切割装置的判定方法和切割装置与流程

技术特征：
1.一种切割装置的判定方法，利用切割装置判定切割开始是否适当，该切割装置具有：保持工作台，其将被加工物保持为旋转自如；拍摄单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行拍摄；切割单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行切割；移动机构，其使该切割单元和该保持工作台在加工进给方向上相对移动，并且使该切割单元和该保持工作台在与该加工进给方向垂直的分度进给方向上相对移动；以及控制器，其至少控制该拍摄单元、该切割单元以及该移动机构，其中，该切割装置的判定方法具有如下的步骤：对准步骤，根据由拍摄单元取得的拍摄图像设定与该加工进给方向平行的切割预定线，并且对该切割单元和该切割预定线进行对位；以及判定步骤，在实施了该对准步骤之后，该控制器对该移动机构和该拍摄单元进行控制，一边使保持着被加工物的该保持工作台相对于该拍摄单元在该加工进给方向上移动，一边利用该拍摄单元对被加工物的正面进行拍摄而形成判定用的拍摄图像，根据该拍摄图像来判定切割开始是否适当。2.根据权利要求1所述的切割装置的判定方法，其特征在于，该切割装置还具有发送警告的警告发送单元，该切割装置的判定方法具有如下的警告发送步骤：在通过该判定步骤判定为不适当的情况下，该控制器利用该警告发送单元发送警告。3.根据权利要求1或2所述的切割装置的判定方法，其特征在于，该切割装置的判定方法具有如下的加工步骤：在通过该判定步骤判定为切割开始适当的情况下，使该保持工作台相对于该切割单元在该加工进给方向上相对移动，对该切割预定线进行切割加工。4.一种切割装置，其具有：保持工作台，其将被加工物保持为旋转自如；拍摄单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行拍摄；切割单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行切割；移动机构，其使该切割单元和该保持工作台在加工进给方向上相对移动，并且使该切割单元和该保持工作台在与该加工进给方向垂直的分度进给方向上相对移动；以及控制器，其至少控制该拍摄单元、该切割单元以及该移动机构，其中，该切割装置能够实施如下的步骤：对准步骤，根据由拍摄单元取得的拍摄图像设定与该加工进给方向平行的切割预定线，并且对该切割单元和该切割预定线进行对位；以及判定步骤，在实施了该对准步骤之后，该控制器对该移动机构和该拍摄单元进行控制，一边使保持着被加工物的该保持工作台相对于该拍摄单元在该加工进给方向上移动，一边利用该拍摄单元对被加工物的正面进行拍摄而形成判定用的拍摄图像，根据该拍摄图像来判定切割开始是否适当。

技术总结
切割装置的判定方法和切割装置。该判定方法利用切割装置判定切割开始是否适当，切割装置具有：保持工作台，其将晶片保持为旋转自如；拍摄单元，其对晶片进行拍摄；切割单元，其对晶片进行切割；移动机构，其使切割单元和保持工作台在加工进给方向和分度进给方向上相对移动；控制器，其控制拍摄单元、切割单元、移动机构，判定方法具有如下步骤：对准步骤，根据拍摄图像设定与加工进给方向平行的切割预定线，对切割单元和切割预定线进行对位；判定步骤，在实施对准步骤之后，一边使保持着晶片的保持工作台相对于拍摄单元在加工进给方向上移动，一边利用拍摄单元对晶片的正面进行拍摄而形成判定用的拍摄图像，根据拍摄图像来判定切割开始是否适当。始是否适当。始是否适当。


技术研发人员：高乘佑
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：2021.11.09
技术公布日：2022/5/31