2r之间的角度α在此介于0
°
和90
°
之间、优选地介于5
°
和85
°
之间、还更优选地介于10
°
和80
°
之间、最优选地介于15
°
和75
°
之间、所有中最优选地介于20
°
和70
°
之间。在根据本发明的实施方式中，主印模12优选地在印模装置下方运动。
92.图3b示出利用根据本发明的第二印模装置1'进行的根据本发明的第三工艺步骤。因为印模装置1'优选地设计成使得所述印模装置整体上是静止的，因此主印模12朝向载体3'运动，以便使工作印模压印料11与载体3'接触。
93.图3c示出类似于图2d的工艺步骤的利用根据本发明的第二印模装置1'进行的根据本发明的第四工艺步骤。
94.图3d示出类似于图2e的工艺步骤的利用根据本发明的第二印模装置1'进行的根据本发明的第五工艺步骤。
95.图3e示出类似于图2f的工艺步骤的利用根据本发明的第二印模装置1'进行的根据本发明的第六工艺步骤。
96.图3f示出利用根据本发明的第二印模装置1'进行的根据本发明的第七工艺步骤，在该第七工艺步骤中，将固定单元4'打开，使得载体3可以通过卷筒18a,18c进一步运动。根据本发明，在此将工作印模17从载体成型元件2移除。由于在卷筒18c上卷绕载体3，载体3的新的、未使用的区段3u到达载体成型元件2下方并且可以根据工艺步骤3a-3d重新设有压印料。
97.附图标记列表1,1' 印模装置2 载体成型元件2e 载体成型元件隆起部2o 载体成型元件表面2r 载体成型元件侧2k 载体成型元件夹持面3,3' 载体3u 未使用的载体区段3s 载体印模侧4,4' 固定单元5,5' 静态载体固定机构5k' 夹持面6 动态载体固定机构/固定元件7 间隔部件8 上置件9 固定元件10 沉积装置11 工作印模压印料
12 主印模12o 主印模表面13 主印模结构14 对准标记15 对准元件16 印模区域17 印模/工作印模18a,18b,18ac 卷筒19 保护薄膜α 角度。